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Semiconductor Mini-Umgebung
Ein kompaktes Prozess gehäuse, das eine lokalisierte Reinluft zone um empfindliche Halbleiter handhabungs-oder Inspektions vorgänge schafft.
Lokalisierte Prozess isolierung
Reinraum-Mini-Umgebungen
Konzentrieren Sie die Kontrolle der Reinluft auf Ihren empfindlichen Prozess. Eine kon figur ierbare Mini-Umgebung bringt das Gehäuse, die Filtration und den Zugriff um Ihre Ausrüstung zusammen und hilft dabei, die lokale Prozess zone von den umliegenden Aktivitäten zu trennen.
1Anpassbare Gehäuse plattform
Maßge schneider ter Prozess schutz
01Stellen Sie das Prozess werkzeug, den Produkt pfad und den Gehäuse-Fußabdruck bereit, die einen lokalisierten Schutz erfordern.
02Definieren Sie Zugangs tafeln, Last anschlüsse, Bediener öffnungen und Wartungs abstände rund um das Gerät.
03Bestätigen Sie die Anforderungen an HEPA-oder ULPA-Filtration, Luftstrom richtung, Ionisation und Beleuchtung.
04Listen Sie Utility-Durchdringungen, Steuerungs schnitts tellen, Material übertragungs verbindungen und Umgebungs raum beschränkungen auf.
So wählen Sie Reinraum-Mini-Umgebungen aus
Beginnen Sie mit den Betriebs aufgaben und den Standort beschränkungen und vergleichen Sie dann die Produkt richtung, die am besten mit der beabsichtigten Verwendung überein stimmt.
| Käufer anforderung | Produkt richtung | Warum es hilft |
|---|---|---|
| Schützen Sie einen Halbleiter handhabungs-oder Inspektions prozess | Semiconductor Mini-Umgebung | Erzeugt ein lokalisiertes Gehäuse mit geringem Abfluss und gefiltertem Luftstrom um das definierte Werkzeug und den Produkt pfad. |
| Persönlicher Koordinator und Wartungs zugang | Schiebe-oder schwenkbare Zugangs paneele konfigurieren | Vergleichen den Routine betrieb und die Service freigabe mit der tatsächlichen Ausrüstung anordnung. |
| Unterstützung der partikel empfindlichen oder ESD-empfindlichen Handhabung | Terminal filtration und optionale Ionisation konfigurieren | Wählt die Funktionen für saubere Luft und elektro statische Steuerung um die ident ifi zierte Prozess anforderung herum aus. |
| Verbinden Sie das Gehäuse mit einem Produktions werkzeug | Werkzeugs pezi fische Utility-Penetrationen konfigurieren | Pläne versiegelten Schnitts tellen für die eigentlichen Strom-, Daten-, Gas-, Abgas-oder Umsteige anschlüsse. |
Konfigurieren Sie Ihre Mini-Umgebung
Bauen Sie einen kontrollierten Arbeits bereich um Ihre Ausrüstung, den Zugang und die Anforderungen an saubere Luft. Erkunden Sie die folgenden Optionen und fragen Sie uns nach einem maßge schneider ten Angebot.
1 kon figur ierbare Plattform
- Terminal-Filtration
HEPA, ULPA - Zugangs paneele
Schieben, aufklappbar - Prozess merkmale
Ionisierung, Task-Beleuchtung, Ionisierung und Task-Beleuchtung, keine zusätzliche Funktion - Werkzeug-Schnitts telle
Projekts pezi fische Utility-Durchdringungen, projekts pezi fische Transfers chnitt stelle, Standalone-Gehäuse
Keine Modelle stimmen mit jedem ausgewählten Filter überein.
Setzen Sie einen oder mehrere Filter zurück, um eine breitere Gruppe zu vergleichen.
Setzen Sie einen oder mehrere Filter zurück, um eine breitere Gruppe zu vergleichen.
Lösungen für Ihre Anwendung
Überwinden Sie die Herausforderungen in Ihrem Prozess
Bauen Sie ein Reinluft gehäuse um die Art und Weise, wie Ihr Prozess tatsächlich funktioniert. Wir helfen Ihnen bei der Koordinierung des Geräte fußabdrucks, der Material transfer öffnungen, des Wartungs zugangs, der Filtration und der Versorgungs schnitts tellen, sodass das Gehäuse sowohl den Produkts chutz als auch den täglichen Betrieb unterstützt.
Der komplette Raum ist größer als der kritische Prozess bereich, der eine enge lokale Kontrolle benötigt.Erstellen Sie ein kompaktes gefiltertes Gehäuse um das definierte Werkzeug und den Produkt pfad.
Standard gehäuse abmessungen beeinträchtigen die Last anschlüsse oder den Wartungs zugang.Konfigurieren Sie Panel positionen, Öffnungen und Abstände vom tatsächlichen Geräte layout.
Ungeplante Utility-Penetrationen schaffen schwierige Schnitts tellen nach der Installation.Listen Sie Strom-, Daten-, Gas-, Abgas-und Transfer verbindungen auf, bevor die Gehäuse platten fertig gestellt werden.
Die ausgewählte Filtration oder Luftstrom anordnung stimmt nicht mit der Prozesse mpfindlichkeit überein.Koordinieren Sie die HEPA-oder ULPA-Filtration und den Luftstrom pfad um die ident ifi zierte Prozess anforderung.
Die ESD-Steuerung und die Sichtbarkeit der Aufgaben werden als separate Hindernisse im Gehäuse hinzugefügt.Planen Sie optionale Ionisierung und Aufgaben beleuchtung als integrierte Prozess funktionen.
Sagen Sie uns, was Ihre Bewerbung braucht
- Bearbeitungsprozess und gehandhabtes Produkt
- Zeichnungen der Prozessausrüstung und Stellfläche der Einhausung
- Bediener-, Load-Port- und Wartungszugang
- Präferenz für HEPA- oder ULPA-Filtration
- Luftstromrichtung und Bedingungen im umgebenden Raum
- Anforderungen an Ionisierung und Beleuchtung
- Durchführungen für Strom, Daten, Gas, Abluft und Versorgungsleitungen
- Schnittstellen für Materialtransfer und Steuerung
Planen Sie Ihre Reinraumausrüstung gemeinsam
Vor der Auswahl von Reinraum-Mini-Umgebungen
Eine Mini-Umgebung konzentriert gefilterte Luftströmung und kontrollierten Zugang auf einen empfindlichen Prozess. Der umgebende Raum erfordert weiterhin eine abgestimmte Umgebungsauslegung, doch die lokale Einhausung richtet sich auf den kritischen Weg von Prozessausrüstung und Produkt.
Panelaufteilung, Zugangsöffnungen und Versorgungsdurchführungen können anhand der tatsächlichen Zeichnungen der Prozessausrüstung und der Wartungsfreiräume abgestimmt werden.
Die vorhandene Plattform kann vorbehaltlich der Luftstrom-, Druck- und Prozessanforderungen mit einer geeigneten HEPA- oder ULPA-Endstufe konfiguriert werden.
Stellen Sie das Layout der Prozessausrüstung, den Prozessablauf, Zugangspunkte, Einhausungsstellfläche, Filtrationsbedarf, Versorgungsanschlüsse, Anforderungen an Ionisierung oder Beleuchtung sowie Einschränkungen des umgebenden Raums bereit.
Konfigurieren Sie eine Reinraum-Mini-Umgebung?
Senden Sie Ihre Ausrüstungszeichnungen, Zugangsanforderungen und Filtrationsanforderungen. Besprechen Sie eine auf Ihren Prozess zugeschnittene Konfiguration und fordern Sie Ihr Angebot an.
