Cách ly quy trình cục bộ

Các môi trường mini trong phòng sạch

Tập trung kiểm soát không khí sạch xung quanh quá trình nhạy cảm của bạn. Một môi trường nhỏ có thể cấu hình mang lại sự bao vây, lọc và truy cập cùng nhau xung quanh thiết bị của bạn, giúp tách vùng quy trình cục bộ khỏi hoạt động xung quanh.

1Nền tảng bao vây tùy chỉnh

Khám phá các mẫu và tùy chọn Yêu cầu báo giá tùy chỉnh

Bảo vệ quy trình phù hợp Semiconductor mini-environment with localized clean-air enclosure

01Cung cấp công cụ xử lý, đường dẫn sản phẩm và dấu chân bao vây yêu cầu bảo vệ cục bộ.

02Xác định bảng truy cập, cổng tải, lỗ mở của người vận hành và khoảng trống bảo trì xung quanh thiết bị.

03Xác nhận yêu cầu lọc HEPA hoặc ULPA, hướng luồng không khí, ion hóa và chiếu sáng.

04Liệt kê các tiện ích xuyên thấu, giao diện điều khiển, kết nối chuyển vật liệu và các ràng buộc xung quanh phòng.

Ma Trận chọn lọc

Cách chọn môi trường nhỏ trong phòng sạch

Bắt đầu với nhiệm vụ vận hành và các ràng buộc về trang web, sau đó so sánh hướng sản phẩm phù hợp nhất với mục đích sử dụng.

Yêu cầu của người mua	Hướng sản phẩm	Tại Sao Nó có ích
Bảo vệ một quá trình xử lý hoặc kiểm tra chất bán dẫn	Môi trường bán dẫn Mini	Tạo ra một vỏ bọc cục bộ thấp với luồng không khí được lọc xung quanh công cụ và đường dẫn Sản phẩm được xác định.
Phối hợp nhân sự và truy cập bảo trì	Cấu hình tấm truy cập trượt hoặc bản lề	Phù hợp với hoạt động thường xuyên và giải phóng mặt bằng dịch vụ để sắp xếp thiết bị thực tế.
Hỗ trợ xử lý nhạy cảm với hạt hoặc nhạy cảm với ESD	Định cấu hình hệ thống lọc cuối và ion hóa tùy chọn	Chọn các tính năng kiểm soát tĩnh điện và không khí sạch xung quanh yêu cầu quy trình đã xác định.
Kết nối vỏ bọc với công cụ sản xuất	Cấu hình xuyên thấu tiện ích cụ thể cho công cụ	Kế hoạch giao diện kín cho các kết nối điện, dữ liệu, khí đốt, khí thải hoặc truyền tải thực tế.

Semiconductor Mini-Environment main product view

Môi trường bán dẫn Mini

Một bao vây quy trình nhỏ gọn tạo ra một vùng không khí sạch cục bộ xung quanh các hoạt động xử lý hoặc kiểm tra chất bán dẫn nhạy cảm.

Quá trình bán dẫnKhông khí sạch cục bộTích hợp công cụ

Xem mẫu →

Không có mẫu nào khớp với mọi bộ lọc đã chọn.
Đặt lại một hoặc nhiều bộ lọc để so sánh một nhóm rộng hơn.

Các giải pháp cho ứng dụng của bạn

Vượt qua những thách thức trong quá trình của bạn

Xây Dựng Một bao vây không khí sạch xung quanh cách quá trình của bạn thực sự hoạt động. Chúng tôi giúp bạn điều phối Dấu Chân thiết bị, mở chuyển vật liệu, truy cập bảo trì, lọc và các giao diện tiện ích, vì vậy vỏ bọc hỗ trợ cả bảo vệ sản phẩm và vận hành hàng ngày.

Phòng hoàn chỉnh lớn hơn khu vực quy trình quan trọng cần kiểm soát cục bộ chặt chẽ.Tạo một bao vây được lọc nhỏ gọn xung quanh công cụ xác định và đường dẫn sản phẩm.

Kích thước vỏ bọc tiêu chuẩn cản trở các cổng tải hoặc truy cập bảo trì.Cấu hình các vị trí bảng điều khiển, lỗ mở và khoảng trống từ bố trí thiết bị thực tế.

Các tiện ích không có kế hoạch thâm nhập tạo ra các giao diện khó khăn sau khi cài đặt.Liệt kê các kết nối nguồn, dữ liệu, khí đốt, khí thải và truyền tải trước khi các tấm bao vây được hoàn thiện.

Sự sắp xếp lọc hoặc luồng khí đã chọn không phù hợp với độ nhạy của quá trình.Phối hợp lọc HEPA hoặc ULPA và đường dẫn khí xung quanh yêu cầu quy trình đã xác định.

Điều khiển ESD và khả năng hiển thị tác vụ được thêm vào dưới dạng các vật cản riêng biệt bên trong vỏ bọc.Lập kế hoạch ion hóa tùy chọn và chiếu sáng tác vụ như các tính năng quy trình tích hợp.

Nhận báo giá phù hợp

Cho chúng tôi biết ứng dụng của bạn cần gì

Quy trình và sản phẩm được xử lý
Bản vẽ thiết bị quy trình và diện tích chiếm chỗ của vỏ bao che
Lối tiếp cận của người vận hành, cổng nạp tải và bảo trì
Lựa chọn lọc HEPA hoặc ULPA
Hướng dòng khí và điều kiện phòng xung quanh
Yêu cầu ion hóa và chiếu sáng
Các vị trí xuyên qua cho điện, dữ liệu, khí, xả và các tiện ích kỹ thuật
Giao diện chuyển vật liệu và điều khiển

Bổ sung cho thiết bị của bạn

Lập kế hoạch thiết bị phòng sạch cùng nhau

Câu hỏi thường gặp

Trước khi chọn môi trường mini cho phòng sạch

Vì sao dùng môi trường mini thay vì kiểm soát toàn bộ phòng theo cùng điều kiện cục bộ?

Môi trường mini tập trung luồng khí đã lọc và quyền tiếp cận có kiểm soát quanh một quy trình nhạy cảm. Phòng xung quanh vẫn cần thiết kế môi trường được phối hợp, nhưng vỏ bao che cục bộ hướng đến tuyến thiết bị quy trình và sản phẩm quan trọng.

Vỏ bao che có lắp vừa thiết bị quy trình hiện hữu không?

Bố trí tấm, ô tiếp cận và các lối xuyên tiện ích có thể được phối hợp từ bản vẽ thiết bị thực tế và khoảng hở bảo trì.

Môi trường mini có thể dùng lọc HEPA hoặc ULPA không?

Nền tảng hiện hữu có thể được cấu hình với tầng lọc cuối HEPA hoặc ULPA phù hợp, tùy thuộc vào yêu cầu về dòng khí, áp suất và quy trình.

Cần những thông tin gì trước khi xem xét thiết kế?

Cung cấp bố trí thiết bị quy trình, luồng quy trình, các điểm tiếp cận, diện tích chiếm chỗ của vỏ bao che, nhu cầu lọc, tiện ích, yêu cầu ion hóa hoặc chiếu sáng và các hạn chế của phòng xung quanh.

Đang cấu hình môi trường mini cho phòng sạch?

Chia sẻ bản vẽ thiết bị, yêu cầu tiếp cận và nhu cầu lọc. Trao đổi cấu hình được điều chỉnh theo quy trình của bạn và yêu cầu báo giá.

Yêu cầu báo giá môi trường mini →