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Sistemas de utilidad de Cleanroom
Gas Scrubber
Armario depurador de gas compacto en el punto de uso para tratar un proceso de escape de semiconductor soluble en agua o reactivo en agua seleccionado cerca de la bomba de vacío antes de la conexión al escape de la instalación.
- Tratamiento de punto de uso cerca de la fuente de escape del proceso
- Torre de lavado integrada, bomba de recirculación y servicios públicos monitorizados
- Hasta cuatro trayectorias de entrada calentadas en la base compacta seleccionada
Introducción del producto
El depurador de gas es un gabinete de escape autónomo en el punto de uso para procesos seleccionados de fabricación de semiconductores, fotovoltaicos y limpios. El Efluente de proceso ingresa a través de caminos de entrada calentados diseñados para reducir la acumulación de subproductos, pasa a través de una sección de contacto con agua y sale a través de una conexión de gas tratado al escape de la instalación. Una torre de lavado interna, bomba de recirculación, circuito de agua y drenaje, servicio de nitrógeno y ventilación del Gabinete funcionan como un paquete monitoreado. Debido a que la solubilidad del gas, la hidrólisis, los productos de reacción y la química cruzada varían sustancialmente, la disposición de entrada, el líquido de lavado, la estrategia de pH, la lógica de purga y el manejo de aguas residuales se seleccionan para el proceso real en lugar de asumirse solo del tamaño del Gabinete.
Características clave
Cuatro posiciones de entrada calentadas en la base seleccionada ayudan a acomodar herramientas de múltiples cámaras al tiempo que limitan la deposición en frío cerca de la entrada
Una primera etapa de ducha y una sección de contacto vertical de agua de lavado proporcionan una interacción controlada de gas a líquido
La recirculación de accionamiento magnético evita un sello de eje convencional en la trayectoria de líquido circulante
Una señal de válvula de derivación se puede interbloquear con equipos de proceso y vacío para enrutamiento definido de estado anormal
El recinto de seguridad ventilado dirige el aire del gabinete al escape de la instalación en lugar del Área de Servicio ocupada
El flujo de agua, el drenaje, el nitrógeno y la ventilación del Gabinete se pueden supervisar como permisivos operativos
Las disposiciones de lavado in situ reducen la necesidad de desmontar los componentes de entrada y de contacto húmedo para la eliminación rutinaria del depósito
La dosificación de pH opcional admite el control de la química cuando el contaminante y el Plan de aguas residuales seleccionados lo requieren
El embalaje vertical compacto preserva el acceso al servicio al tiempo que minimiza el área de piso subfabuloso
Soluciones para su aplicación
Un depurador compacto funciona de manera confiable solo cuando la química del gas, la segregación de entrada, la calidad del agua, el drenaje, el escape y los enclavamientos se diseñan como un proceso en lugar de tratarse como conexiones de servicios independientes.
La mezcla de escapes de diferentes cámaras puede formar calor, sólidos o subproductos inestables antes de que la etapa húmeda pueda controlarlosRevise la matriz de recetas completa y mantenga aisladas las trayectorias de entrada incompatibles hasta que las corrientes sean demostrablemente seguras de combinar.
Las superficies de entrada frías pueden acumular condensado o sólidos de reacción y restringir progresivamente el flujo de escape del procesoUse entradas calentadas donde sea compatible, controle el comportamiento de la presión e incluya una secuencia de limpieza in situ emparejada con el material depositado.
La pérdida de circulación de agua, el drenaje o el escape del gabinete pueden dejar el proceso en funcionamiento sin una reducción efectivaInterlock verificó el flujo de agua, el estado de la bomba, la disponibilidad del drenaje y la ventilación del gabinete con la lógica permisiva y de derivación de la herramienta de proceso.
Un líquido de lavado que elimina un gas puede reaccionar mal con otro gas o crear una corriente de aguas residuales inaceptableSeleccione la química líquida y cualquier dosis de pH de la composición de gas real, los productos de reacción y los controles de aguas residuales del sitio.
Es posible que los operadores no sepan si una alarma es causada por la entrada del proceso, el circuito de lavado, los servicios públicos o el escape de la instalación.Proporcione un estado local y remoto distinto para la temperatura de entrada, recirculación, agua, drenaje, nitrógeno, ventilación del gabinete y condiciones de escape.
El servicio de rutina puede exponer al personal a gases residuales, líquidos contaminados o depósitos reactivos dentro del gabineteUse una secuencia aprobada de purga y aislamiento, verifique las condiciones químicas seguras y de energía cero, y repare la sección húmeda utilizando controles de protección específicos de la tarea.
Aplicaciones típicas
Escape de Epitaxia de semiconductores que contiene subproductos de clorosilano reactivos al agua revisadosFuga de herramienta de proceso CVD y ALD con servicio de haluro o amoníaco seleccionadoEscape de metal y grabado dieléctrico que requiere tratamiento local de contacto húmedoHerramientas de producción de células fotovoltaicas que utilizan gases de proceso reactivo compatiblesFabricación de obleas a escala de investigación y líneas piloto de semiconductoresHerramientas de proceso de fabricación limpia que requieren una etapa de reducción de gas local compacta
Parámetros técnicos
La base del producto mostrado es un gabinete de lavado de agua compacto en el punto de uso derivado de la envoltura G-WS1000 publicada: aproximadamente 914 mm de ancho, 736 mm de profundidad y 1727 mm de alto. El candidato combina un recinto de servicio recubierto de polvo con una torre de lavado PP-H y tuberías, una bomba de recirculación de accionamiento magnético, cuatro posiciones de entrada calentadas y agua separada, drenaje, nitrógeno, ventilación y conexiones de gas tratado. El esquema fijo de diez filas del sitio & #039;s utiliza etiquetas orientadas al panel; por lo tanto, el grosor del panel registra la profundidad total del Gabinete y las filas de materiales describen los componentes de contacto húmedo PP-H representativos en lugar del rendimiento de reducción. Lista de gas, asignación de entrada, química líquida, servicios públicos y enclavamientos permanecen seleccionados.
| Materiales Core | Torre de lavado PP-H y tuberías de recirculación dentro de un recinto de servicio de acero recubierto de polvo, con bomba resistente a la corrosión e interfaces de proceso inoxidable seleccionadas |
|---|---|
| Panel de espesor | Profundidad general nominal de 736 mm para el catálogo de puntos de uso seleccionado |
| Ancho efectivo | Ancho total nominal de 914 mm para el catálogo del punto de uso seleccionado |
| Longitud máxima | Altura total nominal del Gabinete de 1727mm, excluidas las conexiones de servicios públicos y la autorización de servicio requerida |
| Acero frente a espesor | Lámina de carcasa recubierta de polvo nominal de 1,0-1,2mm para el candidato mostrado; el calibre final depende de la construcción del Gabinete seleccionado |
| Densidad Core | Densidad representativa de aproximadamente 915 kg/m³ para el material PP-H de contacto húmedo |
| Conductividad térmica | Aproximadamente 0,22 W/(m · K) valor representativo para PP-H cerca de la temperatura ambiente |
| Superficie acabada | Gabinete recubierto de polvo blanco apagado, sección húmeda PP-H gris pálido, talones de entrada de plata natural, bomba de accionamiento magnético azul y colores de indicador funcional sobrio |
| Tipo conjunto | Proceso calefaccionado-talones de entrada y collar de gas tratado con circuito de agua PP-H soldada, uniones de servicio, conexión de escape con bridas e interfaces de agua, drenaje y nitrógeno separadas |
| Customization | Disponible según la aplicación prevista y el entorno operativo. |
Opciones disponibles
De uno a cuatro caminos de entrada de proceso calentados segregadosTemperatura de entrada específica del gas y lógica de purgaCircuito de lavado con dosis químicamente compatible o solo en aguaMonitorización automática del pH y dosificación cuando sea apropiadoHerramienta de proceso, bomba seca y paquetes de bloqueo de válvula de derivaciónAgua-flujo, nivel, drenaje y recirculación-Supervisión de la bombaVentilación del Gabinete e instalación-monitoreo de presión de escapeContactos de alarma remota e integración de estado de bus de campoSecuencias de lavado y gestión de depósitos in situMateriales húmedos alternativos resistentes a la corrosión después de la revisión de compatibilidad
¿Planificación de una especificación de depurador de gas?
Envíenos sus dimensiones, condiciones de instalación, objetivos de rendimiento y acabado superficial requerido.
