Semiconductor mini-environment in complete three-quarter front view

معدات الغرف النظيفة المحددة للصناعة

Semiconductor البيئة الصغيرة

حاوية عملية مدمجة تخلق منطقة هواء نظيفة محلية حول مناولة أشباه الموصلات الحساسة أو عمليات التفتيش.

تدفق الهواء الموضعي HEPA
الوصول إلى عملية شفافة
بناء سفك منخفض
واجهة أداة شكلي

مقدمة المنتج

تجمع البيئة الصغيرة لأشباه الموصلات بين إطار من الألومنيوم المؤكسد ، وألواح العلبة الشفافة ، ووحدة مرشح مروحة علوي ، وسطح عمل قابل للتنظيف من الفولاذ المقاوم للصدأ. يفصل منطقة العمليات المحمية عن حركة مرور الغرفة المحيطة مع الحفاظ على الرؤية المباشرة والتحكم في وصول المشغل. يمكن ترتيب لوحات الخدمة واختراق المرافق واجهات المعدات حول الأداة المثبتة أو معالج الرقاقة أو تركيبات الفحص.

الخصائص الرئيسية

تدفق الهواء المصفى العلوي يكتسح باستمرار منطقة العمل المحمية.

تحافظ اللوحات الواضحة على رؤية العملية مع الحد من دخول الهواء والغرفة غير المنضبط.

أسطح عمل معدنية ناعمة ومكونات إطار منخفضة السفك تدعم التنظيف الروتيني.

تتكيف وحدات الوصول والضوابط واختراقات المرافق مع معدات العمليات المغلقة.

حلول للتطبيق الخاص بك

تحتاج عمليات رقاقة محلية إلى نظافة مستقرة دون أن تضم خليطًا إنتاجًا بالكامل إلى نفس الشروط الصارمة.

حركة مرور الغرفة يمكن أن تحمل الجسيمات نحو خطوة معالجة رقاقة مكشوفة.منطقة تدفق هواء عمودية مفلترة وضميمة مادية تحمي منطقة العملية الحرجة.

تجعل الحراس المعتم من الصعب مراقبة حالة المعدات والمواد.تحافظ لوحات الوصول الواضحة على الرؤية من جوانب متعددة دون فتح العلبة.

يمكن أن تتعارض العلبة الثابتة مع خدمة الأدوات ووصلات المرافق.يسمح إطار وحدات لأبواب الخدمة والألواح القابلة للإزالة والاختراق بمتابعة تخطيط الأدوات الفعلي.

ظلال واسعة وزوايا يتعذر الوصول إليها تعقد فحص التنظيف.تعمل أسطح العمل الملساء والتخطيط الداخلي المفتوح المرئي على تقليل مصائد المخلفات المخفية.

تطبيقات نموذجية

فحص الرقاقات و المعاينةعمليات تجميع أشباه الموصلاتالتعامل مع الركيزة الحساسةتحميل الأداة وعزل العملية

المعلمات الفنية

يتم سرد قيم البناء النموذجية لبيئة مصغرة أشباه الموصلات وحدات أدناه.

المواد الأساسية	إطار من الألومنيوم المؤكسد مع ألواح البولي كربونات الشفافة وأسطح عمل من الفولاذ المقاوم للصدأ
سمك اللوحة	6-10 ألواح حاويات شفافة
العرض الفعال	رفق عرض حاوية
الحد الأقصى الطول	حتى على طول حاوية وحدات
الصلب يواجه سمك	لوحات عمل وخزانة من الفولاذ المقاوم للصدأ
الكثافة الأساسية	إطار الألومنيوم ، و ، من أجل المكونات غير القابل للصدأ
الموصلية الحرارية	14-17 W/(m · K) لأسطح العمل غير القابل للصدأ
إنهاء السطح	الألومنيوم المؤكسد الطبيعي ، الزجاج الشفاف والفولاذ المقاوم للصدأ المصقول
نوع المشترك	وصلات بثق وحدات انسحابية مع ألواح وصول قابلة للإزالة gasketed
التخصيص	متوفر على أساس التطبيق المقصود وبيئة التشغيل.

الخيارات المتاحة

ترشيح محطة HEPA أو ULPAألواح وصول منزلقة أو مفصليةالتأين وإضاءة المهاماختراقات الأدوات المساعدة الخاصة

تخطيط مواصفات بيئة مصغرة لأشباه الموصلات ؟

أرسل لنا الأبعاد الخاصة بك، شروط التثبيت، أهداف الأداء والتشطيب السطحي المطلوب.

تحدث مع فريقنا