Tiếng Anh
Tiếng Đức, tiếng Đức
Tiếng Ả Rập, tiếng Ả Rập
Tiếng Pháp, tiếng Pháp
Tiếng Indonesia (tiếng Việt)
Tiếng Nhật
Tiếng Hàn / tiếng Hàn
Tiếng Mã Lai
Tiếng Bồ Đào Nha, tiếng Bồ Đào Nha
Tiếng Nga, tiếng Nga
Tiếng Tây Ban Nha, tiếng Tây Ban Nha
Tiếng Thái (tiếng Thái)
Tiếng Thổ Nhĩ Kỳ, tiếng Thổ Nhĩ Kỳ
Tiếng Việt / tiếng ViệtHiện tại
Improved carrier buffering
The third port allows another lot to queue while source and destination positions remain active.
STJH-SEMICONDUCTOR-MINI-ENVIRONMENT-3PORT
Semiconductor Mini-Environment Three-Load-Port
A medium-throughput three-port EFEM adding a queued carrier position without moving to the largest front-end width.
- Three carrier load ports
- Additional queued carrier position
- Manual, AGV or OHT loading
Giới thiệu Sản phẩm
The three-load-port arrangement adds a carrier buffer beyond a basic two-port front end while retaining one localized ultra-clean robotic transfer zone. An atmospheric robot and aligner manage wafers between carriers and the process tool. Ports can be served manually or by AGV/OHT automation, making this layout suitable for medium-throughput equipment.
Các tính năng chính
Automation flexibility
The port face can support manual carts or factory AGV/OHT delivery.
Localized clean transfer
Filtered mini-environment airflow protects wafers during alignment and atmospheric robot moves.
Thông số kỹ thuật
| Load Ports | Three |
|---|---|
| Environment | Localized positive ultra-clean zone |
| Wafer Handling | Atmospheric robot |
| Aligner | Integrated |
| Carrier Interface | SEMI-compatible |
| Loading Modes | Manual, AGV or OHT |
| Buffer Capacity | One additional queued carrier over two-port layout |
| Transfer Direction | Horizontal robotic |
| Typical Throughput | Medium tool-front staging |
| Tùy chỉnh | Có sẵn dựa trên ứng dụng dự định và môi trường hoạt động. |
Applications
For medium-throughput wafer tools that benefit from an extra queued FOUP. Factory transport interface and robot scheduling should be resolved before freezing port spacing.
Solutions for Your Application
Các tùy chọn có sẵn
Choose carrier ID, ionizers, aligner, automation type, robot reach and port pitch. Tool communication can be integrated with the factory control scheme.
Planning a Semiconductor Mini-Environment Three-Load-Port specification?
Gửi cho chúng tôi kích thước của bạn, điều kiện lắp đặt, mục tiêu hiệu suất và bề mặt yêu cầu hoàn thiện.
