İngilizce
Portekizce
İspanyolca
Malay dilinde
Endonezya dilinde
Almanca
TürkçeCurrent
Vietnamca
Fransızca
Rusça
Arapça
Taylandca
Japonca
Korece
Temiz Oda Hizmet Sistemi
Özel Gaz Kabine
An exhausted single-cylinder delivery cabinet that combines local containment, an electropolished 316L ultra-high-purity manifold, automatic purge logic, emergency isolation, pressure monitoring and facility interlocks for controlled specialty-gas supply.
- Negative-pressure enclosure for one process-gas cylinder
- Electropolished 316L UHP flow path with face-seal joints
- PLC/HMI temizleme sıralaması, alarmlar ve acil kapatma
Ürün tanıtımı
The Specialty Gas Cabinet is an active source enclosure for supplying one hazardous or high-purity cylinder to a clean process line. The selected catalogue configuration uses one tall welded light-gray steel cabinet, one secured 47-50 L-class process cylinder, one compact 316L electropolished pressure-control and purge manifold, one flexible cylinder connection, one process outlet, one purge inlet, one top exhaust collar, one local HMI, one three-color beacon and one red emergency-stop control. Normal operation keeps the enclosure connected to facility exhaust while the manifold reduces cylinder pressure, supports evacuation or inert-gas purge sequences and isolates the source when an alarm or external interlock demands shutdown. This is not a passive cylinder storage cupboard, a bare gas panel, a multi-branch valve manifold box or a point-of-use regulator.
Ana Özellikler
Elektrocilalı 316L paslanmaz boru, diyaframlı vanalar ve yüz contalı bağlantı parçaları, düşük ölü hacimli ultra yüksek saflıkta bir işlem yolunu destekler
Otomatik temizleme ve tahliye dizileri, silindir kopukluğundan veya bakımdan önce artık işlem gazını azaltır
Normalde kapalı bir kaynak izolasyon fonksiyonu acil durdurma, gaz algılama, egzoz akış kaybı veya uzaktan tesis kilitleme yanıt verebilir
Yerel basınç aletleri ve HMI durumu, operatörlerin bir dizi ilerlemeden önce silindir, teslimat ve temizleme koşullarını onaylamasına yardımcı olur
Özel bir proses çıkışı ve temizleme girişi, teslim edilen gaz yolunu inert tasfiye kaynağından farklı tutar
Silindir kısıtlaması ve erişilebilir bir bağlantı bölgesi desteği, dahili manifoldunu çıkarmadan kontrollü değişim
Seçilebilir iletişim, tesis izleme sistemine alarm, çalışma durumu ve izin durumu bildirebilir
Uygulamanız için çözümler
Bir gaz kabini sadece gaza özgü akış yolu, temizleme sırası, egzoz görevi ve kapatma arayüzleri tek bir koordineli kaynak sistemi olarak seçildiğinde etkilidir.
Pasif bir kabin bir silindir tutabilir, ancak kontrollü bir UHP teslimat yolu veya otomatik kaynak izolasyonu sağlamazUse an integrated delivery cabinet with a gas-compatible regulator, diaphragm valves, pressure monitoring and a normally closed source shutoff tied to the safety logic.
Bir pigtail veya regülatördeki artık tehlikeli gaz, silindir değişimi sırasında personeli açığa çıkarabilirUydurma açılmadan önce seçilen inert temizleme kaynağı ile izole bağlantı hacmini döndüren doğrulanmış bir boşaltma ve tahliye sırası uygulayın.
Egzoz kaybı, sızan gazın arıtma sistemine taşınması yerine muhafazadan kaçmasına izin verebilirGerekli muhafaza hava akımı mevcut olmadığında kabin egzoz akışı veya diferansiyel basınç ve kilitleme işlemi-gaz izolasyonu izleyin.
Yanlış conta, regülatör veya valf malzemesi reaktif yüksek saflıkta bir gaz akışını aşındırabilir, nüfuz edebilir veya kirletebilirÖzellikle adlandırılmış gaz, basınç ve saflık gereksinimi için ıslanan alaşımları, koltuk malzemelerini, yüzey kaplamasını ve silindir bağlantısını seçin.
Yanlış sırayla manuel valf çalışması, bir havalandırma yolunu basınçlandırabilir veya temizleme gazını işlem hattına tanıtabilirUse PLC-managed permissives and sequence confirmation so incompatible valve states are prevented and pressure conditions are checked between steps.
A local cabinet alarm may be missed when the source is installed in a remote gas room or sub-fabKablolu I/O veya seçilen iletişim arayüzü ile ortak alarm, acil kapatma ve çalışma durumu sinyallerini tesis sistemine bağlayın.
Tipik uygulamalar
Semiconductor deposition, etch, implant and chamber-clean gas supplyCompound-semiconductor and optoelectronic wafer processingKontrollü özel gazlar kullanarak fotovoltaik hücre üretimiFlat-panel display and microelectronics process-gas distributionMEMS, nanoteknoloji ve gelişmiş malzeme araştırma tesisleriClean laboratories requiring contained delivery of toxic, corrosive, flammable or pyrophoric cylinder gases
Teknik parametreler
The catalogue basis is one single-cylinder, fully exhausted UHP delivery cabinet in the CSI single-cabinet and SDC FlexGas class. A representative envelope is approximately 460 mm wide by 480 mm deep by 1930 mm high before site duct and utility connections. The wetted gas path uses 316L electropolished tubing and diaphragm components with orbital welds and metal face-seal joints. Cylinder pressure, delivery pressure, purge state and cabinet permissives are monitored locally; exact regulator range, valve-seat material, cylinder connector, purge method, exhaust collar, detector, sprinkler interface, electrical supply and communications are selected for the actual gas service.
| Temel malzemeler | Welded carbon-steel containment enclosure with electropolished AISI 316L stainless wetted tubing, diaphragm valves and pressure-control components |
|---|---|
| Panel kalınlığı | 1.5 mm nominal welded enclosure panel thickness |
| Effective Width (Etkili Genişlik) | 460 mm nominal external width for the selected single-cylinder configuration |
| Maksimum uzunluk | 1930 mm nominal overall cabinet height before the external exhaust connection |
| Çelik yüz yüze kalınlığı | 1.5 mm nominal powder-coated carbon-steel external facing |
| Core Density (Çekirdek Yoğunluğu) | Approximately 8000 kg/m³ representative density for AISI 316L stainless manifold components |
| Termal İletkenlik | Temsilci AISI 316L ıslanan bileşenler için 20 ° c'ye yakın yaklaşık 15 W/(m · K) |
| Yüzey bitirme | Light-gray powder-coated enclosure; electropolished natural-silver 316L wetted surfaces and clean-finished face-seal lands |
| Ortak tip | Orbital-welded 1/4-inch UHP tubing with metal face-seal connections, a gas-specific cylinder fitting, dedicated purge inlet and process outlet |
| Customization (Özelleşme) | Kullanılan uygulama ve çalışma ortamına göre kullanılabilir. |
Mevcut Seçenekler
One-process-cylinder or process-plus-purge-cylinder arrangementManual, semi-automatic or fully automatic purge and delivery sequenceSingle-source or dual-source automatic changeover configurationGas-specific regulator, diaphragm-valve, seal and cylinder-connector selectionIntegrated gas detection, exhaust-flow switch, temperature sensor or sprinkler interfaceCylinder scale, low-source-pressure alarm and high-delivery-pressure shutdownLocal HMI with hardwired I/O, Modbus, Ethernet or selected facility communicationUHP outlet filter, purifier, vacuum-generator connection or remote purge panel
Planning a Specialty Gas Cabinet specification?
Bize boyutlarınızı, montaj koşullarınızı, performans hedeflerinizi ve gerekli yüzey kaplamalarınızı gönderin.
