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Systèmes utilitaires Cleanroom
Scrubber de gaz sec
Cabinet de chimisorption de sec-lit de Point-of-utilisation avec les colonnes inoxydables scellées d'amortisseur, les médias inorganiques gaz-spécifiques, la capacité de secours et les interfaces surveillées de purge et d'échappement.
- Chimisorption irréversible à température ambiante
- Colonnes absorbées rechargées spécifiques au gaz en acier inoxydable
- Capacité de sauvegarde avec fonctions de purge et de point final surveillées
Introduction de produit
L'épurateur sec de gaz enlève les gaz de processus dangereux choisis en passant l'échappement par un lit inorganique consacré de chimisorber à la température ambiante. Les espèces de gaz compatibles réagissent irréversiblement avec le granulat choisi et restent en tant que produits solides stables dans les colonnes inoxydables scellées de l'absorbeur 316L. L'armoire de production affichée utilise deux colonnes pleine grandeur et une colonne de sauvegarde plus petite afin qu'une séquence contrôlée puisse isoler, purger et entretenir un lit tout en maintenant un état de sécurité technique. La température, la pression, la position de valve et la détection facultative de point final se relient au contrôleur local. La chimie du sorbant, la capacité, la disposition des colonnes, la méthode de purge et les critères de remplacement sont définis à partir de l'inventaire complet des gaz de procédé et du profil d'échappement.
Key Features
Le fonctionnement à température ambiante évite une chambre de réaction chauffée en continu pour les gaz appropriés
Le milieu inorganique gaz-spécifique est choisi pour la recette de processus réelle plutôt qu'employé comme lit universel
Les colonnes inoxydables 316L rechargeables fournissent un paquet scellé et réutilisable de retenue
Les vannes à colonne intégrées isolent le lit usé avant déconnexion et manipulation
Une colonne de sauvegarde dédiée prend en charge l'achèvement ou la transition contrôlée une fois la capacité de lit primaire atteinte
La surveillance indépendante de la température et de la percée peut identifier une charge anormale ou un point final approchant
Les routines automatisées de purge inerte et de fuite-contrôle soutiennent une préparation plus sûre de changement de colonne
Le contrôle de la sous-pression limite la contre-pression aux échappements de processus connectés
L'IHM locale, la journalisation des événements et les interfaces distantes fournissent un état de fonctionnement et de maintenance clair
Des solutions pour votre application
La sélection du lit sec ne peut pas être séparée de la recette du processus. La compatibilité de médias, la chaleur de réaction, l'écoulement de transporteur, la formation de solides, le comportement de pression, la méthode de point final et le changeout sûr de colonne tous exigent l'examen spécifique à l'application.
Un sorbant générique peut avoir une faible capacité ou un profil de réaction dangereux pour un gaz nouvellement introduitSoumettez la recette de processus complète, les débits de gaz maximum et les flux porteurs afin que la formulation du média et la taille de la colonne soient sélectionnées ensemble.
Une libération transitoire concentrée peut générer de la chaleur plus rapidement que le lit ne peut la dissiperÉvaluez les charges de pointe crédibles et fournissez la surveillance de la température de colonne, le contrôle de flux, la capacité de secours et le refroidissement inerte compatible si nécessaire.
Percée peut se produire sans un changement visible dans l'armoire ou un signal de chute de pression utileUtilisez un capteur de point final compatible ou un modèle de capacité validé et définissez un déclencheur de changement conservateur à partir de l'utilisation réelle du processus.
Les dépôts de processus peuvent s'accumuler dans les conduites d'entrée avant que le gaz n'atteigne le lit de l'absorbeurExaminer la température des gaz d'échappement, la dilution, la géométrie de la ligne et l'accès à l'entretien afin que les sous-produits condensables ou réactifs n'obstruent pas l'entrée.
L'ouverture d'une connexion de colonne avant l'isolement et la purge peut exposer le personnel au gaz résiduel de processusVerrouillez les vannes intégrées, confirmez la pression négative, terminez la purge inerte spécifiée et vérifiez les conditions de sécurité avant la déconnexion.
Une interruption de la puissance ou de l'installation peut laisser un processus actif sans le chemin d'échappement prévuDéfinissez les états de sécurité de valve, le chemin passif d'absorption, le lit de secours et l'interface d'arrêt d'outil pour chaque scénario de perte d'utilité.
Les applications typiques
Échappement MOCVD composé semi-conducteur avec hydrure caractérisé et espèces organo-métalliquesProcédés de gravure plasma à semi-conducteur, de dépôt, de nettoyage de chambre et de support d'implants ioniquesProcédés de fabrication photovoltaïque et d'affichage utilisant des gaz dangereux compatiblesOutils de recherche et pilotes nécessitant un traitement passif au point d'utilisation entre les campagnes d'exploitationSpécialité-procédés chimiques où une formulation chimisorbeur sec validé est disponible
Paramètres techniques
La base montrée est une armoire sèche d'épurateur de double-main-colonne approximativement 1200 mm au loin, 900 mm profondément et 2050 mm hauts, avec deux colonnes pleines de l'absorbeur 316L, une plus petite colonne de secours, les valves intégrées d'isolement et un fascia supérieur de contrôle. Le schéma fixe de dix rangées du site & #039;s utilise des étiquettes orientées panneau; L'épaisseur du panneau signifie donc la profondeur de l'armoire, tandis que la densité et la conductivité décrivent la coquille de la colonne inoxydable plutôt que le sorbant exclusif. La famille de gaz, la formulation de médias, la capacité utilisable, l'écoulement de purge, le capteur de point final et la logique de sécurité restent application-choisis.
| Matériaux de base | Les colonnes rechargeables d'absorbeur de l'acier inoxydable 316L contenant le granulat inorganique de chimisorber de non-carbone spécifique au gaz |
|---|---|
| Panneau épaisseur | Profondeur totale représentative de l'armoire de 900mm, y compris la colonne interne et l'enveloppe de soupape |
| Largeur effective | Largeur représentative d'armoire de double-principal-colonne de 1200 mm excluant le dégagement de service |
| Longueur maximale | 2050 mm hauteur de l'armoire représentative hors site d'échappement et purge connexions |
| Acier face épaisseur | Panneaux poudre-enduits nominaux d'armoire de 1.5mm autour des colonnes inoxydables de pression-conservation séparées |
| Densité Core | Densité représentative d'environ 7900 kg/m³ pour l'enveloppe absorbeur-colonne en acier inoxydable 316L |
| Conductivité thermique | Environ 15 W/(m · K) près de la température ambiante pour l'acier inoxydable 316L représentatif |
| surface finie | Armoire à revêtement par poudre gris clair chaud avec colonnes en acier inoxydable argent naturel, HMI foncé et indicateurs d'état codés par couleur |
| Type joint | Vannes intégrées d'isolement de colonne avec les soufflets inoxydables gasketed, les garnitures de purge et les raccordements de processus-échappement à flasque |
| Customisation | Disponible en fonction de l'application prévue et de l'environnement d'exploitation. |
Options disponibles
Arrangement simple, double ou double-principal-plus-amortisseur-colonne de secoursMédias de Chemisorber choisis pour la famille caractérisée de gaz et la recette de processusSurveillance infrarouge ou de température de contact de chaque colonne activeDétecteur compatible de point final et alarme automatique de lit-changementSéquences de purge de gaz inerte, de vérification des fuites et de refroidissementControlled vacuum or exhaust-pressure regulationTouchscreen HMI, event logging and remote industrial communicationsTool permissive, fault, alarm and emergency-shutdown interfacesAlternative compact laboratory or high-flow production cabinet size
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