English
Португальский
Испанский язык
Японский
Индонезийский
Немецкий
Турецкий
Вьетнамский язык
Французский
Русский языкТекущий
Арабский язык
Тайский
Японский язык
Корейский
Утилитарные системы для чистых помещений
Сухой газовый scrubber
Point-of-use dry-bed chemisorption cabinet with sealed stainless absorber columns, gas-specific inorganic media, backup capacity and monitored purge and exhaust interfaces.
- Ambient-temperature irreversible chemisorption
- Gas-specific refillable stainless absorber columns
- Backup capacity with monitored purge and endpoint functions
Введение продукции
Скруббер для сухого газа удаляет выбранные опасные технологические газы, пропуская выхлопные газы через специальный неорганический хемизорберный слой при температуре окружающей среды. Совместимые виды газа реагируют необратимо с выбранным гранулятом и остаются как стабилизированные твердые продукты внутри загерметизированные нержавеющие столбцы амортизатора 316Л. Показанный шкаф продукции использует 2 полноразмерных столбца и более небольшой резервный столбец поэтому контролируемая последовательность может изолировать, очистить и обслуживать одну кровать пока поддерживающ проектированное безопасное государство. Температура, давление, положение клапана и дополнительное определение конечной точки подключаются к локальному контроллеру. Химический состав сорбента, производительность, расположение колонн, метод продувки и критерии замены определяются на основе полного кадастра технологических газов и профиля выхлопных газов.
Основные характеристики
Ambient-temperature operation avoids a continuously heated reaction chamber for suitable gases
Gas-specific inorganic media is selected for the actual process recipe rather than used as a universal bed
Refillable 316L stainless columns provide a sealed and reusable containment package
Integrated column valves isolate the spent bed before disconnection and handling
A dedicated backup column supports controlled completion or transition after primary-bed capacity is reached
Independent temperature and breakthrough monitoring can identify abnormal loading or approaching endpoint
Automated inert purge and leak-check routines support safer column change preparation
Sub-pressure control limits backpressure at connected process exhausts
Local HMI, event logging and remote interfaces provide clear operating and maintenance status
Решения для вашего приложения
Dry-bed selection cannot be separated from the process recipe. Media compatibility, reaction heat, carrier flow, solids formation, pressure behavior, endpoint method and safe column changeout all require application-specific review.
One generic sorbent may have little capacity or an unsafe reaction profile for a newly introduced gasSubmit the complete process recipe, maximum gas flows and carrier streams so the media formulation and column size are selected together.
A concentrated transient release can generate heat faster than the bed can dissipate itEvaluate credible peak loads and provide column temperature monitoring, flow control, backup capacity and compatible inert cooling where required.
Breakthrough can occur without a visible change in the cabinet or a useful pressure-drop signalUse a compatible endpoint sensor or validated capacity model and define a conservative changeout trigger from actual process usage.
Process deposits can accumulate in inlet lines before gas reaches the absorber bedReview exhaust temperature, dilution, line geometry and maintenance access so condensable or reactive by-products do not obstruct the inlet.
Opening a column connection before isolation and purge can expose personnel to residual process gasInterlock integrated valves, confirm negative pressure, complete the specified inert purge and verify safe conditions before disconnection.
A power or facility interruption can leave an active process without the expected exhaust pathОпределение отказоустойчивого состояния клапана, пассивного пути поглощения, резервного станины и интерфейса отключения инструмента для каждого сценария потери полезности.
Типичные приложения
Compound-semiconductor MOCVD exhaust with characterized hydride and metal-organic speciesSemiconductor plasma etch, deposition, chamber-clean and ion-implant support processesPhotovoltaic and display manufacturing processes using compatible hazardous gasesResearch and pilot tools requiring passive point-of-use treatment between operating campaignsSpecialty-chemical processes where a validated dry chemisorber formulation is available
Технические параметры
Показанная основа шкаф приблизительно 1200 мм скруббера двойн-главн-столбца сухой широкое, 900 мм глубокое и 2050 мм высокое, с 2 полноразмерными столбцами амортизатора 316Л, одним более небольшим резервным столбцом, интегрированными запорными клапанами и фасцией верхнего контроля. На фиксированной десятирядной схеме сайта используются этикетки, ориентированные на панели; Таким образом, толщина панели означает глубину шкафа, а плотность и проводимость описывают оболочку из нержавеющей колонны, а не запатентованный сорбент. Семейство газов, состав среды, полезная емкость, расход продувки, датчик конечной точки и логика безопасности остаются выбранными для применения.
| Основной материал | Многоразовые колонки-поглотитель из нержавеющей стали 316L, содержащие специфический для газа неуглеродный неорганический хемисорбирующий гранулят |
|---|---|
| Толщина панели | Глубина шкафа 900 мм репрезентативная общая включая внутренние столбец и конверт клапана |
| эффективная ширина | 1200 мм репрезентативная ширина шкафа с двумя основными колоннами, исключая сервисное оформление |
| Максимальная длина | Высота шкафа 2050 мм представительная исключая соединений вытыхания и продувки места |
| Толщина линий стали | Номинал 1,5 мм порошк-покрыл панели шкафа вокруг отдельных давл-сохраняя нержавеющих столбцов |
| Плотность ядра | Approximately 7900 kg/m³ representative density for the 316L stainless absorber-column shell |
| Теплопроводимость | Приблизительно 15 Вт/(м · К) при комнатной температуре для репрезентативной нержавеющей стали 316L |
| Поверхностная отделка | Warm light-gray powder-coated cabinet with natural-silver stainless columns, dark HMI and color-coded status indicators |
| Объединенный тип | Integrated column isolation valves with gasketed stainless bellows, purge fittings and flanged process-exhaust connections |
| Customization | Доступно в зависимости от предполагаемого применения и операционной среды. |
Доступные варианты
Single, dual or dual-main-plus-backup absorber-column arrangementХимическая среда, выбранная для семейства характеризуемых газов и рецепта процессаInfrared or contact temperature monitoring of each active columnCompatible endpoint detector and automatic bed-change alarmInert-gas purge, leak-check and cooling sequencesControlled vacuum or exhaust-pressure regulationTouchscreen HMI, event logging and remote industrial communicationsTool permissive, fault, alarm and emergency-shutdown interfacesAlternative compact laboratory or high-flow production cabinet size
Planning a Dry Gas Scrubber specification?
Отправьте нам ваши габариты, условия монтажа, целевые показатели производительности и требуемую отделку поверхности.
