Локальная изоляция процесса

Мини-среды для чистых помещений

Сосредоточьте управление чистым воздухом вокруг чувствительного процесса. Настраиваемая мини-среда объединяет ограждение, фильтрацию и доступ вокруг вашего оборудования, помогая отделить локальную зону процесса от окружающей деятельности.

1Платформа с настраиваемым ограждением

Исследуйте модели & Опции Запросить пользовательское предложение

Индивидуальная защита процесса Semiconductor mini-environment with localized clean-air enclosure

01Укажите технологическое оборудование, маршрут продукта и габариты ограждения, которым требуется локальная защита.

02Определите панели доступа, загрузочные порты, проемы оператора и зазоры для обслуживания вокруг оборудования.

03Подтвердите требования к фильтрации HEPA или ULPA, направлению воздушного потока, ионизации и освещению.

04Перечислите вводы инженерных коммуникаций, интерфейсы управления, соединения для передачи материалов и ограничения окружающего помещения.

Матрица выбора

Как выбрать мини-среды для чистых помещений

Начните с операционной задачи и ограничений сайта, затем сравните направление продукта, которое наилучшим образом соответствует предполагаемой области использования.

Требование покупателя	Направление продукта	Почему это помогает
Защита одного процесса обращения с полупроводниками или их инспекции	Semiconductor Mini-Environment	Создает локальное ограждение с низким выделением частиц и фильтрованным воздушным потоком вокруг заданного технологического оборудования и маршрута продукта.
Согласуйте доступ персонала и обслуживания	Настройте сдвижные или распашные панели доступа	Согласует условия штатной работы и сервисные зазоры с фактической компоновкой оборудования.
Работа с материалами, чувствительными к частицам или ESD	Настройте конечную фильтрацию и дополнительную ионизацию	Подбирает функции очистки воздуха и контроля электростатики под выявленное технологическое требование.
Подключение ограждения к производственному оборудованию	Настройте вводы инженерных коммуникаций с учетом конкретного оборудования	Предусматривает герметичные интерфейсы для фактических подключений питания, данных, газа, вытяжки или передачи материалов.

Semiconductor Mini-Environment

Компактное технологическое ограждение, создающее локальную зону чистого воздуха вокруг чувствительных операций по обращению с полупроводниками или их инспекции.

Технологический процесс полупроводниковЛокальный чистый воздухИнтеграция технологического оборудования

Посмотреть модель →

Ни одна модель не соответствует всем выбранным фильтрам.
Сбросьте один или несколько фильтров, чтобы сравнить более широкую группу.

Решения для вашего приложения

Преодолейте сложности вашего процесса

Создайте ограждение с чистым воздухом вокруг фактического рабочего процесса. Мы поможем согласовать габариты оборудования, проемы для передачи материалов, доступ для обслуживания, фильтрацию и интерфейсы инженерных коммуникаций, чтобы ограждение поддерживало защиту продукции и повседневную эксплуатацию.

Полное помещение по размеру превышает критическую зону процесса, требующую жесткого локального контроля.Создайте компактное ограждение с фильтрованным воздухом вокруг заданного технологического оборудования и маршрута продукта.

Стандартные размеры ограждения мешают загрузочным портам или доступу для обслуживания.Настройте расположение панелей, проемов и зазоров по фактической компоновке оборудования.

Незапланированные вводы коммуникаций создают сложные интерфейсы после монтажа.Перечислите подключения питания, данных, газа, вытяжки и передачи материалов до утверждения панелей ограждения.

Выбранная схема фильтрации или воздушного потока не соответствует чувствительности процесса.Согласуйте фильтрацию HEPA или ULPA и воздушный тракт с учетом выявленного требования процесса.

Контроль ESD и видимость рабочей зоны добавляются как отдельные препятствия внутри ограждения.Спланируйте дополнительную ионизацию и рабочее освещение как интегрированные функции процесса.

Получите предложение с учетом ваших требований

Расскажите, что требуется для вашей задачи

Технологический процесс и обрабатываемый продукт
Чертежи технологического оборудования и габариты ограждения
Доступ оператора, загрузочного порта и для обслуживания
Предпочтение фильтрации HEPA или ULPA
Направление воздушного потока и условия в окружающем помещении
Требования к ионизации и освещению
Вводы питания, данных, газа, вытяжки и инженерных коммуникаций
Интерфейсы передачи материалов и управления

Дополните свое оборудование

Планируйте оборудование для чистых помещений комплексно

Часто задаваемые вопросы

Перед выбором мини-сред для чистых помещений

Зачем использовать мини-среду, а не поддерживать такие же условия во всем помещении?

Мини-среда концентрирует фильтрованный воздушный поток и контролируемый доступ вокруг одного чувствительного процесса. Окружающее помещение по-прежнему требует согласованного проектирования параметров среды, но локальное ограждение ориентировано на критический маршрут оборудования и продукции.

Может ли ограждение вписаться в существующее технологическое оборудование?

Компоновку панелей, проемы доступа и вводы инженерных коммуникаций можно согласовать по фактическим чертежам оборудования и зазорам для обслуживания.

Можно ли использовать в мини-среде фильтрацию HEPA или ULPA?

Существующую платформу можно настроить с подходящей конечной ступенью HEPA или ULPA с учетом требований к воздушному потоку, давлению и процессу.

Какая информация нужна до проверки проекта?

Предоставьте компоновку оборудования, поток процесса, точки доступа, габариты ограждения, потребность в фильтрации, инженерные коммуникации, требования к ионизации или освещению и ограничения окружающего помещения.

Нужна настройка мини-среды для чистого помещения?

Предоставьте чертежи оборудования, требования к доступу и потребности в фильтрации. Обсудите конфигурацию, адаптированную к вашему процессу, и запросите предложение.

Запросить предложение на мини-среду →