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Sistemas de utilidad de Cleanroom
Caja de válvulas Manifold
Un recinto de distribución de cuatro ramas ventiladas que recibe un suministro de gas de alta pureza, regula y monitorea cada palo de salida y aísla las alimentaciones de herramientas individuales sin apagar las ramas restantes.
- Cuatro palos de salida regulados por presión aislados de forma independiente
- Recinto agotado con cierre de entrada de emergencia común
- Ruta de flujo UHP 316L electropulida con ramas listas para purga
Introducción del producto
La caja de colector de válvula es una estación de distribución de gas secundaria cerrada instalada entre una fuente de gas centralizada y varias herramientas de proceso. La configuración de catálogo seleccionada utiliza un recinto de acero de color gris claro soldado, una puerta de acceso con ventanillas de autoenganche, un collar de escape superior, un conjunto de aislamiento de entrada común y cuatro palos de distribución paralelos. Cada palo contiene un regulador de presión compacto, un manómetro, dos válvulas de cierre de diafragma y una toma de corriente dedicada. Un controlador local monitorea los permisos y puede cerrar la válvula de cierre de emergencia de entrada normalmente cerrada, mientras que el aislamiento de la rama individual permite al operador dar servicio a una herramienta sin molestar a las otras tres. El recinto no contiene ningún cilindro de gas y es distinto de un panel de presión de una sola fuente expuesto, un panel de válvula de colector abierto y un colector de tubo desnudo.
Características clave
El cierre de la rama independiente permite aislar una línea aguas abajo, mientras que las salidas no afectadas permanecen disponibles
Un regulador y un indicador dedicados en cada barra proporcionan una entrega específica de la rama: ajuste e indicación de la presión
Los tubos electropulidos 316L, las válvulas de diafragma y los accesorios de bajo volumen muerto protegen la pureza a través de la división de distribución
Los diseños de palos listos para purga soportan el desplazamiento controlado del gas atrapado antes de que se abra una rama para su mantenimiento
Una válvula de cierre de emergencia de entrada normalmente cerrada proporciona un punto de aislamiento definido para la respuesta de alarma local o remota
La ventana de seguridad clara permite controles de estado de funcionamiento sin abrir el recinto agotado
Los palos modulares montados en riel simplifican el reemplazo de ramas, los cambios de capacidad y la selección de componentes específicos de gas
Soluciones para su aplicación
Una caja de colector debe preservar la pureza del gas y la independencia de la rama mientras coordina el escape del recinto, el control de presión, el enrutamiento de purga y el aislamiento de emergencia con los requisitos reales de la fuente y la herramienta.
Cerrar la fuente de gas central para dar servicio a una rama de herramienta puede interrumpir cada proceso conectado a esa fuenteProporcione un aislamiento dedicado aguas arriba y aguas abajo en cada barra de distribución para que la rama afectada pueda asegurarse sin cerrar las otras tomas calificadas.
Una sola configuración de presión puede no cumplir las diferentes condiciones de entrega requeridas por cuatro herramientas posterioresSeleccione un rango de regulador individual e indicador de presión para cada palo, luego encargue cada salida a su demanda normal de herramientas.
La apertura de una rama contaminada puede liberar gas residual o introducir humedad en el encabezado UHP compartidoAisle la rama tanto de la entrada común como de la línea de herramientas, luego use su ruta de purga o evacuación compatible antes de romper una conexión.
Una fuga dentro de un recinto de distribución sin ventilación puede acumularse alrededor de Múltiples articulaciones vivasUse una configuración de VMB continuamente agotada con flujo de aire monitoreado y enrute el escape al sistema de manejo de la instalación seleccionado para el peligro de gas.
Es posible que una alarma local no aísle la fuente común lo suficientemente rápido como para proteger las cuatro barras de salidaAte la válvula de cierre de emergencia de entrada normalmente cerrada al controlador local, la señal de emergencia externa y las alarmas de gas o escape seleccionadas.
Las adiciones de ramas pueden crear estándares de componentes mixtos, volumen muerto excesivo o secuenciación de válvulas poco claraUtilice módulos de palanca repetibles montados en rieles con una dirección de flujo constante, identificación de puertos permanentes y componentes UHP compatibles con gas.
Aplicaciones típicas
Proceso de semiconductores: distribución de gas desde un gabinete de gas a múltiples herramientas de procesamiento de obleasLíneas de producción de LED, fotovoltaicas y semiconductores compuestos con fuentes compartidas de gas especialesEpitaxy, deposición, grabado y distribución de ramas de gas limpio en cámaraInstalaciones piloto de material avanzado y nanotecnología que requieren alimentaciones de herramientas aisladas por separadoNitrógeno de alta pureza, argón, hidrógeno o distribución de gas especial compatible en la fabricación limpiaInvestigación de fábricas que necesitan reducción de presión secundaria compacta y apagado centralizado de la rama
Parámetros técnicos
La base del catálogo es un VMB semiautomático de cuatro palos montado en la pared en la clase de cuatro palos compactos Applied Energy Systems SEMI-GAS y Critical Systems. Un recinto representativo tiene aproximadamente 559 mm de ancho, 381 mm de profundidad y 1118 mm de alto antes de las conexiones externas de escape y servicios públicos. La trayectoria de flujo humedecida utiliza tubos de acero inoxidable 316L electropulidos y componentes de diafragma, con una entrada común y cuatro salidas reguladas por separado. El rango de presión exacto, la activación de la válvula, el circuito de purga o evacuación, el detector de gas, el sensor de fuego, el Servicio de escape, el suministro eléctrico y las comunicaciones se seleccionan para el gas y la instalación nombrados.
| Materiales Core | Carcasa de acero al carbono soldada con tubo inoxidable AISI 316L electropulido, reguladores, válvulas de diafragma y accesorios en la trayectoria de flujo mojado |
|---|---|
| Panel de espesor | Grosor nominal del panel de carcasa soldada de 3,0mm para la configuración de cuatro palos seleccionada |
| Ancho efectivo | Anchura externa representativa de 559 mm para el recinto montado en la pared de cuatro palos seleccionado |
| Longitud máxima | 1118 mm altura global representativa del recinto antes de la conexión de escape externa |
| Acero frente a espesor | Puerta de acero revestida en polvo nominal de 3,0mm y espesor frontal externo |
| Densidad Core | Densidad representativa de aproximadamente 8000 kg/m³ para los componentes de la trayectoria de flujo inoxidable AISI 316L |
| Conductividad térmica | Aproximadamente 15 W/(m · K) cerca de 20 °C para componentes humedecidos representativos AISI 316L |
| Superficie acabada | Recubrimiento de polvo gris claro con superficies humedecidas de 316L electropulidas de plata natural y terrenos de sellado de acabado limpio |
| Tipo conjunto | 1/4 soldados orbitales en. O 3/8. Tubería UHP con juntas de servicio de sellado facial de metal, una entrada común y cuatro conexiones de salida dedicadas |
| Customization | Disponible según la aplicación prevista y el entorno operativo. |
Opciones disponibles
Arreglos de distribución de cuatro o ocho palosOperación manual, semiautomática o completamente automática de la ramaRangos de reguladores específicos de Rama, manómetros, interruptores o transductoresCircuitos de purga y evacuación solo de purga, solo de evacuación o combinadosVálvulas DE EMERGENCIA neumáticas normalmente cerradas en la entrada común y palos individualesFuga de gas, UV/IR, monitoreo de temperatura y flujo de escapeLocal touchscreen with dry-contact I/O, Modbus or selected facility communicationGas-specific seals, filters, purifiers, coaxial outlets and heat tracing
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