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Semiconductores Mini-Environment
Un recinto de proceso compacto que crea una zona de Aire Limpio localizada alrededor de operaciones sensibles de manipulación o inspección de semiconductores.
Aislamiento de proceso localizado
Sala limpia Mini-Entornos
Enfoque el control de aire limpio alrededor de su proceso sensible. Un mini-entorno configurable reúne el recinto, la filtración y el acceso alrededor de su equipo, lo que ayuda a separar la zona de proceso local de la actividad circundante.
1Plataforma de recinto personalizable
Protección de proceso a medida
01Proporcione la herramienta de proceso, la ruta del producto y la huella del recinto que requieren protección localizada.
02Defina los paneles de acceso, los puertos de carga, las aberturas del operador y las autorizaciones de mantenimiento alrededor del equipo.
03Confirme la filtración HEPA o ULPA, la dirección del flujo de aire, la ionización y los requisitos de iluminación.
04Enumere las penetraciones de la utilidad, las interfaces de control, las conexiones de transferencia de material y las limitaciones de la habitación circundante.
Cómo seleccionar mini-entornos de sala blanca
Comience con las restricciones de la tarea operativa y del sitio, luego compare la dirección del producto que mejor se adapte al uso deseado.
| Requisito del comprador | Dirección del producto | Por qué ayuda |
|---|---|---|
| Proteger un proceso de inspección o manejo de semiconductores | Semiconductores Mini-Environment | Crea un recinto localizado de baja desprenda con flujo de aire filtrado alrededor de la herramienta definida y la ruta del producto. |
| Coordinar acceso de personal y mantenimiento | Configurar paneles de acceso deslizantes o con bisagras | Coincide con la operación de rutina y la autorización de servicio con la disposición real del equipo. |
| Soporte de manejo sensible a partículas o ESD | Configurar la filtración terminal y la ionización opcional | Selecciona las características de control electrostático y de aire limpio en torno al requisito de proceso identificado. |
| Conectar el recinto a una herramienta de producción | Configurar penetraciones de utilidad específicas de la herramienta | Planea interfaces selladas para las conexiones reales de energía, datos, gas, escape o transferencia. |
Configure su mini-Entorno
Cree un espacio de trabajo controlado alrededor de su equipo, acceso y requisitos de Aire Limpio. Explore las opciones a continuación y pídanos una cotización personalizada.
1 plataforma configurable
- Filtración terminal
HEPA, ULPA - Paneles de acceso
Deslizante, con bisagras - Características del proceso
Ionización, iluminación de tareas, ionización e iluminación de tareas, sin característica adicional - Interfaz de herramienta
Penetraciones de servicios específicos del proyecto, interfaz de transferencia específica del proyecto, recinto independiente
No hay modelos que coincidan con todos los filtros seleccionados.
Restablecer uno o más filtros para comparar un grupo más amplio.
Restablecer uno o más filtros para comparar un grupo más amplio.
Soluciones para su aplicación
Supera los desafíos en su proceso
Construya un recinto de Aire Limpio alrededor de la forma en que realmente funciona su proceso. Le ayudamos a coordinar la huella del equipo, las aberturas de transferencia de materiales, el acceso de mantenimiento, la filtración y las interfaces de servicios públicos, por lo que el recinto admite la protección del producto y el funcionamiento diario.
La Sala completa es más grande que el área de proceso crítica que necesita un control local cercano.Cree un recinto filtrado compacto alrededor de la herramienta definida y la ruta del producto.
Las dimensiones estándar del recinto interfieren con los puertos de carga o el acceso de mantenimiento.Configure las posiciones del panel, los huecos y los espacios libres del diseño del equipo real.
Las penetraciones de utilidad no planificadas crean interfaces difíciles después de la instalación.Enumere las conexiones de potencia, datos, gas, escape y transferencia antes de finalizar los paneles del recinto.
La Disposición de filtración o flujo de aire seleccionada no coincide con la sensibilidad del proceso.Coordine la filtración HEPA o ULPA y la ruta del flujo de aire alrededor del requisito del proceso identificado.
El control ESD y la visibilidad de la tarea se agregan como obstrucciones separadas dentro del recinto.Planifique la ionización opcional y la iluminación de tareas como características de proceso integrado.
Díganos lo que necesita su solicitud
- Proceso y producto manipulados
- Planos del equipo y superficie ocupada por el recinto
- Acceso del operador, del puerto de carga y de mantenimiento
- Preferencia de filtración HEPA o ULPA
- Dirección del flujo de aire y condiciones de la sala circundante
- Requisitos de ionización e iluminación
- Penetraciones para alimentación eléctrica, datos, gas, extracción y servicios
- Interfaces de transferencia de materiales y control
Planifique su equipo de sala limpia juntos
Antes de elegir minientornos de sala limpia
Un minientorno concentra el flujo de aire filtrado y el acceso controlado alrededor de un proceso sensible. La sala circundante aún requiere un diseño ambiental coordinado, pero el recinto local se centra en la trayectoria crítica del equipo y del producto.
La disposición de los paneles, las aberturas de acceso y las penetraciones de servicios pueden coordinarse a partir de los planos reales del equipo y de los espacios libres necesarios para el mantenimiento.
La plataforma existente puede configurarse con una etapa terminal HEPA o ULPA adecuada, sujeta a los requisitos de flujo de aire, presión y proceso.
Proporcione la distribución del equipo, el flujo del proceso, los puntos de acceso, la superficie ocupada por el recinto, la necesidad de filtración, los servicios, los requisitos de ionización o iluminación y las restricciones de la sala circundante.
¿Está configurando un minientorno de sala limpia?
Comparta los planos de sus equipos, los requisitos de acceso y las necesidades de filtración. Analice una configuración adaptada a su proceso y solicite una cotización.
