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Cleanroom Utility Systemen
High-Purity - Gasreiniger
Ein kompakter 316L Inline-Reiniger, der gas spezifische reaktive Medien mit einem integralen Auslass partikel filter kombiniert, um ausgewählte Spuren verunreinigungen in der Nähe einer kritischen Prozess verbindung zu steuern.
- Kontrolle von Spuren von Gebrauchs spuren
- Nach Zoll ausgewählte gas spezifische Reinigungs medien
- Kompakte koaxiale 316L Gesichts dichtung installation
Produkteinführung
Der hochreine Gas reiniger ist eine versiegelte, nicht regen erierbare Patrone zur Verwendung in einer kompatiblen hochreinen Gasleitung. Die ausgewählte Katalog konfiguration besteht aus einem elektro polierten 316L-Zylindergehäuse aus natürlichem Silber mit einem gas spezifischen reaktiven Reinigungs bett, einem integralen nach geschalteten Partikel retention element, zwei geschweißten Übergangs schultern und einem koaxialen 1/4 Zoll. Dichtung fläche-Dichtung verbindung an jedem Ende. Prozess gas strömt durch die ausgewählten Medien, bevor es das geschützte Werkzeug oder den analytischen Benutzer erreicht, und hilft dabei, diesen Benutzer von kurzfristigen Verteilungs stören und verbleibender Leitungs kontamination zu isolieren. Die Patrone enthält kein Ventil, Druckregler, Manometer, Heizung, Steuerung, Bypass, Abfluss oder austauschbare externe Filters chale. Isolierung, Spülung und Druck kontrolle gehören zum umgebenden Gas system.
Key Features
Die Platzierung am Use verkürzt den Reingas weg zwischen der endgültigen Reinigungs stufe und der geschützten Prozess verbindung
Ein versiegeltes 316L-Druckgehäuse hält das Reinigungs bett während des normalen Betriebs von der Umgebungs einstrahlung isoliert
Ein integrales nach geschaltetes Metall partikel element hält feine Medien oder Installation partikel zurück, bevor Gas die Patrone verlässt
Koaxiale Einlass-und Auslass anschlüsse ermöglichen es dem Luft reiniger, einen kurzen geraden Abschnitt aus hochreinem Schlauch zu ersetzen
Elektro polierte gas benetzte Hardware begrenzt die innere Oberfläche und unterstützt das Reinigungs verhalten
Eine Diffusions kontroll struktur schützt reaktive Medien vor schnellem Eindringen in die Umgebung, während End dichtungen während der Installation gehandhabt werden
Die symmetrische zylindrische Hülle unterstützt eine horizontale oder vertikale Montage, bei der das ausgewählte Medium nicht orientierung empfindlich ist
Eine permanente Durchfluss richtungs markierung verhindert die Umkehrung der Reinigungs bett-und Auslass-Filter-Sequenz
Mehrere Patronen kapazitäten und Verbindungs anordnungen können an Gas identität, Durchfluss, Druck und Schadstoff last angepasst werden
Lösungen für Ihre Anwendung
Ein Point-of-Use-Reiniger muss der tatsächlichen Gas-und Verunreinigung herausforderung entsprechen und gleichzeitig vor Luft einstrahlung, umgekehrter Installation und Service bedingungen geschützt bleiben, die das Reinigungs bett verbrauchen oder beschädigen können.
Ein Luft reiniger, der nur nach Verbindungs größe ausgewählt wird, entfernt möglicher weise nicht die Verunreinigungen, die den beabsichtigten Prozess beeinflussenDefinieren Sie das Quellgas, die erforderlichen Auslass verunreinigungen, die Einlass herausforderung, den normalen Durchfluss und die Betriebs dauer, bevor Sie die Medien familie und die Patronen kapazität auswählen.
Umgebungs belichtung während des Auspackens oder der Verbindung kann reaktive Kapazität verbrauchen, bevor Prozess gas die Einheit erreichtHalten Sie die werkseitigen End dichtungen bis zur Installation an Ort und Stelle und verwenden Sie unmittelbar nach dem Anschluss eine kontrollierte hochreine Spül sequenz.
Durch die rückwärtige Installation der Patrone kann die Partikel retention stufe auf der falschen Seite des Medien bettes platziert werdenRichten Sie den permanenten Strömungs pfeil an dem verifizierten Gasweg aus und identifizieren Sie den vor-und stroma bwärtigen Schlauch unabhängig voneinander, bevor Sie ihn festziehen.
Ungeplanter Druckabfall kann ein Werkzeug während der Spitzen nachfrage verhungern lassen, selbst wenn der durchschnitt liche Durchfluss akzeptabel erscheintGröße des Luft reinigers mit maximalem momentanen Durchfluss, Einlass druck und zulässiger Druckverlust anstelle des nominalen Verbrauchs allein.
Ein verbrauchter Luft reiniger kann weiterhin Gas leiten, ohne dass ein offen sichtlicher äußerer Hinweis auf verlorene Schadstoff kapazität vorliegtRichten Sie Ersatz intervalle aus der Belastung und dem Durchsatz von Verunreinigungen ein und tendieren Sie dann die nach gelagerte Gas qualität, wenn das Prozess risiko die Überwachung rechtfertigt.
Die Verwendung einer Patrone über inkompatible Gase kann zu einer schlechten Entfernungs leistung oder einer unsicheren Material wechsel wirkung führenGenehmigen Sie vor der Installation die vollständige Kombination aus benetztem Material und Reiniger-Medien für das genannte Gas-, Druck-, Temperatur-und Verunreinigung gemisch.
Typische Anwendungen
Halbleiter gas stäbe, die Abscheidungs-, Ätz-, Epitaxie-oder Ionen implantat prozess werkzeuge liefernElektronik-und Photovoltaik-Fertigungs linien mit hochreinen inerten oder kompatiblen Prozess gasenAnalytische Instrumente, die eine endgültige Feuchtigkeits-, Sauerstoff-oder Kohlen wasserstoff kontroll stufe in der Nähe des Einlasses erfordernForschungs labors schützen empfindliche Reaktoren, Glove boxen oder Gas chromato graphen vor Verteilungs störenHochreine Stickstoff-, Argon-, Helium-oder Wasserstoff zweige, bei denen die ausgewählten Medien spezifisch kompatibel sindSpezial gas versorgungs systeme, die eine kompakte End reinigungs patrone nach der Druck regelung erfordern
Technische Parameter
Die ausgewählte Katalog basis folgt einem kompakten versiegelten Pall Maxi Gaskleen-Reinigungs gerät der Klasse: einer elektro polierten 316L-Baugruppe mit 208 mm von Angesicht zu Angesicht und 63,5mm Außen durchmesser mit 1/4-Zoll. Dichtung flächen dichtungen, reaktive gas spezifische Medien und integrale nach geschaltete Metall filtration. Die folgenden Werte für feste Gehäuse und gepacktes Bett sind konservative Einträge auf Katalog-oder Design basis für diese ausgewählte kompakte Konfiguration. Es handelt sich nicht um universelle Abmessungen oder Leistungs ansprüche für jedes Reinigungs medium. Gas kompatibilität, gezielte Verunreinigung spezies, Einlass herausforderung, Durchfluss, Druck, Temperatur, erforderliche Auslass qualität und Lebensdauer müssen an den tatsächlichen Service angepasst werden.
| Core Material | Gas spezifisches technisches anorganisches Oxid oder reaktives Adsorbens bett mit einem integralen nach geschalteten 316L rostfreien Partikel retention element |
|---|---|
| Panel Dicke | 1,5mm nominal zylindrische 316L Druck-Schalen wand für die ausgewählte kompakte Reinigungs konstruktion |
| Effektive Breite | Nenn maximaler Außen durchmesser von 63,5mm für die ausgewählte Patrone |
| Maximale Länge | 208 mm repräsent ative Face-to-Face-Länge für die ausgewählte kompakte Inline-Konfiguration |
| Stahl facing Dicke | 0,8mm nominal 316L Schutz außen hülse und geschweißte End übergangs blechdicke |
| Kerndichte | 650-950 kg/m³ nominale Schüttdichte mit gepacktem Bett, abhängig vom ausgewählten Reinigungs medium |
| Thermische Leitfähigkeit | 0,20-0,45 W/(m · K) repräsent ativer gepackter Bett bereich nahe der Umgebungs temperatur |
| Oberfläche Finish | Elektro polierte 316L gas benetzte Natursilber-Hardware mit einer inneren Rauheit von bis zu 0,25 µm Ra für die ausgewählte Katalog klasse |
| Gemeinsamer Typ | Koaxial 1/4 in. Einlass und Auslass der männlichen Dichtung fläche geschweißt an versiegelten 316L Übergangs schultern |
| Customisierung | Verfügbar je nach beabsichtigter Anwendung und Betriebsumgebung. |
Verfügbare Optionen
Medien familien für kompatible inerte, reduzierende, oxidierende, korrosive oder Spezial gas aufgabenDie Patronen kapazität ist auf die erwartete Verunreinigung slast und das Service intervall abgestimmt1/4 Zoll Oder ausgewählte größere Dichtung anschlüsseMännliche, weibliche oder gemischte Gesichts siegel end arrangementsStraight tube-stub connections for welded installation316L stainless or corrosion-resistant alloy wetted constructionIntegral inlet and outlet isolation-valve manifold where requiredHorizontal or vertical support brackets for the selected installationReplacement scheduling based on gas throughput and impurity challenge
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