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Sistemas de utilidad de Cleanroom
Wet Gas Scrubber
Lavador húmedo compacto en el punto de uso con una etapa de lavado recirculada, sección de contacto gas-líquido empaquetada, distribución de pulverización y separación final de niebla para contaminantes de escape de procesos solubles en agua.
- Tratamiento local cerca de las fuentes de escape del proceso húmedo
- Contacto de contracorriente empaquetado con recirculación de líquido controlada
- Interfaces integrados de separación de gotas y herramientas de proceso
Introducción del producto
El depurador de gases húmedos es un sistema compacto de punto de uso para el escape de herramientas de limpieza en húmedo de semiconductores y otros procesos que liberan gases, gotitas o sales solubles en agua compatibles. El aire contaminado ingresa a una zona dedicada a la limpieza previa, se mueve hacia arriba a través de una columna rellena de riego y sale a través de un eliminador de niebla. Un tanque de recirculación, una bomba resistente a los productos químicos y un cabezal de pulverización mantienen la distribución del líquido, mientras que el controlador supervisa el nivel, el flujo, la presión y las señales de condición de líquido seleccionadas. Las disposiciones de una y dos etapas permiten diferentes líquidos de lavado donde la química requiere separación. La identidad del gas, la carga, los productos de reacción, la composición líquida, la purga y la monitorización posterior siguen siendo entradas de diseño específicas de la aplicación.
Características clave
El embalaje a contracorriente proporciona una gran superficie mojada dentro de una huella de gabinete compacta
Una zona de pulverización pre-exfoliante intercepta las gotas y reduce la carga directa en la sección empaquetada
El tanque de circulación dedicado y la bomba resistente a los productos químicos mantienen una entrega estable de líquido de lavado
Un demister final limita el arrastre de líquido a la conexión de gas limpio
Las opciones de etapa separada permiten que las químicas de absorción incompatibles permanezcan aisladas
Las señales de nivel, flujo de circulación y presión admiten alarma práctica y lógica de interbloqueo
El acceso de servicio frontal y lateral mantiene la bomba, el tanque, el cabezal de pulverización y el embalaje accesibles
La Comunicación de la herramienta de proceso puede coordinar las condiciones de espera, funcionamiento y derivación
Las piezas mojadas de polipropileno proporcionan una base de material práctico para muchos deberes acuosos compatibles
Soluciones para su aplicación
El rendimiento de lavado en húmedo depende de la química contaminante y del contacto controlado gas-líquido. Se debe establecer presión estable, materiales compatibles, condición de líquido, gestión de sólidos y Control de arrastre para el proceso instalado.
Un contaminante soluble en agua aún puede pasar cuando el líquido seleccionado no proporciona suficiente capacidad de absorción o reacción.Defina la mezcla de gases, la concentración y la química de la reacción, a continuación, seleccione agua, ácido o licor alcalino y las etapas de contacto en consecuencia.
La distribución desigual de spray o las zonas de embalaje en seco reducen el área efectiva de transferencia de masaUse un cabezal de pulverización de tamaño correcto, verifique el flujo de recirculación e incluya boquillas accesibles para inspección y limpieza.
Las sales y los subproductos de partículas pueden bloquear las boquillas, el embalaje o los conductos de drenajeEvalúe la formación de sólidos, proporcione una purga y filtración adecuadas, y configure los disparadores de mantenimiento del perfil de carga real.
La variación de presión en la herramienta de proceso puede perturbar la operación sensible de limpieza en húmedoCoordine el control del ventilador, la resistencia del conducto, la lógica de derivación y la supervisión de la presión con el requisito de escape de la herramienta.
El remanente de niebla puede humedecer los conductos aguas abajo y transferir la química absorbida más allá del depuradorHaga coincidir la velocidad del gas con el demister, controle la condición del líquido y mantenga el separador accesible para lavarlo o reemplazarlo.
La combinación de ácidos, bases u oxidantes incompatibles en un bucle puede crear calor, precipitar o reacciones peligrosasRevise la receta de escape completa y las etapas de lavado separadas o las corrientes de escape cuando una química de recirculación no es segura.
Aplicaciones típicas
Escape húmedo-limpio de una sola oblea que contiene vapores compatibles de ácido, amoníaco o disolvente soluble en aguaSemiconductores y pantallas de bancos húmedos que producen gotitas, sales y humos químicos solublesHerramientas de limpieza fotovoltaica y electrónica que requieren tratamiento de escape húmedo localizadoProcesos químicos de línea piloto con cargas de escape acuosas variables pero caracterizadasSubfábricas de fabricación limpia donde el tratamiento local compacto reduce la demanda central de depuradores
Parámetros técnicos
La base exhibida es un gabinete compacto de una sola etapa de aproximadamente 1500 mm de ancho, 1100 mm de profundidad y 2000 mm de alto, con componentes internos mojados de polipropileno, una columna empaquetada, un tanque de recirculación, una bomba y un eliminador de niebla final. El esquema fijo de diez filas del sitio & #039;s utiliza etiquetas orientadas al panel; aquí El grosor del panel representa la profundidad del Gabinete y el grosor de la fachada de acero describe los paneles exteriores extraíbles en lugar del recipiente de proceso de polipropileno. El flujo de escape, la carga de contaminantes, la química líquida, la profundidad del embalaje, el servicio de la bomba, la purga y los controles se seleccionan para el proceso real.
| Materiales Core | Columna húmeda de polipropileno soldada, tanque, tuberías de pulverización y Embalaje dentro de un gabinete de soporte de metal recubierto de polvo |
|---|---|
| Panel de espesor | Profundidad general representativa del Gabinete de 1100 mm para la base de una sola etapa compacta seleccionada |
| Ancho efectivo | Anchura representativa del Gabinete de 1500 mm excluyendo el espacio de transición del conducto externo |
| Longitud máxima | Altura total representativa de 2000 mm antes de la derivación superior opcional o conductos del sitio |
| Acero frente a espesor | Paneles exteriores recubiertos en polvo extraíbles nominales de 1,2mm; las piezas de proceso humedecidas no son metálicas |
| Densidad Core | Densidad representativa de aproximadamente 910 kg/m³ para componentes humectados de polipropileno |
| Conductividad térmica | Aproximadamente 0,22 W/(m · K) para el polipropileno representativo cerca de la temperatura ambiente |
| Superficie acabada | Gabinete de color blanco roto con revestimiento de polvo con superficies lisas de polipropileno gris natural humedecidas y tuberías de utilidad azul restringidas |
| Tipo conjunto | Conexiones de escape con bridas con juntas líquidas de polipropileno soldadas por fusión y uniones de servicio en la bomba, el tanque y el circuito de pulverización |
| Customization | Disponible según la aplicación prevista y el entorno operativo. |
Opciones disponibles
Disposición de fregado empaquetada de una o dos etapasServicio de agua, líquido de lavado alcalino o ácido después de la revisión de compatibilidadTipo de embalaje alternativo y profundidad de contactoBomba de circulación de velocidad variable y disposición de bomba redundanteConductividad, pH, potencial de oxidación-reducción, instrumentación de nivel y flujoAutomatic make-up, dosing, blowdown and drain interfacesProcess-tool interface, bypass damper and pressure-control optionsPolypropylene, PVC, PVDF or compatible dual-laminate wetted constructionLocal touchscreen, remote alarm contacts and industrial-network connection
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