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Sistemas de utilidad de Cleanroom
Scrubber de gas seco
Gabinete de la chemisorption de la seco-cama del Punto-de-uso con las columnas inoxidables selladas del amortiguador, los medios inorgánicos gas-específicos, la capacidad de reserva y los interfaces supervisados de la purga y del extractor.
- Quimisorción irreversible a temperatura ambiente
- Columnas absorbidas de acero inoxidable rellenadas específicas de gas
- Capacidad de backup con funciones de purga y endpoint supervisadas
Introducción del producto
El depurador de gas seco quita los gases de proceso peligrosos seleccionados pasando el extractor a través de una cama inorgánica dedicada del chemisorber en la temperatura ambiente. Las especies de gas compatibles reaccionan irreversiblemente con el granulado seleccionado y permanecen como productos sólidos estables dentro de las columnas de absorción de acero inoxidable 316L selladas. El gabinete exhibido de la producción utiliza dos columnas del mismo tamaño y una columna de reserva más pequeña así que una secuencia controlada puede aislar, purgar y mantener una cama mientras que mantiene un estado seguro dirigido. Temperatura, presión, posición de la válvula y detección de punto final opcional se conectan al controlador local. La química del sorbente, la capacidad, la disposición de la columna, el método de purga y los criterios de cambio se definen a partir del inventario completo de gases de proceso y el perfil de escape.
Características clave
La operación a temperatura ambiente evita una cámara de reacción calentada continuamente para los gases adecuados
Los medios inorgánicos específicos de gas se seleccionan para la receta del proceso real en lugar de usarse como un lecho universal
Las columnas inoxidables recargables 316L proporcionan un paquete sellado y reutilizable de la contención
Las válvulas integradas de la columna aíslan la cama gastada antes de la desconexión y de la dirección
Una columna de respaldo dedicada admite la finalización o transición controlada después de que se alcanza la capacidad del lecho primario
La temperatura independiente y el monitoreo de avance pueden identificar una carga anormal o acercarse al punto final
Las rutinas de purga y comprobación de fugas inertes automatizadas admiten una preparación de cambio de columna más segura
El control de la sub-presión limita la contrapresión en los escapes de proceso conectados
HMI local, registro de eventos e interfaces remotas proporcionan un claro estado de funcionamiento y mantenimiento
Soluciones para su aplicación
La selección del lecho seco no puede separarse de la receta del proceso. La compatibilidad de los medios, el calor de reacción, el flujo del portador, la formación de sólidos, el comportamiento de la presión, el método de punto final y el cambio seguro de la columna requieren una revisión específica de la aplicación.
Un sorbente genérico puede tener poca capacidad o un perfil de reacción inseguro para un gas recién introducidoEnvíe la receta completa del proceso, los flujos máximos de gas y las corrientes portadoras para que la formulación de los medios y el tamaño de la columna se seleccionen juntos.
Una liberación transitoria concentrada puede generar calor más rápido de lo que la cama puede disiparlo.Evalúe cargas máximas creíbles y proporcione monitoreo de temperatura de columna, control de flujo, capacidad de respaldo y enfriamiento inerte compatible donde sea necesario.
El avance puede ocurrir sin un cambio visible en el gabinete o una señal de caída de presión útilUtilice un sensor de punto final compatible o un modelo de capacidad validado y defina un desencadenador de cambio conservador a partir del uso real del proceso.
Los depósitos del proceso pueden acumularse en las líneas de entrada antes de que el gas llegue al lecho absorbenteRevise la temperatura de escape, la dilución, la geometría de la línea y el acceso de mantenimiento para que los subproductos condensables o reactivos no obstruyan la entrada.
Abrir una conexión de columna antes del aislamiento y la purga puede exponer al personal a gas de proceso residualEnclave las válvulas integradas, confirme la presión negativa, complete la purga inerte especificada y verifique las condiciones seguras antes de la desconexión.
Una interrupción de la energía o de la instalación puede dejar un proceso activo sin la trayectoria de escape esperadaDefinir estados de válvula a prueba de fallos, ruta de absorción pasiva, lecho de respaldo e interfaz de apagado de herramienta para cada escenario de pérdida de utilidad.
Aplicaciones típicas
El escape de MOCVD compuesto-semiconductor con el hidruro caracterizado y las especies metal-orgánicasProcesos de soporte de plasma semiconductor, deposición, limpieza de cámara e implante iónicoProcesos de fabricación fotovoltaica y de pantallas utilizando gases peligrosos compatiblesHerramientas de investigación y piloto que requieren tratamiento pasivo en el punto de uso entre campañas operativasProcesos químicos especializados en los que se dispone de una formulación validada de quimisorber seco
Parámetros técnicos
La base que se muestra es un gabinete de depurador seco de doble columna principal de aproximadamente 1200 mm de ancho, 900 mm de profundidad y 2050 mm de altura, con dos columnas de absorción 316L de tamaño completo, una columna de respaldo más pequeña, válvulas de aislamiento integradas y una fascia de control superior. El sitio & #039;s fijo esquema de diez filas utiliza etiquetas orientadas al panel; Por lo tanto, el espesor del panel significa profundidad del gabinete, mientras que la densidad y la conductividad describen la cáscara de la columna inoxidable en lugar de sorbente patentado. La familia de gas, la formulación de medios, la capacidad utilizable, el flujo de purga, el sensor de punto final y la lógica de seguridad permanecen seleccionados por la aplicación.
| Materiales Core | Las columnas recargables del amortiguador del acero inoxidable 316L que contienen el chemisorber inorgánico gas-específico no-carbono granulan |
|---|---|
| Panel de espesor | Profundidad total representativa del gabinete de 900mm, incluida la columna interna y la envolvente de la válvula |
| Ancho efectivo | 1200 mm representativo de doble columna principal ancho del gabinete, excluyendo el despacho de servicio |
| Longitud máxima | Altura representativa del gabinete de 2050mm, excluyendo las conexiones de escape y purga del sitio |
| Acero frente a espesor | Paneles de gabinete con recubrimiento de polvo nominal de 1,5mm alrededor de columnas de acero inoxidable de retención de presión separadas |
| Densidad Core | Aproximadamente 7900 kg/m³ de densidad representativa para la carcasa de la columna absorbente de acero inoxidable 316L |
| Conductividad térmica | Aproximadamente 15 W/(m · K) cerca de la temperatura ambiente para el acero inoxidable 316L representativo |
| Superficie acabada | Gabinete polvo-revestido gris claro caliente con las columnas inoxidables de la natural-plata, HMI oscuro e indicadores de estado color-cifrados |
| Tipo conjunto | Válvulas de aislamiento de columna integradas con fuelles de acero inoxidable con juntas, accesorios de purga y conexiones de escape de proceso con bridas |
| Customization | Disponible según la aplicación prevista y el entorno operativo. |
Opciones disponibles
Solo, arreglo dual o dual-principal-más-reserva de la absorbedor-columnaMedios de Chemisorber seleccionados para la familia del gas y la receta caracterizados del procesoMonitoreo de temperatura por contacto o infrarrojos de cada columna activaDetector compatible del punto final y alarma automática del cama-cambioSecuencias de purga de gas inerte, comprobación de fugas y enfriamientoVacío controlado o regulación de la presión de escapeHMI con pantalla táctil, registro de eventos y comunicaciones industriales remotasHerramienta permisiva, falla, alarma y interfaces de apagado de emergenciaLaboratorio compacto alternativo o tamaño de gabinete de producción de alto flujo
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Envíenos sus dimensiones, condiciones de instalación, objetivos de rendimiento y acabado superficial requerido.
