ZSemicondutor Mini-ambiente
Um gabinete de processo compacto que cria uma zona de ar limpo localizada em torno de operações sensíveis de manuseio ou inspeção.
Concentre o controle do ar limpo em torno do seu processo sensível. Um mini-ambiente configurável reúne o gabinete, a filtragem e o acesso em torno do seu equipamento, ajudando a separar a zona de processo local da atividade circundante.
Comece com a tarefa operacional e as restrições do local e compare a direção do produto que melhor corresponde ao uso pretendido.
| Requisito do comprador | Direção do produto | Por que isso ajuda |
|---|---|---|
| Proteja um semicondutor manipulação ou inspeção processo | ZSemicondutor Mini-ambiente | Cria um gabinete localizado de baixo derramamento com fluxo de ar filtrado ao redor da ferramenta definida e do caminho do produto. |
| Coordenar o pessoal e a manutenção do acesso | Configurar painéis deslizantes ou articulados do acesso | Combina a operação rotineira e o afastamento do serviço ao arranjo real do equipamento. |
| Suporta manuseio sensível a partículas ou sensível a ESD | Configurar a filtragem terminal e a ionização opcional | Seleciona os recursos de controle de ar limpo e eletrostático em torno do requisito do processo identificado. |
| Conecte o gabinete a uma ferramenta de produção | Configurar penetrações utilitárias específicas da ferramenta | Planeja interfaces seladas para as conexões reais de energia, dados, gás, exaustão ou transferência. |
Construa um espaço de trabalho controlado em torno do equipamento, acesso e requisitos de ar limpo. Explore as opções abaixo e peça-nos uma cotação personalizada.
Um gabinete de processo compacto que cria uma zona de ar limpo localizada em torno de operações sensíveis de manuseio ou inspeção.
Construa um recinto de ar limpo ao redor da maneira como seu processo realmente funciona. Ajudamos você a coordenar a pegada do equipamento, as aberturas de transferência de material, o acesso de manutenção, a filtragem e as interfaces de utilidade, para que o gabinete suporte a proteção do produto e a operação diária.
Um minientorno concentra o fluxo de ar filtrado e o acesso controlado ao redor de um processo sensível. A sala circundante ainda requer um projeto ambiental coordenado, mas o recinto local se concentra no trajeto crítico do equipamento e do produto.
O layout dos painéis, as aberturas de acesso e as passagens de serviços podem ser coordenados a partir dos desenhos reais do equipamento e das folgas de manutenção.
A plataforma existente pode ser configurada com uma etapa terminal HEPA ou ULPA adequada, sujeita aos requisitos de fluxo de ar, pressão e processo.
Forneça o layout do equipamento, o fluxo do processo, os pontos de acesso, a área ocupada pelo recinto, a necessidade de filtragem, os serviços, os requisitos de ionização ou iluminação e as restrições da sala circundante.
Compartilhe os desenhos dos seus equipamentos, os requisitos de acesso e as necessidades de filtragem. Discuta uma configuração adaptada ao seu processo e solicite sua cotação.