현지화 된 프로세스 격리

클린 룸 미니 환경

민감한 과정 주위에 깨끗한 공기 제어를 집중하십시오. 구성 가능한 미니 환경은 장비 주변의 인클로저, 여과 및 액세스를 함께 제공하여 로컬 프로세스 영역을 주변 활동과 분리하는 데 도움이됩니다.

1맞춤형 인클로저 플랫폼

모델 및 옵션 탐색 맞춤 견적 요청

맞춤형 프로세스 보호 Semiconductor mini-environment with localized clean-air enclosure

01로컬화된 보호가 필요한 프로세스 도구, 제품 경로 및 인클로저 공간을 제공합니다.

02장비 주변의 액세스 패널, 로드 포트, 작업자 개구 및 유지 보수 간격을 정의합니다.

03HEPA 또는 ULPA 여과, 기류 방향, 이온화 및 조명 요구 사항을 확인하십시오.

04유틸리티 침투, 제어 인터페이스, 재료 전송 연결 및 주변 방 제약 조건을 나열합니다.

선택 매트릭스

클린 룸 미니 환경을 선택하는 방법

운영 작업 및 사이트 제약 조건으로 시작한 다음 의도 한 용도와 가장 잘 일치하는 제품 방향을 비교하십시오.

구매자 요구 사항	제품 방향	왜 도움이되는지
하나의 반도체 취급 또는 검사 공정 보호	Semiconductor Mini - Environment (미니 환경)	정의된 도구 및 제품 경로 주위에 필터링된 공기 흐름과 함께 낮은 흘림 지역화된 인클로저를 만듭니다.
인력 및 유지 보수 접근 조정	슬라이딩 또는 힌지 액세스 패널 구성	일상적인 작동 및 서비스 클리어런스를 실제 장비 배치와 일치시킵니다.
입자에 민감한 또는 ESD에 민감한 취급 지원	터미널 여과 및 선택적 이온화 구성	확인 된 프로세스 요구 사항 주변의 청정 공기 및 정전기 제어 기능을 선택합니다.
인클로저를 생산 도구에 연결	도구 별 유틸리티 침투 구성	실제 전력, 데이터, 가스, 배기 또는 전송 연결을위한 인터페이스를 봉인했습니다.

Semiconductor Mini-Environment main product view

Semiconductor Mini - Environment (미니 환경)

민감한 반도체 취급 또는 검사 작업 주위에 지역화된 청정공기 구역을 만드는 컴팩트한 프로세스 케이스.

반도체 공정현지화 된 깨끗한 공기도구 통합

보기 모델 →

선택한 모든 필터와 일치하는 모델이 없습니다.
하나 이상의 필터를 재설정하여 더 넓은 그룹을 비교합니다.

응용 프로그램 솔루션

프로세스의 과제를 극복

프로세스가 실제로 작동하는 방식을 중심으로 깨끗한 공기 인클로저를 구축하십시오. 우리는 장비 설치 공간, 재료 전송 구멍, 유지 보수 액세스, 여과 및 유틸리티 인터페이스를 조정하는 데 도움이되므로 인클로저는 제품 보호 및 일상적인 작업을 모두 지원합니다.

완전한 방은 가까운 로컬 제어가 필요한 중요한 프로세스 영역보다 큽니다.정의된 도구 및 제품 경로 주위에 콤팩트한 필터링된 인클로저를 만듭니다.

표준 인클로저 치수는 로드 포트 또는 유지 보수 액세스를 방해합니다.실제 장비 레이아웃에서 패널 위치, 개구부 및 클리어런스를 구성합니다.

계획되지 않은 유틸리티 침투는 설치 후 어려운 인터페이스를 만듭니다.인클로저 패널이 완성되기 전에 전원, 데이터, 가스, 배기 및 전송 연결을 나열합니다.

선택된 여과 또는 기류 배열은 공정 감도와 일치하지 않는다.HEPA 또는 ULPA 여과 및 식별된 프로세스 요구 사항 주변의 공기 흐름 경로를 조정합니다.

ESD 제어 및 작업 가시성은 인클로저 내부에 별도의 장애물로 추가됩니다.통합 프로세스 기능으로 선택적 이온화 및 작업 조명을 계획하십시오.

맞춤형 견적 받기

응용 프로그램에 필요한 것을 알려주십시오.

처리 된 프로세스 및 제품
공정 장비 도면 및 인클로저 설치 면적
작업자, 로드 포트 및 유지보수 접근성
HEPA 또는 ULPA 여과 선호도
공기 흐름 방향 및 주변 실내 조건
이온화 및 조명 요구사항
전원, 데이터, 가스, 배기 및 유틸리티 관통부
자재 이송 및 제어 인터페이스

장비 구성을 보완하세요

클린룸 장비를 함께 계획하세요

자주 묻는 질문

클린룸 미니 환경을 선택하기 전에

국소 조건과 동일하게 전체 실을 제어하는 대신 미니 환경을 사용하는 이유는 무엇인가요?

미니 환경은 하나의 민감한 공정 주변에 여과 공기 흐름과 제어된 접근을 집중시킵니다. 주변 실에도 통합된 환경 설계가 필요하지만, 국소 인클로저는 핵심 공정 장비와 제품의 이동 경로를 목표로 합니다.

인클로저가 기존 공정 장비에 맞을 수 있나요?

실제 장비 도면과 유지보수 여유 공간을 기준으로 패널 배치, 접근 개구부 및 유틸리티 관통부를 조정할 수 있습니다.

미니 환경에 HEPA 또는 ULPA 여과를 사용할 수 있나요?

기존 플랫폼은 풍량, 압력 및 공정 요구사항에 따라 적합한 HEPA 또는 ULPA 최종 필터 단계를 구성할 수 있습니다.

설계 검토 전에 어떤 정보가 필요한가요?

공정 장비 배치도, 공정 흐름, 접근 지점, 인클로저 설치 면적, 여과 요구사항, 유틸리티, 이온화 또는 조명 요구사항 및 주변 실의 제약조건을 제공하세요.

클린룸 미니 환경을 구성하시나요?

장비 도면, 접근 요구사항 및 여과 요구사항을 공유하세요. 공정에 맞춘 구성을 상담하고 견적을 요청하세요.

미니 환경 견적 요청 →