ภาษาอังกฤษ
ภาษาโปรตุเกส
ภาษาสเปน
ภาษามาเลย์
ภาษาอินโดนีเซีย
ภาษาเยอรมัน
ภาษาตุรกี
ภาษาเวียดนาม
ฝรั่งเศส
ภาษารัสเซีย
ภาษาอาหรับ
ภาษาไทยปัจจุบัน
ภาษาญี่ปุ่น
ภาษาเกาหลี
อุปกรณ์ห้องคลีนรูมเฉพาะอุตสาหกรรม
เซมิคอนดักเตอร์ Mini-Environment
ตู้กระบวนการขนาดกะทัดรัดที่สร้างเขตอากาศที่สะอาดในท้องถิ่นรอบการจัดการเซมิคอนดักเตอร์ที่ละเอียดอ่อนหรือการตรวจสอบ
- แปลกระแสลม HEPA
- การเข้าถึงกระบวนการโปร่งใส
- การก่อสร้างที่ไหลต่ำ
- อินเทอร์เฟซเครื่องมือที่กำหนดค่าได้
การแนะนําสินค้า
สภาพแวดล้อมขนาดเล็กของเซมิคอนดักเตอร์รวมกรอบอลูมิเนียมอะโนไดซ์แผงตู้ที่ชัดเจนโมดูลตัวกรองพัดลมเหนือศีรษะและดาดฟ้าสแตนเลสที่ทำความสะอาดได้มันแยกโซนกระบวนการป้องกันจากการจราจรรอบห้องในขณะที่รักษาทัศนวิสัยโดยตรงและควบคุมการเข้าถึงผู้ประกอบการแผงบริการการแทรกซึมของยูทิลิตี้และอินเทอร์เฟซอุปกรณ์สามารถจัดรอบเครื่องมือที่ติดตั้งตัวจัดการเวเฟอร์หรือตัวติดตั้งการตรวจสอบ
คุณสมบัติที่สําคัญ
แผงใสช่วยรักษาทัศนวิสัยของกระบวนการในขณะที่จำกัดการเข้าห้อง-อากาศที่ไม่มีการควบคุม
พื้นผิวการทำงานของโลหะเรียบและส่วนประกอบเฟรมไหลต่ำรองรับการทำความสะอาดเป็นประจำ
การเข้าถึงโมดูลาร์การควบคุมและการเจาะยูทิลิตี้ปรับให้เข้ากับอุปกรณ์กระบวนการที่ล้อมรอบ
โซลูชันสำหรับแอปพลิเคชันของคุณ
การดำเนินงานเวเฟอร์ที่เป็นภาษาท้องถิ่นต้องการความสะอาดที่มั่นคงโดยไม่ต้องล้อมรอบอ่าวการผลิตทั้งหมดไปยังเงื่อนไขที่เข้มงวดเดียวกัน
การจราจรในห้องสามารถพกพาอนุภาคไปยังขั้นตอนการจัดการเวเฟอร์ที่สัมผัสได้โซนการไหลของอากาศในแนวตั้งที่กรองและตู้ทางกายภาพจะป้องกันพื้นที่กระบวนการที่สำคัญ
ยามทึบแสงทำให้ยากที่จะสังเกตอุปกรณ์และสถานะวัสดุแผงการเข้าถึงที่ชัดเจนช่วยรักษาทัศนวิสัยจากหลายด้านโดยไม่ต้องเปิดตู้
ตู้คงที่สามารถขัดแย้งกับบริการเครื่องมือและการเชื่อมต่อยูทิลิตี้กรอบโมดูลาร์ช่วยให้ประตูบริการแผงที่ถอดออกได้และการเจาะเพื่อทำตามรูปแบบเครื่องมือจริง
เงากว้างและมุมที่ไม่สามารถเข้าถึงได้ทำให้การตรวจสอบการทำความสะอาดซับซ้อนขึ้นพื้นผิวการทำงานที่ราบรื่นและรูปแบบภายในที่เปิดโล่งช่วยลดกับดักตกค้างที่ซ่อนอยู่
การใช้งานทั่วไป
การตรวจสอบเวเฟอร์และเมโทรการประกอบเซมิคอนดักเตอร์การจัดการพื้นผิวที่ละเอียดอ่อนการโหลดเครื่องมือและการแยกกระบวนการ
พารามิเตอร์ทางเทคนิค
ค่าการก่อสร้างทั่วไปสำหรับสภาพแวดล้อมขนาดเล็กของเซมิคอนดักเตอร์แบบแยกส่วนมีดังต่อไปนี้
| วัสดุหลัก | โครงอะลูมิเนียมชุบอะโนไดซ์พร้อมแผงโพลีคาร์บอเนตใสและพื้นผิวงานสแตนเลส |
|---|---|
| ความหนาของแผง | 6-10มม.แผงตู้โปร่งใส |
| ความกว้างที่มีประสิทธิภาพ | ความกว้างของกระบวนการ1200-2400มม |
| ความยาวสูงสุด | ความยาวตู้โมดูลาร์สูงสุด3000มม |
| ความหนาของเหล็กหันหน้า | 1.0-1.5mm สแตนเลสทำงานและแผงตู้ |
| ความหนาแน่นหลัก | 2700 kg /m³ สำหรับกรอบอลูมิเนียมและ7850-8000 kg /m³ สำหรับส่วนประกอบสแตนเลส |
| การนําความร้อน | 14-17 W/(M · K) สำหรับพื้นผิวงานสแตนเลส |
| เสร็จสิ้นพื้นผิว | อะลูมิเนียมชุบอะโนไดซ์ธรรมชาติกระจกใสและสแตนเลสขัดเงา |
| ประเภทร่วม | ข้อต่ออัดรีดแบบแยกส่วนที่มีแผงการเข้าถึงแบบถอดได้ |
| การปรับแต่ง | สามารถใช้ได้ตามแอปพลิเคชันที่ตั้งใจไว้และสภาพแวดล้อมการทํางาน |
ตัวเลือกที่มีอยู่
การกรองขั้ว HEPA หรือ ulpaแผงเลื่อนหรือบานพับไอออนไนซ์และไฟภารกิจการแทรกซึมของยูทิลิตี้เฉพาะเครื่องมือ
การวางแผนข้อกำหนดสภาพแวดล้อมขนาดเล็กของเซมิคอนดักเตอร์?
ส่งมิติของคุณเงื่อนไขการติดตั้งเป้าหมายประสิทธิภาพและผิวที่ต้องการ
