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Systèmes utilitaires Cleanroom
Scrubber à gaz humide
Épurateur humide compact au point d'utilisation avec une étape de lavage recirculée, une section de contact gaz-liquide emballée, une distribution par pulvérisation et une séparation finale du brouillard pour les contaminants d'échappement des processus solubles dans l'eau.
- Traitement local à proximité des sources d'échappement du procédé humide
- Contact à contre-courant emballé avec recirculation contrôlée du liquide
- Séparation de gouttelettes intégrée et interfaces processus-outil
Introduction de produit
Le Wet Gas Scrubber est un système compact au point d'utilisation pour les gaz d'échappement à partir d'outils de nettoyage par voie humide à semi-conducteurs et d'autres procédés qui libèrent des gaz, des gouttelettes ou des sels hydrosolubles compatibles. L'air contaminé pénètre dans une zone dédiée de pré-gommage, se déplace vers le haut à travers une colonne emballée irriguée et part à travers un éliminateur de brouillard. Un réservoir de recirculation, une pompe résistant aux produits chimiques et un en-tête de pulvérisation maintiennent la distribution du liquide tandis que le contrôleur supervise les signaux de niveau, de débit, de pression et de condition de liquide sélectionnés. Les arrangements à un et deux étages permettent différents liquides de récurage là où la chimie nécessite une séparation. L'identité du gaz, le chargement, les produits de réaction, la composition liquide, l'épuration et la surveillance en aval restent des entrées de conception spécifiques à l'application.
Key Features
L'emballage à contre-courant fournit une grande surface mouillée dans une empreinte d'armoire compacte
Une zone de pulvérisation pré-gommage intercepte les gouttelettes et réduit la charge directe sur la section emballée
Un réservoir de circulation dédié et une pompe résistante aux produits chimiques maintiennent une livraison stable de liquide de lavage
Un dernier désembuage limite le report de liquide dans la connexion au gaz propre
Les options de scène séparée permettent aux chimies d'absorption incompatibles de rester isolées
Les signaux de niveau, d'écoulement de circulation et de pression supportent une alarme pratique et une logique de verrouillage
L'accès de service avant et latéral maintient la pompe, le réservoir, le tête de pulvérisation et l'emballage accessibles
La communication des outils de processus peut coordonner les conditions de veille, de fonctionnement et de contournement
Les pièces mouillées en polypropylène fournissent une base matérielle pratique pour de nombreuses tâches aqueuses compatibles
Des solutions pour votre application
Les performances de nettoyage par voie humide dépendent de la chimie des contaminants et du contact contrôlé gaz-liquide. Une pression stable, des matériaux compatibles, l'état des liquides, la gestion des solides et le contrôle du report doivent être établis pour le processus installé.
Un contaminant hydrosoluble peut encore passer lorsque le liquide sélectionné ne fournit pas une capacité d'absorption ou de réaction suffisanteDéfinissez le mélange gazeux, la concentration et la chimie de la réaction, puis sélectionnez l'eau, l'acide ou la liqueur alcaline et entrez en contact en conséquence.
Une distribution de pulvérisation inégale ou des zones d'emballage à sec réduisent la zone de transfert de masse effectiveUtilisez un en-tête de pulvérisation correctement dimensionné, vérifiez le débit de recirculation et incluez des buses accessibles pour l'inspection et le nettoyage.
Les sels et les sous-produits particulaires peuvent bloquer les buses, les passages d'emballage ou de drainageÉvaluez la formation de solides, fournissez une éruption et une filtration appropriées et définissez des déclencheurs de maintenance à partir du profil de chargement réel.
La variation de pression au niveau de l'outil de traitement peut perturber le fonctionnement sensible au nettoyage par voie humideCoordonner le contrôle du ventilateur, la résistance du conduit, la logique de dérivation et la surveillance de la pression avec l'exigence d'échappement de l'outil.
Le report de brume peut mouiller les conduits en aval et transférer la chimie absorbée au-delà de l'épurateurFaites correspondre la vitesse du gaz au démontage, surveillez l'état du liquide et gardez le séparateur accessible pour le lavage ou le remplacement.
La combinaison d'acides, de bases ou d'oxydants incompatibles dans une boucle peut créer de la chaleur, des précipités ou des réactions dangereusesPassez en revue la recette complète des gaz d'échappement et séparez les étapes de lavage ou les flux d'échappement lorsqu'une chimie de recirculation n'est pas sûre.
Les applications typiques
Échappement de nettoyage par voie humide d'une seule tranche contenant des vapeurs compatibles d'acide, d'ammoniac ou de solvant hydrosolubleSemi-conducteur et présentoir des bancs humides produisant des gouttelettes, des sels et des fumées chimiques solublesOutils de nettoyage photovoltaïques et électroniques nécessitant un traitement d'échappement humide localiséProcessus chimiques de la ligne pilote avec des charges d'échappement aqueuses variables mais caractériséesDes sous-fabriqués de fabrication propre où le traitement local compact réduit la demande en épurateur central
Paramètres techniques
La base affichée est une armoire compacte à un étage d'environ 1500 mm de large, 1100 mm de profondeur et 2000 mm de haut, avec des composants internes mouillés en polypropylène, une colonne emballée, un réservoir de recirculation, une pompe et un éliminateur de brouillard final. Le schéma fixe de dix rangées du site & #039; utilise des étiquettes orientées panneau; ici L'épaisseur du panneau représente la profondeur de l'armoire et l'épaisseur du revêtement en acier décrit les panneaux extérieurs amovibles plutôt que le récipient de traitement en polypropylène. L'écoulement d'échappement, la charge contaminante, la chimie liquide, la profondeur de l'emballage, le service de pompe, la panne et les commandes sont sélectionnés pour le processus réel.
| Matériaux de base | Colonne soudée en polypropylène, réservoir, tuyauterie de pulvérisation et emballage à l'intérieur d'une armoire de support métallique revêtue de poudre |
|---|---|
| Panneau épaisseur | Profondeur globale représentative de 1100 mm pour la base compacte à un étage sélectionnée |
| Largeur effective | Largeur de l'armoire représentative de 1500 mm à l'exclusion du dégagement de transition du conduit externe |
| Longueur maximale | Hauteur totale représentative de 2000 mm avant dérivation supérieure facultative ou conduite du site |
| Acier face épaisseur | Panneaux extérieurs amovibles enduits de poudre nominaux de 1.2mm; les pièces de procédé mouillées sont non métalliques |
| Densité Core | Densité représentative d'environ 910 kg/m³ pour les composants mouillés en polypropylène |
| Conductivité thermique | Environ 0.22 W/(m · K) pour le polypropylène représentatif près de la température ambiante |
| surface finie | Armoire recouverte de poudre blanc cassé avec surfaces humides en polypropylène gris naturel lisse et tuyauterie utilitaire bleue retenue |
| Type joint | Raccords d'échappement à brides avec joints liquides en polypropylène soudés par fusion et syndicats de service à la pompe, au réservoir et à la boucle de pulvérisation |
| Customisation | Disponible en fonction de l'application prévue et de l'environnement d'exploitation. |
Options disponibles
Arrangement de récurage emballé à un ou deux étagesService d'eau, de liquide de lavage alcalin ou acide après examen de compatibilitéType d'emballage alternatif et profondeur de contactPompe de circulation à vitesse variable et agencement de pompe redondanteConductivité, pH, potentiel d'oxydation-réduction, instrumentation de niveau et d'écoulementInterfaces automatiques de maquillage, de dosage, de purge et de vidangeInterface processus-outil, amortisseur de dérivation et options de contrôle de la pressionConstruction mouillée en polypropylène, PVC, PVDF ou double stratifié compatibleÉcran tactile local, contacts d'alarme à distance et connexion réseau industriel
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