Tiếng Anh
Tiếng Bồ Đào Nha, tiếng Bồ Đào Nha
Tiếng Tây Ban Nha, tiếng Tây Ban Nha
Tiếng Mã Lai
Tiếng Indonesia (tiếng Việt)
Tiếng Đức, tiếng Đức
Tiếng Thổ Nhĩ Kỳ, tiếng Thổ Nhĩ Kỳ
Tiếng Việt / tiếng ViệtHiện tại
Tiếng Pháp, tiếng Pháp
Tiếng Nga, tiếng Nga
Tiếng Ả Rập, tiếng Ả Rập
Tiếng Thái (tiếng Thái)
Tiếng Nhật
Tiếng Hàn / tiếng Hàn
Thiết bị phòng sạch cụ thể cho ngành
Môi trường bán dẫn Mini
Một bao vây quy trình nhỏ gọn tạo ra một vùng không khí sạch cục bộ xung quanh các hoạt động xử lý hoặc kiểm tra chất bán dẫn nhạy cảm.
- Luồng không khí HEPA cục bộ
- Truy cập quy trình trong suốt
- Xây dựng hạ tầng
- Giao diện công cụ cấu hình
Giới thiệu Sản phẩm
Môi trường mini bán dẫn kết hợp khung Nhôm anod hóa, tấm bao vây trong suốt, mô-đun bộ lọc quạt trên cao và sàn làm việc không gỉ có thể làm sạch. Nó tách khu vực quy trình được bảo vệ khỏi lưu lượng phòng xung quanh trong khi vẫn giữ được tầm nhìn trực tiếp và quyền truy cập của nhà điều hành được kiểm soát. Bảng dịch vụ, xuyên thấu tiện ích và giao diện thiết bị có thể được bố trí xung quanh công cụ đã lắp đặt, bộ xử lý Wafer hoặc thiết bị kiểm tra.
Các tính năng chính
Tấm nền trong suốt duy trì khả năng hiển thị quá trình trong khi hạn chế không kiểm soát được lối vào không khí trong phòng.
Bề mặt làm việc bằng kim loại mịn và các bộ phận khung chống đổ thấp hỗ trợ vệ sinh thường xuyên.
Truy cập mô-đun, điều khiển và xuyên thấu tiện ích thích ứng với thiết bị xử lý kèm theo.
Các giải pháp cho ứng dụng của bạn
Các hoạt động của Wafer được bản địa hóa cần có độ sạch ổn định mà không bao quanh toàn bộ khoang sản xuất với cùng điều kiện nghiêm ngặt.
Lưu lượng truy cập trong phòng có thể mang các hạt hướng tới một bước xử lý Wafer lộ ra.Một vùng luồng không khí dọc được lọc và vỏ bọc vật lý che chắn khu vực quy trình quan trọng.
Bảo vệ mờ đục gây khó khăn cho việc quan sát thiết bị và tình trạng vật liệu.Xóa bảng truy cập bảo vệ tầm nhìn từ nhiều phía mà không cần mở vỏ.
Một vỏ cố định có thể xung đột với dịch vụ công cụ và các kết nối tiện ích.Khung mô-đun cho phép cửa dịch vụ, tấm có thể tháo rời và xuyên thấu theo bố cục công cụ thực tế.
Bóng rộng và góc không thể tiếp cận làm phức tạp việc kiểm tra làm sạch.Bề mặt làm việc trơn tru và bố cục bên trong mở, có thể nhìn thấy giúp giảm các bẫy dư lượng ẩn.
Các ứng dụng điển hình
Kiểm tra và đo lường WaferHoạt động lắp ráp bán dẫnXử lý chất nền nhạy cảmTải Công cụ và cách ly quy trình
Thông số kỹ thuật
Các giá trị xây dựng điển hình cho môi trường mini bán dẫn mô-đun được liệt kê dưới đây.
| Vật liệu lõi | Khung nhôm anodized với tấm polycarbonate trong suốt và bề mặt làm việc bằng thép không gỉ |
|---|---|
| Độ dày bảng điều khiển | 6-10 Tấm vỏ bọc trong suốt mm |
| Chiều rộng hiệu quả | Chiều rộng bao vây quy trình 1200-2400mm |
| Chiều dài tối đa | Chiều dài vỏ mô-đun lên đến 3000 mm |
| Thép đối mặt với độ dày | Tấm làm việc và tủ bằng thép không gỉ 1.0-1.5mm |
| Mật độ lõi | 2700 kg/m³ cho khung nhôm và 7850-8000 kg/m³ cho các thành phần không gỉ |
| Độ dẫn nhiệt | 14-17 W/(m · K) cho bề mặt làm việc không gỉ |
| Kết thúc bề mặt | Nhôm anod hóa tự nhiên, kính trong và thép không gỉ chải |
| Loại khớp nối | Các khớp đùn Mô đun bắt vít với các tấm tiếp cận tháo lắp được |
| Tùy chỉnh | Có sẵn dựa trên ứng dụng dự định và môi trường hoạt động. |
Các tùy chọn có sẵn
Bộ lọc đầu cuối HEPA hoặc ULPACác tấm panel truy cập dạng trượt hoặc có bản lềIon hóa và chiếu sáng tác vụCông cụ thâm nhập tiện ích cụ thể
Lập kế hoạch cho một đặc điểm kỹ thuật môi trường mini bán dẫn?
Gửi cho chúng tôi kích thước của bạn, điều kiện lắp đặt, mục tiêu hiệu suất và bề mặt yêu cầu hoàn thiện.
