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상품 소개
Gas Scrubber는 선택된 반도체, 태양 광 및 청정 제조 공정을위한 자체 포함 된 사용점 배출 캐비닛입니다. 공정 유출물은 부산물 축적을 줄이기 위해 설계된 가열 된 입구 경로를 통해 들어가고, 물 접촉 섹션을 통과하고, 처리 된 가스 연결을 통해 설비 배기구에 남습니다. 내부 세척 타워, 재순환 펌프, 물 및 배수 회로, 질소 서비스 및 캐비닛 환기는 하나의 모니터링 패키지로 작동합니다. 가스 용해도, 가수 분해, 반응 생성물 및 교차 화학은 실질적으로 다양하기 때문에 입구 배열, 액체 스크러빙, pH 전략, 퍼지 로직 및 폐수 처리는 캐비닛 크기만으로 가정하지 않고 실제 프로세스를 위해 선택됩니다.
주요 기능
선택된 기초에 4 개의 가열 된 입구 위치는 입구 근처의 냉간 증착을 제한하면서 다중 챔버 도구를 수용하는 데 도움이됩니다.
첫 번째 샤워 단계 및 수직 세척-물 접촉 섹션은 제어 된 가스-액체 상호 작용을 제공합니다.
자기 구동 재순환은 순환 액체 경로에서 기존의 샤프트 씰을 피합니다.
바이패스 밸브 신호는 정의 된 비정상 상태 라우팅을 위해 프로세스 및 진공 장비와 연동 될 수 있습니다.
환기 된 안전 인클로저는 점유 서비스 구역이 아닌 캐비닛 공기를 시설 배기로 안내합니다.
물 흐름, 배수, 질소 및 캐비닛 환기는 운영 허위로 감독 할 수 있습니다.
현장 세척 조항은 일상적인 예금 제거를 위해 입구 및 습식 접촉 구성 요소를 분해 할 필요성을 줄입니다.
선택적 pH 투여는 선택된 오염 물질 및 폐수 계획에 필요한 경우 화학 제어를 지원합니다.
소형 수직 패키징은 서브 팹 바닥 면적을 최소화하면서 서비스 액세스를 유지합니다.
응용 프로그램 솔루션
소형 스크러버는 가스 화학, 입구 분리, 수질, 배수, 배기 및 인터록이 독립적 인 유틸리티 연결로 처리되지 않고 하나의 프로세스로 설계된 경우에만 안정적으로 작동합니다.
다른 챔버에서 배출물을 혼합하면 습식 단계가 제어 할 수 있기 전에 열, 고체 또는 불안정한 부산물을 형성 할 수 있습니다.완전한 레시피 매트릭스를 검토하고 스트림이 결합하기에 확실히 안전 할 때까지 호환되지 않는 입구 경로를 격리하십시오.
차가운 입구 표면은 응축수 또는 반응 고체를 축적하고 공정 배기 흐름을 점진적으로 제한 할 수 있습니다.호환 가능한 가열 된 입구를 사용하고 압력 거동을 모니터링하고 증착 된 재료와 일치하는 현장 청소 시퀀스를 포함합니다.
물 순환, 배수 또는 캐비닛 배기의 손실은 효과적인 경감없이 프로세스를 실행할 수 있습니다인터록은 공정 공구 허용 및 우회 논리로 물 흐름, 펌프 상태, 배수 가용성 및 캐비닛 환기를 확인했습니다.
하나의 가스를 제거하는 스크러빙 액체는 다른 가스와 잘 반응하지 않거나 허용 할 수없는 폐수 스트림을 만들 수 있습니다.실제 가스 조성, 반응 생성물 및 현장 폐수 제어에서 액체 화학 및 pH 투약을 선택하십시오.
운영자는 프로세스 입구, 세척 루프, 유틸리티 또는 시설 배기로 인해 경보가 발생하는지 여부를 알 수 없습니다.입구 온도, 재순환, 물, 배수, 질소, 캐비닛 환기 및 배기 조건에 대한 뚜렷한 로컬 및 원격 상태를 제공하십시오.
일상적인 서비스는 캐비닛 내부의 잔류 가스, 오염 된 액체 또는 반응성 퇴적물에 직원을 노출시킬 수 있습니다.승인 된 퍼지 및 격리 시퀀스를 사용하고, 제로 에너지 및 안전한 화학 조건을 확인하고, 작업 별 보호 제어를 사용하여 습식 섹션을 서비스하십시오.
일반적인 응용 프로그램
검토 된 물 반응성 클로로 실란 부산물을 포함하는 반도체 에피 택시 배기CVD 및 ALD 공정-선택된 할라이드 또는 암모니아 서비스를 가진 공구 배기지역 습식 접촉 처리가 필요한 금속 및 유전체 에칭 배기호환 가능한 반응성 공정 가스를 사용하는 태양 전지 생산 도구연구 규모의 웨이퍼 제조 및 파일럿 반도체 라인소형 지역 가스 저감 단계가 필요한 청정 제조 공정 도구
기술 매개변수
표시된 제품 기반은 게시 된 G-WS1000 봉투에서 파생 된 소형 사용점 정수 캐비닛입니다 (폭 약 914mm, 깊이 736 mm 및 높이 1727mm). 이 후보는 분말 코팅 서비스 인클로저와 PP-H 세척탑 및 배관, 자기 구동 재순환 펌프, 4 개의 가열 된 입구 위치 및 별도의 물, 배수, 질소, 환기 및 처리 된 가스 연결. 사이트 & #039;s 고정 10 행 스키마는 패널 지향 레이블을 사용합니다. 따라서 패널 두께는 전체 캐비닛 깊이를 기록하고 재료 행은 저감 성능이 아닌 대표적인 PP-H 습식 접촉 구성 요소를 설명합니다. 가스 목록, 입구 할당, 액체 화학, 유틸리티 및 인터록은 프로세스 선택 상태로 유지됩니다.
| 핵심 재료 | 부식 방지 펌프 및 선택된 스테인레스 공정 인터페이스를 갖춘 분말 코팅 강철 서비스 인클로저 내부의 PP-H 세척 타워 및 재순환 배관 |
|---|---|
| 패널 두께 | 선택한 사용 시점 카탈로그 기준을위한 736 mm 공칭 전체 캐비닛 깊이 |
| 유효 폭 | 선택한 사용 시점 카탈로그 기준을위한 914 mm 공칭 전체 캐비닛 너비 |
| 최대 길이 | 1727 mm 공칭 전체 캐비닛 높이, 유틸리티 연결 및 필수 서비스 정리 제외 |
| 강철 면면 두께 | 표시된 후보를위한 1.0-1.2mm 공칭 분말 코팅 인클로저 시트; 최종 게이지는 선택한 캐비닛 구조에 따라 다릅니다. |
| 코어 밀도 | PP-H 습식 접촉 재료의 약 915 kg/m³ 대표 밀도 |
| 열전도도 (Thermal Conductivity) | 주변 온도에 가까운 PP-H 대한 약 0.22 W/(m · K) 대표 값 |
| 표면 마무리 | 따뜻한 오프 화이트 파우더 코팅 캐비닛, 옅은 회색 PP-H 젖은 섹션, 천연 실버 입구 스터브, 파란색 자기 드라이브 펌프 및 구속 된 기능 표시기 색상 |
| 접합 유형 | 가열 공정-입구 스텁 및 처리 된 가스 칼라 용접 된 PP-H 수도 회로, 서비스 조합, 플랜지 배기 연결 및 별도의 물, 배수 및 질소 인터페이스 |
| 사용자 정의 | 의도된 응용 프로그램 및 운영 환경에 따라 사용할 수 있습니다. |
사용 가능한 옵션
1 ~ 4 개의 분리 된 가열 공정-입구 경로가스 별 입구 온도 및 퍼지 로직물 전용 또는 호환 화학 용량 스크러빙 회로적절한 경우 자동 pH 모니터링 및 투약Process-tool, dry-pump and bypass-valve interlock packagesWater-flow, level, drain and recirculation-pump supervisionCabinet ventilation and facility-exhaust pressure monitoringRemote alarm contacts and fieldbus status integrationIn-situ wash and deposit-management sequencesAlternative corrosion-resistant wetted materials after compatibility review
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