ภาษาอังกฤษ
ภาษาโปรตุเกส
ภาษาสเปน
ภาษามาเลย์
ภาษาอินโดนีเซีย
ภาษาเยอรมัน
ภาษาตุรกี
ภาษาเวียดนาม
ฝรั่งเศส
ภาษารัสเซีย
ภาษาอาหรับ
ภาษาไทยปัจจุบัน
ภาษาญี่ปุ่น
ภาษาเกาหลี
การจัดการและจัดเก็บวัสดุในห้องสะอาด
รถเข็นขนส่ง FOUP
รถเข็นขนส่ง FOUP สแตนเลสสองระดับพร้อมเสื่อชั้นวาง dissipative แบบคงที่มืดหมุดระบุตำแหน่งสามเหลี่ยมหิ้งยึดยกล้อนำไฟฟ้าและโซ่สายดิน
- ตัวระบุตำแหน่งสามจุดวางตำแหน่งแต่ละ300มม. FOUP อย่างสม่ำเสมอบนชั้นวาง
- เสื่อกระจายแบบคงที่และตัวเลือกการต่อสายดินรองรับการควบคุมการชาร์จ
- ยกหิ้งสามด้านเก็บผู้ให้บริการภายในรอยเท้ารถเข็นในระหว่างการเคลื่อนไหว
การแนะนําสินค้า
รถเข็นขนส่ง FOUP มีความคล่องตัวแบบแมนนวลเฉพาะสำหรับผู้ให้บริการเวเฟอร์ขนาด300มม. แบบปิดระหว่างกระบวนการเซมิคอนดักเตอร์และจุดจัดเก็บชั้นวางสแตนเลสที่เป็นของแข็งแต่ละชั้นมีแผ่นรองแบบคงที่และรูปแบบตัวระบุตำแหน่งสามขาที่สอดคล้องกับฐานผู้ให้บริการสามยกชั้นวางขอบปกป้องโหลดซองจดหมาย, ในขณะที่เปิดด้านหน้าสนับสนุนโดยตรงตำแหน่งและดึง. กรอบเชื่อมที่จับแบบบูรณาการและฮาร์ดแวร์กลิ้งนำไฟฟ้าถูกเลือกสำหรับการเคลื่อนไหวคลีนรูมควบคุม
คุณสมบัติที่สําคัญ
หมุดระบุตำแหน่งสามตัวบนชั้นวางแต่ละชั้นสร้างทิศทางของผู้ให้บริการที่ทำซ้ำได้
เสื่อ ESD สีเข้มรองรับฐานและให้พื้นผิวสัมผัสที่ควบคุมได้
ขอบด้านหลังและด้านข้างที่ยกขึ้นจะต้านทานการโยกย้ายของผู้ให้บริการโดยไม่ขัดขวางการโหลดด้านหน้า
ล้อนำไฟฟ้าและโซ่กราวด์ให้เส้นทางการกระจายค่าใช้จ่ายที่กำหนดค่าได้
โซลูชันสำหรับแอปพลิเคชันของคุณ
รถเข็นทั่วไปไม่ได้อยู่ในเชิงบวกหาฐาน FOUP ช่วยให้ผู้ให้บริการที่จะเปลี่ยนในระหว่างการเปลี่ยนและอาจสะสมค่าใช้จ่ายภายใต้เปลือกเวเฟอร์ที่มีความสำคัญ
ผู้ให้บริการวางแนวบนชั้นวางรูปแบบตัวระบุตำแหน่งสามจุดที่กำหนดจะสร้างทิศทางที่ทำซ้ำได้
เลื่อนระหว่างการเร่งความเร็วเสื่อกระจายแบบคงที่และหิ้งยกสามชั้นช่วยรักษารอยเท้าของผู้ให้บริการ
การสะสมของประจุไฟฟ้าสถิตล้อนำไฟฟ้าโครงยึดและโซ่กราวด์สร้างเส้นทางการกระจายที่กำหนดไว้
อุปกรณ์ทำความสะอาดรอบหลวมเสื่อสามารถถอดออกได้และกรอบสแตนเลสเชื่อมเผยให้เห็นพื้นผิวเช็ดลงที่สามารถเข้าถึงได้
การใช้งานทั่วไป
การเคลื่อนไหวด้วยตนเองและการจัดเก็บชั่วคราวของ300mm foups หรือผู้ให้บริการเวเฟอร์เปิดด้านหน้าที่เข้ากันได้ที่พอร์ตโหลดสถานี metrology, อินเตอร์เฟซ Stocker และเซมิคอนดักเตอร์คลีนรูมเซลล์ทำงาน
พารามิเตอร์ทางเทคนิค
พิกัด Locator-Pin ต้องตรงกับอินเตอร์เฟซด้านล่างของ FOUP เป้าหมายเพื่อให้ผู้ให้บริการวางอยู่บนคุณสมบัติการสนับสนุนที่ตั้งใจไว้มากกว่าบนเปลือกความแข็งของชั้นวางความหนาของเสื่อและการกวาดล้างหิ้งจะถูกเลือกรอบมวลโหลดและการเข้าถึงผู้ประกอบการโครงสแตนเลสถ่ายโอนชั้นวางไปยังล้อเลื่อนสี่มุม
| วัสดุหลัก | โครงสแตนเลส304หรือ316L พร้อมชั้นวางโพลีเมอร์แบบกระจายไฟฟ้าสถิต |
|---|---|
| ความหนาของแผง | 1.2-2.0mm ของแข็งสแตนเลสชั้นวางกระทะ |
| ความกว้างที่มีประสิทธิภาพ | ความกว้างของชั้นวางที่ใช้งานได้420-650มม. |
| ความยาวสูงสุด | ความยาวรถเข็นโดยรวมสูงสุด900มม. |
| ความหนาของเหล็กหันหน้า | 1.2-2.0mm สัมผัสพื้นผิวชั้นวางสแตนเลส |
| ความหนาแน่นหลัก | 7900-8000 kg /m³ ความหนาแน่นของสแตนเลสที่ระบุ |
| การนําความร้อน | ประมาณ 14.6-16.2 W / (m·K) ที่อุณหภูมิห้อง |
| เสร็จสิ้นพื้นผิว | สแตนเลสขัดเงาหรือขัดเงาด้วยไฟฟ้าพร้อมเสื่อ ESD แบบถอดได้ |
| ประเภทร่วม | โครงท่อสี่เหลี่ยมที่เชื่อมอย่างต่อเนื่องพร้อมชั้นวางที่มั่นคงชุดตัวระบุตำแหน่งสามจุดและลูกล้อหมุน |
| การปรับแต่ง | สามารถใช้ได้ตามแอปพลิเคชันที่ตั้งใจไว้และสภาพแวดล้อมการทํางาน |
ตัวเลือกที่มีอยู่
สแตนเลส304หรือ316L, ระดับ FOUP หนึ่งหรือสองระดับ, รูปแบบตัวระบุตำแหน่งเฉพาะของผู้ให้บริการ, แผ่น ESD แบบถอดเปลี่ยนได้, ล้อนำไฟฟ้า, โซ่กราวด์, ล้อสปริงโหลด, เบรกจอดรถ, ผู้ถือ RFID และป้องกันด้านหน้ายับยั้งชั่งใจ
การวางแผนข้อกำหนดรถเข็นขนส่ง FOUP?
ส่งมิติของคุณเงื่อนไขการติดตั้งเป้าหมายประสิทธิภาพและผิวที่ต้องการ
