การแยกกระบวนการแปล

สภาพแวดล้อมขนาดเล็กในคลีนรูม

โฟกัสการควบคุมอากาศที่สะอาดรอบกระบวนการที่ละเอียดอ่อนของคุณสภาพแวดล้อมขนาดเล็กที่กำหนดค่าได้นำตู้การกรองและการเข้าถึงร่วมกันรอบอุปกรณ์ของคุณช่วยแยกโซนกระบวนการท้องถิ่นออกจากกิจกรรมโดยรอบ

1แพลตฟอร์มการปิดที่ปรับแต่งได้

สำรวจโมเดลและตัวเลือก ขอใบเสนอราคาแบบกำหนดเอง

การป้องกันกระบวนการตามความต้องการ Semiconductor mini-environment with localized clean-air enclosure

01จัดเตรียมเครื่องมือกระบวนการเส้นทางผลิตภัณฑ์และรอยเท้าตู้ที่ต้องการการป้องกันในท้องถิ่น

02กำหนดแผงการเข้าถึงพอร์ตโหลดช่องเปิดของผู้ปฏิบัติงานและระยะห่างในการบำรุงรักษารอบๆอุปกรณ์

03ยืนยันการกรอง HEPA หรือ ulpa ทิศทางการไหลของอากาศไอออนไนซ์และข้อกำหนดด้านแสง

04การแทรกซึมของยูทิลิตี้อินเทอร์เฟซการควบคุมการเชื่อมต่อการถ่ายโอนวัสดุและข้อจำกัดของห้องโดยรอบ

เมทริกซ์การเลือก

วิธีเลือกสภาพแวดล้อมขนาดเล็กในคลีนรูม

เริ่มต้นด้วยงานปฏิบัติการและข้อจำกัดของไซต์จากนั้นเปรียบเทียบทิศทางผลิตภัณฑ์ที่ตรงกับการใช้งานที่ต้องการมากที่สุด

ความต้องการของผู้ซื้อ	ทิศทางของผลิตภัณฑ์	ทำไมช่วยได้
ปกป้องกระบวนการจัดการหรือตรวจสอบเซมิคอนดักเตอร์หนึ่งรายการ	เซมิคอนดักเตอร์ Mini-Environment	สร้างตู้ที่มีการไหลต่ำด้วยการไหลของอากาศที่กรองรอบเครื่องมือและเส้นทางผลิตภัณฑ์ที่กำหนดไว้
ประสานงานการเข้าถึงบุคลากรและการบำรุงรักษา	กำหนดค่าแผงเลื่อนหรือบานพับ	ตรงกับการดำเนินงานเป็นประจำและการกวาดล้างบริการเพื่อการจัดอุปกรณ์ที่เกิดขึ้นจริง
สนับสนุนการจัดการที่ไวต่ออนุภาคหรือ ESD	กำหนดค่าการกรองเทอร์มินัลและไอออนไนซ์เสริม	เลือกคุณสมบัติการควบคุมอากาศบริสุทธิ์และไฟฟ้าสถิตรอบข้อกำหนดของกระบวนการระบุ
เชื่อมต่อตู้เข้ากับเครื่องมือการผลิต	กำหนดค่าการแทรกซึมของยูทิลิตี้เฉพาะเครื่องมือ	แผนการเชื่อมต่อที่ปิดสนิทสำหรับการเชื่อมต่อพลังงานข้อมูลก๊าซไอเสียหรือการถ่ายโอนจริง

Semiconductor Mini-Environment main product view

เซมิคอนดักเตอร์ Mini-Environment

ตู้กระบวนการขนาดกะทัดรัดที่สร้างเขตอากาศที่สะอาดในท้องถิ่นรอบการจัดการเซมิคอนดักเตอร์ที่ละเอียดอ่อนหรือการตรวจสอบ

กระบวนการเซมิคอนดักเตอร์อากาศสะอาดในพื้นที่การรวมเครื่องมือ

ดูโมเดล →

ไม่มีรุ่นที่ตรงกับตัวกรองที่เลือกทุกตัว
รีเซ็ตตัวกรองหนึ่งตัวขึ้นไปเพื่อเปรียบเทียบกลุ่มที่กว้างขึ้น

โซลูชันสำหรับแอปพลิเคชันของคุณ

เอาชนะความท้าทายในกระบวนการของคุณ

สร้างตู้อากาศสะอาดรอบๆกระบวนการของคุณทำงานได้จริงเราช่วยคุณประสานงานรอยเท้าอุปกรณ์ช่องเปิดการถ่ายโอนวัสดุการเข้าถึงการบำรุงรักษาการกรองและอินเทอร์เฟซยูทิลิตี้ดังนั้นตู้จึงรองรับทั้งการป้องกันผลิตภัณฑ์และการใช้งานประจำวัน

ห้องที่สมบูรณ์มีขนาดใหญ่กว่าพื้นที่กระบวนการที่สำคัญที่ต้องการการควบคุมในท้องถิ่นอย่างใกล้ชิดสร้างตู้กรองขนาดกะทัดรัดรอบๆเครื่องมือและเส้นทางผลิตภัณฑ์ที่กำหนดไว้

ขนาดตู้มาตรฐานรบกวนพอร์ตโหลดหรือการเข้าถึงการบำรุงรักษากำหนดค่าตำแหน่งแผงช่องเปิดและช่องว่างจากรูปแบบอุปกรณ์จริง

การแทรกซึมของยูทิลิตี้ที่ไม่ได้วางแผนสร้างอินเทอร์เฟซที่ยากลำบากหลังการติดตั้งรายการการเชื่อมต่อพลังงานข้อมูลก๊าซไอเสียและการถ่ายโอนก่อนที่แผงตู้จะสรุป

การกรองหรือการจัดกระแสลมที่เลือกไม่ตรงกับความไวของกระบวนการประสานงานการกรอง HEPA หรือ ulpa และเส้นทางการไหลของอากาศรอบความต้องการของกระบวนการระบุ

เพิ่มการควบคุม ESD และการมองเห็นงานเป็นสิ่งกีดขวางแยกต่างหากภายในตู้วางแผนไอออนไนซ์เสริมและแสงงานเป็นคุณสมบัติกระบวนการแบบบูรณาการ

รับใบเสนอราคาที่ปรับแต่ง

บอกเราว่าคุณต้องการอะไร

กระบวนการและผลิตภัณฑ์ที่จัดการ
แบบวาดอุปกรณ์กระบวนการและขนาดพื้นที่ติดตั้งห้องปิด
การเข้าถึงของผู้ปฏิบัติงาน จุดโหลดพอร์ต และการบำรุงรักษา
ความต้องการด้านการกรอง HEPA หรือ ULPA
ทิศทางการไหลของอากาศและสภาพห้องโดยรอบ
ข้อกำหนดด้านการไอออไนซ์และแสงสว่าง
ช่องทะลุสำหรับไฟฟ้า ข้อมูล ก๊าซ ลมระบาย และระบบสาธารณูปโภค
อินเทอร์เฟซการถ่ายโอนวัสดุและการควบคุม

เติมเต็มอุปกรณ์ของคุณ

วางแผนอุปกรณ์คลีนรูมของคุณร่วมกัน

คำถามที่พบบ่อย

ก่อนเลือกมินิ-เอ็นไวรอนเมนต์สำหรับคลีนรูม

เหตุใดจึงใช้มินิ-เอ็นไวรอนเมนต์แทนการควบคุมทั้งห้องให้มีสภาวะเฉพาะจุดเดียวกัน

มินิ-เอ็นไวรอนเมนต์รวมลมกรองและการเข้าถึงที่ควบคุมไว้รอบกระบวนการที่ละเอียดอ่อนหนึ่งกระบวนการ ห้องโดยรอบยังต้องมีการออกแบบสภาพแวดล้อมที่ประสานกัน แต่ห้องปิดเฉพาะจุดจะมุ่งควบคุมอุปกรณ์กระบวนการและเส้นทางผลิตภัณฑ์ที่สำคัญ

ห้องปิดสามารถติดตั้งให้พอดีกับอุปกรณ์กระบวนการที่มีอยู่ได้หรือไม่

สามารถประสานผังแผง ช่องเปิดเข้าถึง และช่องทะลุระบบสาธารณูปโภคจากแบบวาดอุปกรณ์จริงและระยะเผื่อการบำรุงรักษาได้

มินิ-เอ็นไวรอนเมนต์สามารถใช้การกรอง HEPA หรือ ULPA ได้หรือไม่

แพลตฟอร์มเดิมสามารถกำหนดค่าให้ใช้ขั้นกรองปลายทาง HEPA หรือ ULPA ที่เหมาะสมได้ โดยต้องเป็นไปตามข้อกำหนดด้านการไหลของอากาศ แรงดัน และกระบวนการ

ต้องใช้ข้อมูลใดก่อนทบทวนการออกแบบ

ส่งผังอุปกรณ์กระบวนการ การไหลของกระบวนการ จุดเข้าถึง ขนาดพื้นที่ติดตั้งห้องปิด ความต้องการด้านการกรอง ระบบสาธารณูปโภค ข้อกำหนดด้านการไอออไนซ์หรือแสงสว่าง และข้อจำกัดของห้องโดยรอบ

กำลังปรับการกำหนดค่ามินิ-เอ็นไวรอนเมนต์สำหรับคลีนรูมอยู่หรือไม่

แบ่งปันแบบวาดอุปกรณ์ ความต้องการด้านการเข้าถึง และความต้องการด้านการกรองของคุณ พูดคุยเกี่ยวกับการกำหนดค่าที่ปรับให้เหมาะกับกระบวนการและขอใบเสนอราคา

ขอใบเสนอราคามินิ-เอ็นไวรอนเมนต์ →