Chemical filter FFU in complete three-quarter view showing fan and media stages

Оборудование для чистых помещений

Химический фильтр FFU

Потолочный или мини-вентиляторный фильтр, который сочетает в себе газофазные химические среды с окончательной фильтрацией твердых частиц для локального контроля AMC.

Химическая фильтрация в газовой фазе
Интегрированный вентилятор EC
Окончательный фильтр твердых частиц
Сменные медиа кассеты

Запрос котировки Просмотреть продукты

Введение продукции

Химический фильтр FFU всасывает возвратный или комнатный воздух через выбранную газофазную среду перед его доставкой через конечный сажевый фильтр и однородный диффузор. Активированный уголь, пропитанные среды или смешанные хемисорбенты могут быть выбраны вокруг целевого молекулярного загрязнителя в воздухе. Компактный вентилятор ЭК и модульный ящик средств массовой информации поддерживают местную установку над мини-окружающими средами полупроводника, чувствительными отростчатыми зонами или положениями потолк-решетки.

Основные характеристики

Сменные кассеты с химическими средами нацелены на выбранные кислотные, щелочные, органические или легированные загрязнения.

Последний сажевый фильтр улавливает пыль и частицы, находящиеся в воздухе, прежде чем приточный воздух попадает в защищенную зону.

Управление вентилятором EC обеспечивает регулируемый воздушный поток для балансировки давления и компенсации нагрузки фильтра.

Сервисные ящики позволяют заменять химические среды без демонтажа всего корпуса.

Решения для вашего приложения

Чувствительные полупроводниковые процессы требуют контроля молекулярных загрязнений, а также частиц, часто в пределах ограниченного потолка или глубины инструментальной оболочки.

Обычный HEPA FFU не удаляет газы или переносимые по воздуху молекулярные загрязнители.Специальные стадии адсорбента и хемисорбента удаляют целевые молекулярные виды перед окончательной фильтрацией.

Один универсальный углеродный сорт не может эффективно решить каждую семью загрязняющих веществ.Модульные кассеты позволяют выбирать химию среды для кислот, оснований, органических веществ или легирующих примесей.

Замена носителя может прервать защищенную отростчатую зону.Доступные ящики обслуживания сокращают время изменения и держат установленный корпус вентилятора/фильтра.

Повышение сопротивления фильтра со временем снижает воздушный поток.Регулируемое управление вентилятором EC восстанавливает необходимый поток в пределах рабочего диапазона оборудования.

Типичные приложения

Полупроводниковые мини-средыОбласти процесса фотолитографииХимически-чувствительные метрологические зоныЛокализованный контроль AMC над обработкой пластин

Технические параметры

Типичные значения конструкции для компактного вентиляторно-фильтрующего блока с химическим фильтром приведены ниже.

Основной материал	Корпус из оцинкованной или нержавеющей стали с активированным углем или пропитанной хемосорбционной средой
Толщина панели	100-450 мм общая глубина оборудования
эффективная ширина	Номинальная ширина модуля 575-1220 мм
Максимальная длина	Длина модуля до 1220 мм
Толщина линий стали	Панели металлического корпуса 0,8-1,2 мм
Плотность ядра	350-650 кг/м³ для упакованных химических кассет
Теплопроводимость	14-17 W/(m · K) для нержавеющих компонентов снабжения жилищем
Поверхностная отделка	Почищенная щеткой нержавеющая сталь или порошк-класс покрыли снабжение жилищем металла
Объединенный тип	Гаскетед места фильтра с запертым на задвижку ящиком химикат-средств массовой информации и скрепленным болтами снабжением жилищем вентилятора
Customization	Доступно в зависимости от предполагаемого применения и операционной среды.

Доступные варианты

Кислотные, основные, органические или легирующей средыHEPA или ULPA конечный фильтрЛокальное, аналоговое или сетевое управление вентиляторамиПотолок-решетка или установка мини-окружающей среды

Планирование химического фильтра ФФУ спецификации?

Отправьте нам ваши габариты, условия монтажа, целевые показатели производительности и требуемую отделку поверхности.

Поговорите с нашей командой