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상품 소개
건식 가스 스크러버는 주변 온도에서 전용 무기 화학층 (chemisorber bed) 을 통해 배기 가스를 통과시킴으로써 선택된 유해 공정 가스를 제거한다. 호환 가능한 가스 종은 선택된 과립과 비가역적으로 반응하며 밀봉 된 316L 스테인레스 흡수 기둥 내에서 안정적인 고체 생성물로 남아 있습니다. 표시된 프로덕션 캐비닛은 두 개의 풀 사이즈 열과 더 작은 백업 열을 사용하므로 제어 된 시퀀스는 엔지니어링 된 안전 상태를 유지하면서 하나의 침대를 분리, 제거 및 서비스 할 수 있습니다. 온도, 압력, 밸브 위치 및 선택적 끝점 감지는 로컬 컨트롤러에 연결합니다. 흡착제 화학, 용량, 열 배열, 퍼지 방법 및 전환 기준은 완전한 공정 (가스 재고 및 배기 프로파일) 에서 정의됩니다.
주요 기능
주변 온도 작동은 적절한 가스를 위해 연속적으로 가열되는 반응 챔버를 피합니다.
가스 특정 무기 매체는 범용 베드로 사용되기보다는 실제 공정 레시피에 선택됩니다.
리필 가능한 316L 스테인레스 칼럼은 밀봉되고 재사용 가능한 격리 패키지를 제공합니다.
통합 칼럼 밸브는 연결 해제 및 취급 전에 사용 된 침대를 분리합니다.
전용 백업 열은 1 차 침대 용량에 도달 한 후 제어 된 완료 또는 전환을 지원합니다.
독립적 인 온도 및 획기적인 모니터링은 비정상적인 로딩 또는 종점에 접근하는 것을 식별 할 수 있습니다.
자동화 된 불활성 퍼지 및 누출 확인 루틴은보다 안전한 칼럼 변경 준비를 지원합니다.
연결된 프로세스 배출에서 하위 압력 제어 제한 배압
로컬 HMI, 이벤트 로깅 및 원격 인터페이스는 명확한 운영 및 유지 보수 상태를 제공합니다.
응용 프로그램 솔루션
드라이 베드 선택은 프로세스 레시피로부터 분리될 수 없다. 미디어 호환성, 반응 열, 캐리어 흐름, 고체 형성, 압력 거동, 엔드포인트 방법 및 안전한 칼럼 체인지아웃 모두 응용 프로그램 별 검토가 필요합니다.
하나의 일반 흡착제는 새로 도입 된 가스에 대한 용량이 거의 없거나 안전하지 않은 반응 프로파일을 가질 수 있습니다.완전한 공정 레시피, 최대 가스 흐름 및 캐리어 스트림을 제출하여 미디어 제형 및 컬럼 크기를 함께 선택합니다.
집중된 과도 방출은 침대가 방산 할 수있는 것보다 더 빨리 열을 생성 할 수 있습니다.신뢰할 수있는 피크 부하를 평가하고 필요한 경우 열 온도 모니터링, 흐름 제어, 백업 용량 및 호환 가능한 불활성 냉각을 제공합니다.
캐비닛의 눈에 띄는 변화 또는 유용한 압력 강하 신호없이 돌파구가 발생할 수 있습니다.호환되는 엔드포인트 센서 또는 검증된 용량 모델을 사용하고 실제 프로세스 사용에서 보수적 인 전환 트리거를 정의합니다.
가스가 흡수 층에 도달하기 전에 공정 침전물이 입구 라인에 축적 될 수 있습니다.배기 온도, 희석, 라인 형상 및 유지 보수 접근을 검토하여 응축 가능 또는 반응성 부산물이 입구를 방해하지 않도록하십시오.
격리 및 퍼지 전에 열 연결을 열면 직원이 잔류 공정 가스에 노출 될 수 있습니다.인터록 통합 밸브, 부압 확인, 지정된 불활성 퍼지 완료 하 고 연결 해제 전에 안전 조건을 확인 합니다.
전력 또는 시설 중단은 예상 배기 경로없이 활성 프로세스를 떠날 수 있습니다.각 유틸리티 손실 시나리오에 대한 고장 안전 밸브 상태, 수동 흡수 경로, 백업 침대 및 도구 종료 인터페이스를 정의합니다.
일반적인 응용 프로그램
특성화 된 수소화물과 금속-유기 종을 가진 화합물-반도체 MOCVD 배기반도체 플라즈마 에칭, 증착, 챔버 클린 및 이온 주입 지원 프로세스호환되는 위험 가스를 사용한 태양 광 및 디스플레이 제조 공정운영 캠페인 간의 수동 사용점 처리가 필요한 연구 및 파일럿 도구검증 된 건조 화학 물질 제제를 사용할 수있는 특수 화학 공정
기술 매개변수
표시된 기초는 폭이 약 1200mm, 깊이 900mm, 높이가 2050 mm 인 이중 주 열 건식 스크러버 캐비닛이며, 2 개의 풀 사이즈 316L 흡수 기둥, 하나의 작은 백업 기둥, 통합 격리 밸브 및 상부 제어 근막. 사이트 & #039;s 고정 10 열 스키마는 패널 지향 라벨을 사용합니다. 따라서 패널 두께는 캐비닛 깊이를 의미하고 밀도와 전도도는 독점 흡착제가 아닌 스테인리스 열 쉘을 설명합니다. 가스 패밀리, 미디어 제형, 사용 가능한 용량, 퍼지 흐름, 엔드포인트 센서 및 안전 로직은 응용 프로그램 선택 상태로 유지됩니다.
| 핵심 재료 | 가스 특정 비 탄소 무기 화학 물질 입술을 포함하는 리필 가능한 316L 스테인레스 스틸 흡수 기둥 |
|---|---|
| 패널 두께 | 내부 기둥 및 밸브 외피를 포함한 900 mm 대표 전체 캐비닛 깊이 |
| 유효 폭 | 1200 mm 대표 듀얼-메인-열 캐비닛 폭 제외 서비스 정리 |
| 최대 길이 | 현장 배기 및 퍼지 연결을 제외한 2050 mm 대표 캐비닛 높이 |
| 강철 면면 두께 | 별도의 압력 유지 스테인리스 기둥 주위에 1.5mm 공칭 분말 코팅 캐비닛 패널 |
| 코어 밀도 | 316L 스테인레스 흡수기-칼럼 쉘의 경우 약 7900 kg/m³ 대표 밀도 |
| 열전도도 (Thermal Conductivity) | 대표적인 316L 스테인리스를 위한 대략 15 W/(m · K) 실내 온도 근처 |
| 표면 마무리 | 자연 실버 스테인리스 기둥, 어두운 HMI 및 색상으로 구분 된 상태 표시기가있는 따뜻한 밝은 회색 분말 코팅 캐비닛 |
| 접합 유형 | 가스켓 스테인레스 벨로, 퍼지 피팅 및 플랜지 프로세스-배기 연결이있는 통합 기둥 격리 밸브 |
| 사용자 정의 | 의도된 응용 프로그램 및 운영 환경에 따라 사용할 수 있습니다. |
사용 가능한 옵션
단일, 듀얼 또는 듀얼 메인 플러스 백업 흡수기-열 배열특성화 된 가스 제품군 및 프로세스 레시피를 위해 선정 된 Chemisorber 미디어각 활성 칼럼의 적외선 또는 접촉 온도 모니터링호환 엔드포인트 탐지기 및 자동 침대 변경 경보불활성 가스 정화, 누출 검사 및 냉각 시퀀스제어 진공 또는 배기 압력 조절터치 스크린 HMI, 이벤트 로깅 및 원격 산업 통신도구 허용, 오류, 경보 및 비상 종료 인터페이스대체 소형 실험실 또는 높은 흐름 생산 캐비닛 크기
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