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Mini-environnement semi-conducteur
A est un boîtier de processus compact qui crée une zone d'air propre localisée autour des opérations de manutention ou d'inspection des semi-conducteurs sensibles.
Isolement de processus localisé
Mini-environnements de Cleanroom
Concentrez le contrôle de l'air pur autour de votre processus sensible. Un mini-environnement configurable rassemble l'enceinte, la filtration et l'accès autour de votre équipement, aidant à séparer la zone de processus locale de l'activité environnante.
1Plateforme de boîtier personnalisable
Protection des processus sur mesure
01Fournissez l'outil de processus, le chemin de produit et l'empreinte de l'enceinte qui nécessitent une protection localisée.
02Définissez les panneaux d'accès, les ports de chargement, les ouvertures d'opérateur et les dégagements d'entretien autour de l'équipement.
03Confirmez la filtration HEPA ou ULPA, la direction du flux d'air, l'ionisation et les exigences en matière d'éclairage.
04Énumérez les pénétrations d'utilité, les interfaces de contrôle, les connexions de matériel-transfert et les contraintes environnantes de pièce.
Comment sélectionner des mini-environnements de salle blanche
Commencez par la tâche d'exploitation et les contraintes du site, puis comparez la direction du produit qui correspond le mieux à l'utilisation prévue.
| Exigence de l'acheteur | Orientation produit | Pourquoi ça aide |
|---|---|---|
| Protégez un processus de manipulation ou d'inspection de semi-conducteur | Mini-environnement semi-conducteur | Crée une enceinte localisée à faible débit avec un flux d'air filtré autour de l'outil et du chemin de produit définis. |
| Coordinate personnel and maintenance access | Configurer des panneaux d'accès coulissants ou articulés | Correspond à l'opération courante et au dégagement de service à l'arrangement réel d'équipement. |
| Manipulation sensible aux particules ou ESD-sensible de soutien | Configurer la filtration terminale et l'ionisation en option | Sélectionne les caractéristiques d'air pur et de contrôle électrostatique autour de l'exigence de processus identifiée. |
| Connectez le boîtier à un outil de production | Configurer des pénétrations d'utilitaires spécifiques à l'outil | Planifie les interfaces scellées pour les connexions réelles de puissance, de données, de gaz, d'échappement ou de transfert. |
Configurez votre mini-environnement
Construisez un espace de travail contrôlé autour de votre équipement, de votre accès et de vos besoins en air pur. Explorez les options ci-dessous et demandez-nous un devis sur mesure.
1 plateforme configurable
- Filtration terminale
HEPA, ULPA - Panneaux d'accès
Coulissante, articulée - Caractéristiques du processus
Ionisation, éclairage de tâche, ionisation et éclairage de tâche, aucune caractéristique supplémentaire - Interface d'outil
Pénétrations utilitaires spécifiques au projet, interface de transfert spécifique au projet, boîtier autonome
Aucun modèle ne correspond à chaque filtre sélectionné.
Réinitialisez un ou plusieurs filtres pour comparer un groupe plus large.
Réinitialisez un ou plusieurs filtres pour comparer un groupe plus large.
Des solutions pour votre application
Surmontez les défis de votre processus
Construisez une enceinte d'air pur autour de la façon dont votre processus fonctionne réellement. Nous vous aidons à coordonner l'empreinte de l'équipement, les ouvertures de transfert de matériaux, l'accès à la maintenance, la filtration et les interfaces de services publics, de sorte que le boîtier prend en charge à la fois la protection du produit et le fonctionnement quotidien.
La salle complète est plus grande que la zone de processus critique qui nécessite un contrôle local étroit.Créez une enceinte filtrée compacte autour de l'outil défini et du chemin de produit.
Les dimensions standard du boîtier interfèrent avec les ports de charge ou l'accès à la maintenance.Configurer les positions des panneaux, les ouvertures et les dégagements à partir de la disposition de l'équipement réel.
Les pénétrations de services publics non planifiées créent des interfaces difficiles après l'installation.Énumérez les connexions de puissance, de données, de gaz, d'échappement et de transfert avant que les panneaux d'enceinte ne soient finalisés.
L'agencement de filtration ou de flux d'air sélectionné ne correspond pas à la sensibilité du processus.Coordonner la filtration HEPA ou ULPA et le trajet du flux d'air autour de l'exigence de processus identifiée.
Le contrôle ESD et la visibilité des tâches sont ajoutés en tant qu'obstructions distinctes à l'intérieur du boîtier.Planifiez l'ionisation facultative et l'éclairage de tâche en tant que caractéristiques de processus intégrées.
Dites-nous ce dont votre application a besoin
- Processus et produit manipulé
- Dessins d'outils et empreinte de l'enceinte
- Opérateur, port de charge et accès à la maintenance
- Préférence de filtration HEPA ou ULPA
- Direction du flux d'air et conditions ambiantes
- Exigences en matière d'ionisation et d'éclairage
- Puissance, données, gaz, échappement et pénétrations utilitaires
- Material-interfaces de transfert et de contrôle
Planifiez votre équipement de nettoyage ensemble
Avant de choisir Cleanroom Mini-Environnements
Un mini-environnement concentre le flux d'air filtré et l'accès contrôlé autour d'un processus sensible. La pièce environnante nécessite toujours une conception environnementale coordonnée, mais l'enceinte locale cible l'outil critique et le chemin du produit.
La disposition du panneau, les ouvertures d'accès et les pénétrations d'utilité peuvent être coordonnées à partir des dessins d'outils et des autorisations de maintenance réels.
La plate-forme existante peut être configurée avec un étage terminal HEPA ou ULPA approprié, sous réserve des exigences de flux d'air, de pression et de processus.
Fournir la disposition de l'outil, le flux de processus, les points d'accès, l'empreinte de l'enceinte, les besoins de filtration, les services publics, les exigences d'ionisation ou d'éclairage et les contraintes de la pièce environnante.
Configuration d'un mini-environnement Cleanroom?
Partagez vos dessins d'équipement, les exigences d'accès et les besoins de filtration. Discutez d'une configuration adaptée à votre processus et demandez votre devis.
