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Sistemas de utilidad de Cleanroom
Purificador de gas de alta pureza
Un purificador compacto en línea 316L que combina medios reactivos específicos de gas con un filtro de partículas de salida integral para controlar los trazas de contaminantes seleccionados cerca de una conexión de proceso crítico.
- Control de trazas contaminantes en el punto de uso
- Purificador específico de gas seleccionado por servicio
- Instalación de sellado facial coaxial compacta 316L
Introducción del producto
El purificador de gas de alta pureza es un cartucho de punto de uso sellado, no regenerable para la instalación en una línea de gas de alta pureza compatible. La Configuración del catálogo seleccionado es una carcasa cilíndrica 316L electropulida de plata natural con un lecho de purificación reactivo específico de gas, un elemento integral de retención de partículas aguas abajo, dos hombros de transición soldados y un 1/4 coaxial. Junta cara-sello de conexión en cada extremo. El gas de proceso pasa a través de los medios seleccionados antes de llegar a la herramienta protegida o al usuario analítico, lo que ayuda a aislar a ese usuario de los trastornos de distribución a corto plazo y la contaminación de la línea residual. El cartucho no contiene válvula, regulador de presión, manómetro, calentador, controlador, derivación, drenaje o recipiente de filtro externo reemplazable; El aislamiento, la purga y el control de presión pertenecen al sistema de gas circundante.
Características clave
La colocación en el punto de uso acorta la trayectoria de gas limpio entre la etapa de purificación final y la conexión del proceso protegido
Una carcasa de presión sellada 316L mantiene el lecho de purificación aislado de la exposición ambiental durante el funcionamiento normal
Un elemento integral de partículas metálicas aguas abajo retiene los medios finos o las partículas de instalación antes de que el gas salga del cartucho
Las conexiones coaxiales de entrada y salida permiten que el purificador reemplace una sección recta corta de tubos de alta pureza
El hardware electropulido humedecido a gas limita el área de la superficie interna y admite un comportamiento de purga limpio
Una estructura de control de difusión protege los medios reactivos de la entrada ambiental rápida mientras que los sellos finales se manejan durante la instalación
La envolvente cilíndrica simétrica admite el montaje horizontal o vertical donde el medio seleccionado no es sensible a la orientación
Una marca de dirección de flujo permanente ayuda a evitar la inversión del lecho de purificación y la secuencia del filtro de salida
Múltiples capacidades de cartucho y arreglos de conexión pueden adaptarse a la identidad del gas, el flujo, la presión y la carga contaminante
Soluciones para su aplicación
Un purificador de punto de uso debe coincidir con el desafío real de gas e impureza mientras permanece protegido de la exposición al aire, la instalación inversa y las condiciones de servicio que pueden consumir o dañar el lecho de purificación.
Un purificador elegido solo por el tamaño de la conexión puede no eliminar los contaminantes que afectan el proceso previstoDefina el gas de origen, los contaminantes de salida necesarios, el desafío de entrada, el flujo normal y la duración del servicio antes de seleccionar la familia de medios y la capacidad del cartucho.
La exposición ambiente durante el desempaquetado o la conexión puede consumir capacidad reactiva antes de que el gas de proceso llegue a la unidadMantenga los sellos finales de fábrica en su lugar hasta la instalación y use una secuencia de purga controlada de alta pureza inmediatamente después de la conexión.
La Instalación del cartucho hacia atrás puede colocar la etapa de retención de partículas en el lado equivocado de la cama de mediosAlinee la flecha de flujo permanente con la trayectoria de gas verificada e identifique independientemente el tubo aguas arriba y aguas abajo antes de apretar.
La caída de presión no planificada puede matar de hambre a una herramienta durante la demanda máxima, incluso cuando el flujo promedio parece aceptableTamaño del purificador utilizando máximo flujo instantáneo, presión de entrada y pérdida de presión permitida en lugar de consumo nominal solo.
Un purificador gastado puede continuar pasando gas sin una indicación externa obvia de la capacidad contaminante perdidaEstablezca intervalos de reemplazo a partir de la carga y el rendimiento de impurezas, Luego haga una tendencia a la calidad del gas aguas abajo donde el riesgo del proceso justifica el monitoreo.
El uso de un cartucho a través de gases incompatibles puede crear un rendimiento de eliminación deficiente o una interacción material inseguraApruebe el material humedecido completo y la combinación de medios purificadores para la mezcla de gas, presión, temperatura e impurezas antes de la instalación.
Aplicaciones típicas
Palos de gas semiconductores que suministran herramientas de proceso de deposición, grabado, epitaxia o implante de ionesLíneas de fabricación electrónica y fotovoltaica que utilizan gases de proceso compatibles o inertes de alta purezaInstrumentos analíticos que requieren una etapa final de control de humedad, oxígeno o hidrocarburos cerca de la entradaLaboratorios de investigación que protegen reactores sensibles, guanteras o cromatógrafos de gases de los trastornos de la distribuciónRamas de nitrógeno, argón, helio o hidrógeno de alta pureza donde el medio seleccionado es específicamente compatibleSistemas especiales de suministro de gas que requieren un cartucho de purificación final compacto aguas abajo del control de presión
Parámetros técnicos
La base del catálogo seleccionado sigue un purificador de punto de uso sellado compacto Pall Maxi Gaskleen: un 208 mm cara a cara, conjunto 316L electropulido de 63,5mm de diámetro exterior con 1/4 macho. Extremos de sellado de la Junta, medios reactivos específicos de gas y filtración integral de metal aguas abajo. Los valores de carcasa fija y cama empaquetada a continuación son entradas conservadoras de catálogo o de base de diseño para esta configuración compacta seleccionada; no son dimensiones universales o afirmaciones de rendimiento para cada medio purificador. La Compatibilidad de gases, las especies de impurezas específicas, el desafío de entrada, el flujo, la presión, la temperatura, la calidad de salida requerida y la vida útil deben coincidir con el servicio real.
| Materiales Core | Óxido inorgánico de ingeniería específico de gas o lecho adsorbente reactivo con un elemento de retención de partículas inoxidables 316L posterior integral |
|---|---|
| Panel de espesor | Pared de carcasa de presión 316L cilíndrica nominal de 1,5mm para la construcción del purificador compacto seleccionado |
| Ancho efectivo | Diámetro exterior máximo nominal de 63,5mm para el cartucho de punto de uso seleccionado |
| Longitud máxima | 208 mm de longitud cara a cara representativa para la configuración en línea compacta seleccionada |
| Acero frente a espesor | Funda exterior de protección 316L nominal de 0,8mm y espesor de lámina de transición final soldada |
| Densidad Core | Densidad a granel de 650-950 kg/m³ nominal de lecho embalado, dependiendo de los medios de purificación seleccionados |
| Conductividad térmica | 0,20-0,45 W/(m · K) Rango de lecho empaquetado representativo cerca de la temperatura ambiente |
| Superficie acabada | Hardware humedecido a gas 316L electropulido de plata natural, con rugosidad interna de hasta 0,25 µm Ra para la clase de catálogo seleccionada |
| Tipo conjunto | 1/4 coaxial en. Junta macho de entrada y salida de sellado frontal soldada a hombros de transición 316L sellados |
| Customization | Disponible según la aplicación prevista y el entorno operativo. |
Opciones disponibles
Familias de medios compatibles para tareas inertes, reductoras, oxidantes, corrosivas o especiales de gasesCapacidad del cartucho combinada con la carga de impureza esperada y el intervalo de servicio1/4 en. O conexiones de sellado facial de juntas más grandes seleccionadasDisposiciones finales de sellado facial masculino, femenino o mixtoStraight tube-stub connections for welded installation316L stainless or corrosion-resistant alloy wetted constructionIntegral inlet and outlet isolation-valve manifold where requiredHorizontal or vertical support brackets for the selected installationReplacement scheduling based on gas throughput and impurity challenge
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