Nhà cung cấp một cửa của bạn cho thiết bị phòng sạch và thiết bị vô trùng cơ sở thiết yếuHỗ trợ dự án quốc tế
Open mobile navigationClose mobile navigation
Hệ thống tiện ích phòng sạch

Tủ khí đặc biệt

Một tủ phân phối xi lanh đơn cạn kiệt kết hợp ngăn chặn cục bộ, ống góp có độ tinh khiết cực cao 316L được đánh bóng điện, logic thanh lọc tự động, cách ly khẩn cấp, giám sát áp suất và Khóa liên động cơ sở để cung cấp khí đốt đặc biệt có kiểm soát.
  • Vỏ bọc áp suất âm cho một quá trình-Xi lanh khí
  • Đường dẫn dòng chảy 316L UHP được đánh bóng bằng điện với khớp Bịt Kín Mặt
  • PLC/HMI thanh lọc Trình Tự, báo động và tắt khẩn cấp
Yêu cầu báo giá Duyệt các sản phẩm

Giới thiệu Sản phẩm

The Specialty Gas Cabinet is an active source enclosure for supplying one hazardous or high-purity cylinder to a clean process line. The selected catalogue configuration uses one tall welded light-gray steel cabinet, one secured 47-50 L-class process cylinder, one compact 316L electropolished pressure-control and purge manifold, one flexible cylinder connection, one process outlet, one purge inlet, one top exhaust collar, one local HMI, one three-color beacon and one red emergency-stop control. Normal operation keeps the enclosure connected to facility exhaust while the manifold reduces cylinder pressure, supports evacuation or inert-gas purge sequences and isolates the source when an alarm or external interlock demands shutdown. This is not a passive cylinder storage cupboard, a bare gas panel, a multi-branch valve manifold box or a point-of-use regulator.

Các tính năng chính

Một vỏ hàn liên tục cạn kiệt chứa kết nối xi lanh và bảng điều khiển khí trong một ranh giới nguồn nhỏ gọn

Ống không gỉ 316L được đánh bóng bằng điện, van màng và phụ kiện bịt kín mặt hỗ trợ đường dẫn quá trình siêu tinh khiết khối lượng chết thấp

Chuỗi thanh lọc và sơ tán tự động làm giảm khí quá trình dư trước khi ngắt kết nối hoặc bảo trì xi lanh

Chức năng cách ly nguồn thường đóng có thể phản ứng với dừng khẩn cấp, phát hiện khí, mất Lưu lượng khí thải hoặc Khóa liên động của thiết bị từ xa

Dụng cụ áp suất cục bộ và trạng thái HMI giúp người vận hành xác nhận các điều kiện về xi lanh, phân phối và thanh lọc trước khi tiến hành một chuỗi

Đầu ra quy trình chuyên dụng và đầu vào thanh lọc giữ cho đường dẫn khí được phân phối khác với nguồn cung cấp thanh lọc trơ

Hạn chế xi lanh và vùng kết nối có thể truy cập hỗ trợ thay đổi có kiểm soát mà không cần tháo ống góp bên trong

Thông tin liên lạc có thể lựa chọn có thể báo cáo báo động, trạng thái hoạt động và trạng thái cho phép đến hệ thống giám sát cơ sở

Các giải pháp cho ứng dụng của bạn

Tủ gas chỉ hiệu quả khi đường dẫn dòng khí cụ thể, trình tự thanh lọc, Nhiệm Vụ xả và giao diện tắt máy được chọn là một hệ thống nguồn phối hợp.

Một tủ thụ động có thể chứa một xi lanh nhưng không cung cấp đường dẫn phân phối UHP được kiểm soát hoặc cách ly nguồn tự độngSử dụng tủ phân phối tích hợp với bộ điều chỉnh tương thích với khí, van màng, giám sát áp suất và ngắt nguồn thường đóng gắn liền với logic an toàn.
Khí độc hại còn sót lại trong đuôi lợn hoặc bộ điều chỉnh có thể làm lộ nhân viên trong quá trình thay đổi xi lanhÁp dụng một chuỗi thanh lọc và sơ tán đã được xác nhận để quay vòng âm lượng kết nối bị cô lập với nguồn thanh lọc trơ đã chọn trước khi mở khớp nối.
Mất khí thải có thể cho phép khí rò rỉ thoát ra khỏi vỏ thay vì được mang đến hệ thống xử lýTheo dõi lưu lượng khí thải của tủ hoặc áp suất vi sai và quá trình Khóa liên động-Cách ly khí khi không có luồng khí ngăn chặn cần thiết.
Vật liệu bịt kín, Bộ điều chỉnh hoặc van sai có thể ăn mòn, thấm hoặc làm nhiễm bẩn dòng khí có độ tinh khiết cao phản ứngChọn hợp kim ướt, vật liệu ghế, bề mặt hoàn thiện và kết nối xi lanh đặc biệt cho yêu cầu khí, áp suất và độ tinh khiết được đặt tên.
Vận hành van thủ công theo thứ tự sai có thể tạo áp lực cho đường thông hơi hoặc đưa khí thanh lọc vào dây chuyền Xử lýSử dụng các điều kiện cho phép và xác nhận trình tự do PLC quản lý để ngăn chặn các trạng thái van không tương thích và kiểm tra các điều kiện áp suất giữa các bước.
Hệ thống báo động tại chỗ có thể bị bỏ sót nếu nguồn được lắp đặt trong phòng khí ở vị trí xa hoặc trong khu vực phụ.Kết nối báo động thông thường, tắt khẩn cấp và tín hiệu trạng thái hoạt động với hệ thống cơ sở thông qua I/O cứng hoặc giao diện liên lạc được chọn.

Các ứng dụng điển hình

Lắng đọng bán dẫn, Etch, cấy ghép và cung cấp khí sạch buồngChế biến Wafer phức hợp bán dẫn và quang điện tửSản xuất pin quang điện sử dụng khí đặc biệt được kiểm soátMàn hình phẳng và quy trình vi điện tử-Phân phối khíCác cơ sở nghiên cứu về MEMS, công nghệ nano và vật liệu tiên tiếnPhòng thí nghiệm sạch yêu cầu cung cấp khí xi lanh độc hại, ăn mòn, dễ cháy hoặc pyrophoric

Thông số kỹ thuật

Cơ sở của danh mục là một tủ phân phối UHP đơn xi-lanh, được xả hoàn toàn, thuộc dòng tủ đơn CSI và SDC FlexGas. Một bao che tiêu biểu có kích thước khoảng 460mm chiều rộng, 480mm chiều sâu và 1930mm chiều cao trước khi lắp đặt các đường ống dẫn và hệ thống tiện ích tại công trường. Đường dẫn khí tiếp xúc với chất lỏng sử dụng ống thép không gỉ 316L được đánh bóng điện hóa, cùng các bộ phận màng ngăn có mối hàn quỹ đạo và các khớp nối mặt kín bằng kim loại. Áp suất xi lanh, áp suất phân phối, trạng thái thanh lọc và chất lỏng trong tủ được theo dõi tại địa phương; phạm vi điều chỉnh chính xác, vật liệu ghế van, đầu nối xi lanh, phương pháp thanh lọc, cổ xả, máy dò, giao diện phun nước, cung cấp điện và thông tin liên lạc được chọn cho dịch vụ gas thực tế.

Vật liệu lõiVỏ ngăn bằng thép cacbon hàn với ống ướt không gỉ AISI 316L được đánh bóng bằng điện, van màng và các bộ phận điều khiển áp suất
Độ dày bảng điều khiểnĐộ dày tấm bao vây Hàn danh nghĩa 1.5mm
Chiều rộng hiệu quảChiều rộng ngoài danh nghĩa 460 mm cho cấu hình xi lanh đơn đã chọn
Chiều dài tối đaChiều cao tổng thể của tủ danh nghĩa 1930 mm trước khi kết nối ống xả bên ngoài
Thép đối mặt với độ dàyLớp phủ bề mặt ngoài bằng thép carbon sơn tĩnh điện, độ dày danh nghĩa 1,5mm
Mật độ lõiMật độ đại diện khoảng 8000 kg/m³ cho các thành phần ống góp không gỉ AISI 316L
Độ dẫn nhiệtKhoảng 15 W/(m · K) gần 20 ° C cho các bộ phận ướt AISI 316L đại diện
Kết thúc bề mặtVỏ bọc sơn tĩnh điện màu xám nhạt; bề mặt được làm ướt bằng bạc 316L tự nhiên được đánh bóng bằng điện và mặt bịt kín hoàn thiện sạch sẽ
Loại khớp nốiỐng UHP 1/4 inch được hàn bằng quỹ đạo với các đầu nối bịt kín mặt bằng kim loại, phụ kiện xi lanh dành riêng cho khí, đầu vào và đầu ra xử lý chuyên dụng
Tùy chỉnhCó sẵn dựa trên ứng dụng dự định và môi trường hoạt động.

Các tùy chọn có sẵn

Sắp xếp một xi lanh hoặc quá trình cộng với thanh lọc xi lanhTrình tự thanh lọc và phân phối thủ công, bán tự động hoặc hoàn toàn tự độngCấu hình chuyển đổi tự động một nguồn hoặc hai nguồnBộ điều chỉnh khí cụ thể, van màng, con dấu và đầu nối xi lanhTích hợp phát hiện khí, công tắc dòng khí thải, cảm biến nhiệt độ hoặc giao diện phun nướcCân xi lanh, báo động áp suất nguồn thấp và tắt áp suất giao hàng caoLocal HMI with hardwired I/O, Modbus, Ethernet or selected facility communicationUHP outlet filter, purifier, vacuum-generator connection or remote purge panel

Planning a Specialty Gas Cabinet specification?

Gửi cho chúng tôi kích thước của bạn, điều kiện lắp đặt, mục tiêu hiệu suất và bề mặt yêu cầu hoàn thiện.

Nói chuyện với đội ngũ của chúng tôi
Email cho chúng tôi WhatsApp WeChat

Home >

Sản phẩm

Tin tức

Về chúng tôi

Liên hệ với chúng tôi