Valve manifold box complete three-quarter view with windowed enclosure, four regulated gas sticks, controller and top exhaust collar

クリーンルームユーティリティシステム

バルブマニホールドボックス

1つの高純度ガス供給を受け取り、各アウトレットスティックを調整および監視し、残りのブランチをシャットダウンすることなく個々のツールフィードを分離するベント4ブランチ配電エンクロージャー。

4つの独立して分離された圧力調整されたアウトレットスティック
一般的な緊急入口シャットダウンを備えた排気されたエンクロージャー
パージ対応ブランチ付き電気研磨316L UHP流路

商品紹介

バルブマニフォールドボックスは、集中型ガス源といくつかのプロセスツールの間に設置された密閉型の二次ガス分配ステーションです。選択したカタログ構成では、溶接されたライトグレーのスチールエンクロージャー1つ、セルフラッチ式の窓付きアクセスドア1つ、上部排気カラー1つ、一般的な入口分離アセンブリ1つ、および4つの並列分配スティックを使用します。各スティックには、1つのコンパクトな圧力調整器、1つの圧力計、2つのダイヤフラムシャットオフバルブ、および1つの専用コンセントが含まれています。ローカルコントローラーはパーミシブを監視し、通常は閉じている入口の緊急遮断バルブを閉じることができますが、個々の分岐分離により、オペレーターは他の3つを乱すことなく1つのツールフィードにサービスを提供できます。エンクロージャーにはガスボンベが含まれておらず、露出した単一ソース圧力パネル、オープンバルブマニホールドパネル、ベパイプマニホールドとは異なります。

主要な特徴

1つの一般的なインレットは、単一の使い果たされたサービス境界内の4つの個別のツールブランチに分割されます

独立した分岐遮断により、影響を受けていないアウトレットが引き続き利用可能である間、1つの下流ラインを分離することができます

すべてのスティックにある専用のレギュレーターとゲージは、分岐固有の配信圧力の調整と表示を提供します

電気研磨された316Lチューブ、ダイヤフラムバルブ、低デッドボリューム継手は、分配分割を通じて純度を保護します

パージ対応のスティックレイアウトは、メンテナンスのためにブランチを開く前に、閉じ込められたガスの制御された変位をサポートします

通常は閉じた入口緊急遮断バルブは、ローカルまたはリモートアラーム応答のための1つの定義された隔離ポイントを提供します

透明な安全ウィンドウにより、使い果たされたエンクロージャーを開くことなく動作状態のチェックが可能になります

レールに取り付けられたモジュラースティックは、ブランチの交換、容量の変更、ガス固有のコンポーネントの選択を簡素化します

アプリケーションのソリューション

マニホールドボックスは、エンクロージャーの排気、圧力制御、パージルーティング、および緊急分離を実際のソースとツールの要件に調整しながら、ガスの純度と分岐の独立性を維持する必要があります。

1つのツールブランチにサービスを提供するために中央ガスソースをシャットダウンすると、そのソースに接続されているすべてのプロセスが中断される可能性があります各配電スティックに専用の上流および下流の分離を提供して、他の適格なアウトレットを閉じることなく、影響を受けるブランチを固定できるようにします。

単一の圧力設定は、4つの下流ツールに必要な異なる配送条件を満たさない場合がありますスティックごとに個別のレギュレーター範囲と圧力インジケーターを選択し、通常のツール需要に応じて各コンセントを委託します。

汚染されたブランチを開くと、残留ガスを放出したり、共有UHPヘッダーに水分を導入したりできます共通の入口ラインとツールラインの両方から分岐を分離し、接続を切断する前に、互換性のあるパージまたは避難ルートを使用します。

ベントされていない配電エンクロージャー内の漏れは、複数のライブジョイントの周りに蓄積する可能性があります監視された気流を備えた継続的に使い果たされたVMB構成を使用し、ガスハザード用に選択された施設処理システムに排気をルーティングします。

ローカルアラームは、4つのアウトレットスティックすべてを保護するのに十分な速さで共通ソースを分離できない場合があります通常は閉じている入口緊急遮断バルブをローカルコントローラー、外部緊急信号、選択したガスまたは排気アラームに接続します。

ブランチの追加は、混合コンポーネント標準、過剰なデッドボリューム、または不明確なバルブシーケンシングを作成する可能性があります一貫した流れ方向、永続的なポート識別、およびガス互換のUHPコンポーネントを備えた反復可能なレールに取り付けられたスティックモジュールを使用します。

典型的な用途

半導体プロセス-ガスキャビネットから複数のウェーハ処理ツールへのガス分配LED、太陽光発電、複合半導体の生産ラインで、特殊ガス源を共有エピタキシー、蒸着、エッチング、チャンバークリーンガス分岐分布個別に分離されたツールフィードを必要とする高度な材料およびナノテクノロジーのパイロット施設クリーン製造における高純度窒素、アルゴン、水素または互換性のある特殊ガス流通コンパクトな二次減圧と集中分岐シャットダウンを必要とする研究ファブ

技術的なパラメータ

カタログベースは、アプライドエネルギーシステムSEMI-GASおよびクリティカルシステムのコンパクトな4スティッククラスの壁に取り付けられた4スティック半自動VMBです。代表的なエンクロージャーは、外部排気およびユーティリティ接続の前に、幅約559mm、深さ381mm、高さ1118 mmです。濡れた流路は、電気研磨された316Lステンレス管とダイヤフラムのコンポーネントを使用し、1つの共通の入口と4つの個別に調整された出口を備えています。指定されたガスと施設には、正確な圧力範囲、バルブ作動、パージまたは避難回路、ガス検知器、火災センサー、排気義務、電気供給および通信が選択されます。

コア材料	電気研磨されたAISI 316Lステンレスチューブ、レギュレーター、ダイヤフラムバルブ、および濡れた流路に付属品を備えた溶接炭素鋼エンクロージャー
パネルの厚さ	選択された4スティック構成のための3.0mm公称溶接エンクロージャパネルの厚さ
有効幅	選択された4スティック壁に取り付けられたエンクロージャのための559 mmの代表的な外幅
最大長さ	外部排気接続前の1118 mmの代表的な全体的なエンクロージャの高さ
鋼鉄の厚さを直面する	3.0mm公称粉末コーティングスチールドアと外向きの厚さ
コア密度	AISI 316Lステンレス流路部品のためのおよそ8000 kg/m ³ の代表的な密度
熱伝導率	代表的なAISI 316Lの濡れたコンポーネントの場合、約15 W/(m・K) 20 °C近く
表面仕上げ	ライトグレーのパウダーコーティングされたエンクロージャーに、天然銀の電気研磨された316Lの濡れた表面とクリーン仕上げのシーリングランド
ジョイントタイプ	軌道溶接1/4インチ。または3/8で。UHPチューブ、メタルフェイスシールサービスジョイント、1つの共通インレットと4つの専用アウトレット接続
カスタマイズ	意図したアプリケーションと動作環境に基づいて利用できます。

利用可能なオプション

4スティックゴールド8スティック流通配置マニュアル、半自動または全自動分岐操作分岐固有のレギュレータ範囲、圧力計、スイッチまたはトランスデューサーパージのみ、避難のみ、またはパージと避難の組み合わせ回路通常、共通のインレットと個々のスティックの空気圧緊急バルブを閉じますガス漏れ、UV/IR、温度および排気流モニタリングドライコンタクトI/O、Modbus、または選択された施設通信を備えたローカルタッチスクリーンガス固有シール、フィルター、清浄機、同軸コンセント、ヒートトレーシング

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寸法、設置条件、性能目標、必要な表面仕上げをお送りください。

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