Wet gas scrubber complete front-right view with control bay, open process bay, packed column, recirculation tank and pump

클린룸 유틸리티 시스템

젖은 가스 스크러버 Wet Gas Scrubber

재순환 세척 단계, 포장 된 가스-액체 접촉 섹션, 스프레이 분배 및 수용성 공정 배기 오염 물질을위한 최종 미스트 분리가있는 소형 사용점 습식 스크러버.

습식 공정 배기 소스에 가까운 지역 처리
제어 된 액체 재순환으로 포장 된 카운터 전류 접촉
통합 액적 분리 및 프로세스 도구 인터페이스

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상품 소개

Wet Gas Scrubber는 반도체 습식 청정 도구 및 호환 가능한 수용성 가스, 물방울 또는 염을 방출하는 기타 공정에서 배출되는 소형 사용점 시스템입니다. 오염 된 공기는 전용 사전 스크럽 영역으로 들어가고 관개 된 포장 된 기둥을 통해 위로 이동하고 안개 제거기를 통해 떠납니다. 재순환 탱크, 화학 내성 펌프 및 스프레이 헤더는 액체 분포를 유지하면서 컨트롤러는 레벨, 흐름, 압력 및 선택된 액체 상태 신호를 감독합니다. 1 단계 및 2 단계 배열은 화학이 분리가 필요한 경우 다른 스크러빙 액체를 허용합니다. 가스 아이덴티티, 로딩, 반응 생성물, 액체 조성, 블로우 다운 및 다운 스트림 모니터링은 응용 특정 설계 입력으로 남아 있습니다.

주요 기능

사용 지점 배치는 적재 된 배기 작동을 단축하고 원격 덕트의 증착을 줄입니다.

카운터 전류 패킹은 소형 캐비닛 풋 프린트 내에서 큰 젖은 표면을 제공합니다.

사전 스크럽 스프레이 구역은 물방울을 가로 채고 포장 된 섹션의 직접 하중을 줄입니다.

전용 순환 탱크 및 내 화학성 펌프는 안정적인 세척-액체 전달을 유지합니다.

최종 데미스터는 깨끗한 가스 연결로 액체 이월을 제한합니다.

별도의 단계 옵션으로 호환되지 않는 흡수 화학 물질이 분리 된 상태로 유지됩니다.

레벨, 순환 흐름 및 압력 신호는 실제 경보 및 연동 논리를 지원합니다.

전면 및 측면 서비스 액세스로 펌프, 탱크, 스프레이 헤더 및 패킹 도달 가능

프로세스 도구 통신은 대기, 작동 및 우회 조건을 조정할 수 있습니다.

폴리 프로필렌 습윤 부품은 많은 호환 가능한 수성 의무를위한 실용적인 재료 기초를 제공합니다.

응용 프로그램 솔루션

습식 스크러빙 성능은 오염 물질 화학 및 제어 된 가스-액체 접촉에 따라 다릅니다. 안정적인 압력, 호환 재료, 액체 상태, 고체 관리 및 이월 제어는 설치된 프로세스를 위해 설정되어야합니다.

수용성 오염 물질은 선택된 액체가 충분한 흡수 또는 반응 용량을 제공하지 않을 때 여전히 통과 할 수 있습니다.가스 혼합물, 농도 및 반응 화학을 정의한 다음 물, 산 또는 알칼리성 주류 및 접촉 단계를 선택합니다.

고르지 않은 스프레이 분배 또는 건조한 포장 구역은 효과적인 질량 전달 영역을 줄입니다.정확한 크기의 스프레이 헤더를 사용하고 재순환 흐름을 확인하고 검사 및 청소를 위해 접근 가능한 노즐을 포함하십시오.

소금 및 미립자 부산물은 노즐, 포장 또는 배수 통로를 차단할 수 있습니다.고체 형성을 평가하고, 적절한 블로우 다운 및 여과를 제공하며, 실제 로딩 프로파일에서 유지 보수 트리거를 설정합니다.

프로세스 도구의 압력 변화는 민감한 습식 청소 작동을 방해 할 수 있습니다.공구 배기 요구 사항과 팬 제어, 덕트 저항, 바이 패스 로직 및 압력 모니터링을 조정하십시오.

안개 이월은 하류 덕트를 적시고 흡수 된 화학을 스크러버 너머로 옮길 수 있습니다.가스 속도를 데미스터에 맞추고 액체 상태를 모니터링하고 세척 또는 교체를 위해 분리기를 사용할 수 있도록 유지하십시오.

한 루프에 호환되지 않는 산, 염기 또는 산화제를 결합하면 열, 침전물 또는 위험한 반응을 일으킬 수 있습니다.하나의 재순환 화학이 안전하지 않을 때 완전한 배기 레시피와 별도의 세척 단계 또는 배기 스트림을 검토하십시오.

일반적인 응용 프로그램

호환되는 산, 암모니아 또는 수용성 용매 증기를 포함하는 단일 웨이퍼 습식 배기 가스액적, 소금 및 가용성 화학 연기를 생성하는 반도체 및 디스플레이 젖은 벤치국부적인 습식 배기 처리가 필요한 태양 광 및 전자 공학 청소 도구가변적이지만 특성화 된 수성 배기 부하가있는 파일럿 라인 화학 공정소형 지역 처리가 중앙 스크러버 수요를 감소시키는 청정 제조 서브 팹

기술 매개변수

표시된 기초는 폭이 약 1500mm, 깊이 1100mm, 높이 2000 mm 인 소형 단일 스테이지 캐비닛이며, 폴리 프로필렌이 젖은 내부, 하나의 포장 된 기둥, 하나의 재순환 탱크, 하나의 펌프와 최종 미스트 제거기. 사이트 & #039;s 고정 10 열 스키마는 패널 지향 라벨을 사용합니다. 여기서 패널 두께는 캐비닛 깊이를 나타내며 스틸 페이싱 두께는 폴리 프로필렌 공정 용기가 아닌 제거 가능한 외부 패널을 설명합니다. 배기 흐름, 오염 물질 부하, 액체 화학, 포장 깊이, 펌프 듀티, 블로우 다운 및 컨트롤이 실제 프로세스를 위해 선택됩니다.

핵심 재료	분말 코팅 금속지지 캐비닛 내부에 용접 된 폴리 프로필렌 젖은 칼럼, 탱크, 스프레이 배관 및 포장
패널 두께	선택한 소형 단일 단계 기준을위한 1100 mm 대표 전체 캐비닛 깊이
유효 폭	외부 덕트-전환 클리어런스를 제외한 1500 mm 대표 캐비닛 너비
최대 길이	2000 mm 대표 전체 높이 옵션 상부 우회 또는 사이트 덕트 전에
강철 면면 두께	1.2mm 공칭 이동식 분말 코팅 외부 패널; 젖은 공정 부품은 비금속입니다.
코어 밀도	폴리 프로필렌 습윤 성분에 대한 약 910 kg/m³ 대표 밀도
열전도도 (Thermal Conductivity)	실온 근처의 대표적인 폴리프로필렌을 위한 대략 0.22 W/(m · K)
표면 마무리	부드러운 천연 회색 폴리 프로필렌 젖은 표면과 구속 된 파란색 유틸리티 배관이있는 따뜻한 오프 화이트 파우더 코팅 캐비닛
접합 유형	펌프, 탱크 및 스프레이 루프에서 융합 용접 폴리 프로필렌 액체 조인트 및 서비스 조합을 통한 플랜지 배기 연결
사용자 정의	의도된 응용 프로그램 및 운영 환경에 따라 사용할 수 있습니다.

사용 가능한 옵션

단일 또는 2 단계 포장 스크러빙 배열물, 알칼리성 또는 산성 세척-호환성 검토 후 액체 서비스대체 포장 유형 및 접촉 깊이가변 속도 순환 펌프 및 중복 펌프 배열전도도, pH, 산화 환원 전위, 수준 및 흐름 계측Automatic make-up, dosing, blowdown and drain interfacesProcess-tool interface, bypass damper and pressure-control optionsPolypropylene, PVC, PVDF or compatible dual-laminate wetted constructionLocal touchscreen, remote alarm contacts and industrial-network connection

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