Three-quarter view of mini-pleat ULPA filter in anodized-aluminium frame

エアフィルターと化学ろ過

ミニプレート ULPA フィルター

半導体および精密クリーンルームでの非常に高い粒子捕捉のために、密集した間隔のマイクロガラスミニプリーツを備えた浅い超低浸透エアフィルター。

U15-U16メディアオプション
密なミニプリーツパック
浅いアルミニウムフレーム
制服ターミナル気流

商品紹介

ミニプリーツULPAフィルターは、狭い熱可塑性セパレータを備えた高面積パックに折りたたまれた超微細ガラスマイクロファイバーメディアを使用しています。正確なプリーツ間隔により、パネルはU15またはU16クラスのオプションを実現しながら、クリーンルームの天井やファンフィルターユニットに十分な浅さを維持できます。パックは陽極酸化アルミニウムフレームに完全に入れられ、膨張金属グリッドで保護され、ガスケット、ゲル、またはナイフエッジのシーリングで完成します。その高いろ過クラスと面速度さえ、半導体、光学、およびその他の超クリーンな製造ゾーンに適しています。

主要な特徴

高面積のミニプリーツジオメトリは、コンパクトなターミナルパネルの深さ内でU15またはU16ろ過をサポートします。

均一な熱可塑性セパレータは、メディアパック全体に狭い気流チャネルを開いたままにします。

陽極酸化アルミニウムフレームと密閉されたコーナーは、天井の設置のための清潔で硬い周囲を提供します。

開いた保護グリッドは、下流の空気の分布さえも維持しながら、繊細なULPAメディアを保護します。

アプリケーションのソリューション

超クリーンなプロセスでは、管理可能な抵抗と均一なターミナル気流を維持しながら、通常のHEPAクラスを超えるろ過が必要です。

従来のHEPAフィルターは、選択されたUクラスの粒子保持を提供しない。超微細マイクロガラスメディアと制御されたミニプリーツ製造は、U15またはU16構成をサポートします。

非常に密度の高い媒体は、大きな末端面にわたって不均一な速度を引き起こす。正確に間隔を空けたプリーツチャネルは、流路を集中させる代わりに、フィルター全体の領域に空気を分配します。

繊細な高効率パックは、FFUのインストール中に簡単に損傷します。保護グリッドと剛性の押し出しアルミニウムの周囲は、パックを取り扱い接触から保護します。

ディープフィルターは、クリーンルームの天井より上の使用可能なサービススペースを削減します。高面積ミニプリーツパックは、一般的な80〜150 mmの浅い端子フレーム内に収まります。

典型的な用途

半導体ウェーハ製造精密光学製造フラットパネル表示クリーンルームハードディスクメディア制作超クリーンな計測研究所

技術的なパラメータ

ミニプリーツULPAパネルの代表的な構造範囲を以下に示します。

コア材料	低浸透ガラスマイクロファイバーULPAメディアと正確な間隔の熱可塑性ミニプリーツセパレータ
パネルの厚さ	80-150mm全体のフレームの深さ
有効幅	305 — 610 mm 公称面幅
最大長さ	1220 mmまでの公称面の長さ
鋼鉄の厚さを直面する	0.4-0.6mmパウダーコーティングまたはステンレススチール拡大フェイスガード
コア密度	およそ35-55 kg/m ³ 同等のミニプリーツメディア密度
熱伝導率	ドライマイクロガラスULPAパックのためのおよそ0.035-0.045 W/(m・K)
表面仕上げ	きれいな白またはステンレス製のフェイスガードが付いている自然な陽極酸化アルミニウムフレーム
ジョイントタイプ	EPDMガスケット、ポリウレタンゲルチャネルまたは押し出されたナイフエッジ周囲
カスタマイズ	意図したアプリケーションと動作環境に基づいて利用できます。

利用可能なオプション

U15またはU16効率クラス80mm、90 mmまたは150 mmフレームの深さガスケット、ゲルまたはナイフエッジシール片面または両面の面ガード

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