Anglais
Le portugais
espagnol
Le malais
Indonésien
Allemand
Le turc
Le vietnamien
FrançaisCurrent
russe
Arabe
Thaïlandais
Japonais
Coréen
Systèmes utilitaires Cleanroom
Purificateur de gaz haute puretépar
Un épurateur 316L intégré compact qui combine les médias réactifs gaz-spécifiques avec un filtre intégral de particules de débouché pour commander les contaminants choisis de trace près d'une connexion de processus critique.
- Contrôle des traces de contaminants au point d'utilisation
- Médias d'épurateur gaz-spécifique choisis par devoir
- Compact coaxial 316L face-joint d'installation
Introduction de produit
L'épurateur de gaz de grande pureté est une cartouche scellée et non-régénérable de point-de-utilisation pour l'installation dans une conduite de gaz de grande pureté compatible. La configuration choisie de catalogue est un logement 316L cylindrique electropolished par argent naturel avec un lit réactif gaz-spécifique de purification, un élément en aval intégral de particule-conservation, deux épaulements soudés de transition et un 1/4 coaxial po. Connexion de visage-joint de joint à chaque extrémité. Le gaz de processus traverse les médias choisis avant d'atteindre l'outil protégé ou l'utilisateur analytique, aidant à isoler cet utilisateur des bouleverses à court terme de distribution et de la ligne de contamination résiduelle. La cartouche ne contient aucune valve, régulateur de pression, mesure, appareil de chauffage, contrôleur, dérivation, drain ou cuvette externe remplaçable de filtre; l'isolement, la purge et le contrôle de pression appartiennent au système de gaz environnant.
Key Features
L'emplacement de Point-de-utilisation raccourcit le chemin de gaz propre entre l'étape finale de purification et la connexion de processus protégée
Un logement scellé de la pression 316L maintient le lit de purification d'isolement de l'exposition ambiante pendant le fonctionnement normal
Un élément intégral de particules métalliques en aval retient les milieux fins ou les particules d'installation avant que le gaz ne quitte la cartouche
Les connexions coaxiales d'entrée et de sortie permettent au purificateur de remplacer une courte section droite de tubes de haute pureté
Le matériel électropoli mouillé au gaz limite la surface interne et soutient le comportement propre de purge-vers le bas
Une structure de diffusion-contrôle protège des médias réactifs contre l'entrée ambiante rapide tandis que des joints d'extrémité sont manipulés pendant l'installation
L'enveloppe cylindrique symétrique prend en charge le montage horizontal ou vertical lorsque le support sélectionné n'est pas sensible à l'orientation
Une marque permanente d'écoulement-direction aide à empêcher l'inversion du lit de purification et de l'ordre de sortie-filtre
Des capacités multiples de cartouche et des arrangements de connexion peuvent être assortis à l'identité de gaz, au débit, à la pression et à la charge de contaminant
Des solutions pour votre application
Un purificateur au point d'utilisation doit correspondre au défi réel des gaz et des impuretés tout en restant protégé contre l'exposition à l'air, l'installation inverse et les conditions de service qui peuvent consommer ou endommager le lit de purification.
Un purificateur choisi uniquement en fonction de la taille de la connexion peut ne pas éliminer les contaminants qui affectent le processus prévu.Définissez le gaz de source, les contaminants exigés de débouché, le défi d'admission, l'écoulement normal et la durée de service avant de choisir la famille de médias et la capacité de cartouche.
L'exposition ambiante pendant le déballage ou la connexion peut consommer la capacité réactive avant que le gaz de processus atteigne l'unitéGardez les joints d'extrémité d'usine en place jusqu'à l'installation et utilisez une séquence de purge contrôlée de haute pureté immédiatement après la connexion.
L'installation de la cartouche à l'arrière peut placer l'étape de rétention de particules du mauvais côté du lit de médiasAligner la flèche d'écoulement permanent avec le chemin de gaz vérifié et identifier indépendamment les tubes en amont et en aval avant de les serrer.
La chute de pression non planifiée peut affamer un outil pendant la demande de pointe même lorsque le débit moyen semble acceptableDimension du purificateur en utilisant le débit instantané maximal, la pression d'entrée et la perte de pression autorisée plutôt que la consommation nominale seule.
Un purificateur usé peut continuer à faire passer du gaz sans indication externe évidente de la capacité de contaminant perdueÉtablir des intervalles de remplacement à partir du chargement et du débit des impuretés, puis suivre la tendance de la qualité du gaz en aval lorsque le risque de procédé justifie une surveillance.
L'utilisation d'une cartouche sur des gaz incompatibles peut créer de mauvaises performances d'élimination ou une interaction de matériau dangereuseApprouvez la combinaison mouillée complète de matériel et d'épurateur-médias pour le gaz, la pression, la température et le mélange nommés d'impureté avant installation.
Les applications typiques
Bâtons de gaz semi-conducteurs fournissant des outils de processus de dépôt, de gravure, d'épitaxie ou d'implant ioniqueLignes de fabrication électronique et photovoltaïque utilisant des gaz de procédé inertes ou compatibles de haute puretéInstruments d'analyse nécessitant un étage de contrôle final de l'humidité, de l'oxygène ou des hydrocarbures près de l'entréeLaboratoires de recherche protégeant les réacteurs sensibles, les boîtes à gants ou les chromatographes en phase gazeuse des bouleversement de la distributionBranches d'azote, d'argon, d'hélium ou d'hydrogène de haute pureté où le milieu choisi est spécifiquement compatibleSystèmes de distribution de gaz de spécialité nécessitant une cartouche de purification finale compacte en aval du contrôle de la pression
Paramètres techniques
La base choisie de catalogue suit un épurateur scellé classe compacte de point d'utilisation de Pall Maxi Gaskleen: un 208 mm face-à-face, ensemble 316L électropoli de 63.5mm de diamètre extérieur avec le mâle 1/4 po. Extrémités de visage-joint de garniture, médias gaz-spécifiques réactifs et filtration en aval intégrale en métal. La coquille fixe et les valeurs de paquet-lit ci-dessous sont les entrées conservatrices de catalogue ou de conception-base pour cette configuration compacte choisie; ils ne sont pas des dimensions universelles ou des réclamations de représentation pour chaque milieu d'épurateur. La compatibilité de gaz, les espèces visées d'impureté, défi d'admission, écoulement, pression, température, qualité requise de débouché et vie doit être assortie au service réel.
| Matériaux de base | Oxyde inorganique machiné spécifique au gaz ou lit d'adsorbant réactif avec un élément de particule-conservation inoxydable en aval intégré de 316L |
|---|---|
| Panneau épaisseur | Mur cylindrique nominal de pression-coquille 316L de 1.5mm pour la construction compacte choisie d'épurateur |
| Largeur effective | Diamètre extérieur nominal maximal de 63,5mm pour la cartouche sélectionnée au point d'utilisation |
| Longueur maximale | Longueur face-à-face représentative de 208 mm pour la configuration en ligne compacte sélectionnée |
| Acier face épaisseur | Externe-douille 316L protectrice nominale de 0.8mm et épaisseur soudée de feuille de fin-transition |
| Densité Core | 650-950 kg/m³ densité en vrac de charge nominale, selon le milieu d'épurateur choisi |
| Conductivité thermique | 0,20-0,45 W/(m · K) plage représentative du lit emballé près de la température ambiante |
| surface finie | Quincaillerie 316L électropolie argent naturel mouillée au gaz, avec rugosité interne jusqu'à 0,25 µm Ra pour la classe de catalogue sélectionnée |
| Type joint | Coaxial 1/4 po. Joint de face mâle joint d'entrée et de sortie soudés aux épaulements de transition 316L étanches |
| Customisation | Disponible en fonction de l'application prévue et de l'environnement d'exploitation. |
Options disponibles
Familles de médias pour les fonctions compatibles d'inerte, de réduction, d'oxydation, corrosives ou de spécialité-gazCapacité de la cartouche adaptée à la charge d'impureté attendue et à l'intervalle de service1/4 po. Ou plus grandes connexions choisies de visage-joint de jointDispositions d'extrémité mâle, femelle ou mixte face-jointStraight tube-stub connections for welded installation316L stainless or corrosion-resistant alloy wetted constructionIntegral inlet and outlet isolation-valve manifold where requiredHorizontal or vertical support brackets for the selected installationReplacement scheduling based on gas throughput and impurity challenge
Planning a High-Purity Gas Purifier specification?
Envoyez-nous vos dimensions, conditions d'installation, objectifs de performance et finition de surface requise.
