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商品紹介
ウェーハトランスポートカートは、半導体作業エリア間で閉じたウェーハボックスとロットキャリアを手動で移動するように構成されています。2つの穴あき棚は垂直方向の気流を可能にし、後部に向かってわずかに傾斜しているため、キャリアは通路の端ではなく保持レールに寄りかかります。丸みを帯びたステンレス製の支柱と統合されたハンドルがアクセス可能なワイプダウンパスを作成し、ポリウレタンキャスターは完成したクリーンルームの床で制御された可動性を提供します。
主要な特徴
穿孔は、広い水平方向の粒子収集表面を減少させます。
3面棚レールは、開始時とターン時にキャリアの移動に抵抗します。
丸いステンレスチューブは、開いた構造角度よりも鋭い棚が少なくなります。
接地とクリーンルームキャスターのオプションは、静的および振動の懸念に対処します。
アプリケーションのソリューション
通常のユーティリティカートを使用すると、キャリアをスライドさせ、粒子を捕らえる棚の表面を作成し、床衝撃を壊れやすいウェーハの負荷に直接伝達できます。
ターン中のキャリアの動きわずかに角度の付いた棚と隆起したレールは、デッキの周囲にボックスを保持します。
累積記事穴あきパネルと丸いチューブは、より簡単なクリーニングパスを露出し、気流をサポートします。
ウェーハに到達するホイールショック選択されたポリウレタンまたはバネ式キャスターは、過酷なローリング入力を減らします。
フレームの静电チャージ導電性キャスターと接地チェーンオプションは、定義された散逸パスを提供します。
典型的な用途
150mm、200 mm、または300 mmのウェーハボックス、ロットボックス、および保護されたウェーハキャリアを、ストッカー、検査ステーション、ウェットプロセスサポートエリア、および計測セル間で手動で輸送します。
技術的なパラメータ
棚の平面図、保持レールの高さ、後方角度は、ターゲットのウェーハボックスのフットプリントと取り扱い方法を中心に選択されます。溶接されたフレームは、棚の荷重を4つのコーナーポストとステムに取り付けられたスイベルキャスターに直接伝達します。電気研磨は、露出したステンレス表面を滑らかにします。静電制御と衝撃制御が必要な場合は、導電性ホイールコンパウンド、接地チェーン、バネ式キャスターアセンブリを追加できます。
| コア材料 | 304または316Lステンレスフレームと棚、クリーンルーム対応ポリウレタンキャスター付き |
|---|---|
| パネルの厚さ | 1.2-2.0mmの穴あき棚パネル |
| 有効幅 | 365-1350mm使用可能な棚の幅 |
| 最大長さ | カート全体の長さ1420 mmまで |
| 鋼鉄の厚さを直面する | 1.2-2.0mm露出したステンレス棚の表面 |
| コア密度 | 7900-8000 kg/m ³ 公称ステンレス钢密度 |
| 熱伝導率 | 室温で約 14.6 — 16.2 W / （m · K） |
| 表面仕上げ | 電気研磨または機械的に研磨されたステンレス鋼 |
| ジョイントタイプ | 穴あき棚とステムに取り付けられた回転キャスターを備えた継続的に溶接された丸管フレーム |
| カスタマイズ | 意図したアプリケーションと動作環境に基づいて利用できます。 |
利用可能なオプション
304または316Lステンレス鋼、150mm、200 mmまたは300 mmキャリアの棚形状、代替棚数、電気研磨仕上げ、バネ式キャスター、導電ホイール、接地チェーン、取り外し可能なキャリア仕切りとパーキングブレーキ。
ウェーハ輸送カートの仕様を計画していますか?
寸法、設置条件、性能目標、必要な表面仕上げをお送りください。
