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클린룸 AHUs: 온도, 습도 및 실 압력 관리

기술 기사2026-08-18 13:13:250 보기
클린 룸 지식

클린룸 AHUs: 온도, 습도 및 실 압력 관리

클린 룸 공기 처리 장치는 여과 된 공기 공급, 온도 제어, 습도 제어, 실내 압력 및 공정을위한 충분한 공기 흐름과 같은 여러 조건을 동시에 지원해야합니다. AHU를 일반적인 편안한 에어컨으로 취급하면 기계 시스템과 클린 룸 성능 사이에 틈이 생길 수 있습니다.

청정실 공기 처리가 다른 이유

사람, 조명 및 생산 장비는 열과 습기를 추가합니다. 배기 시스템은 컨디셔닝 된 공기를 제거합니다. 도어 개구부 및 누설 경로는 압력에 영향을 미칩니다. 필터는로드 될 때 변화하는 저항을 추가합니다. AHU 및 그 제어는 실내 온도 설정점만을 유지하기보다는 이러한 연결된 부하에 응답해야 한다.

Modular cleanroom air handling unit with service sections open
필터, 코일, 팬 및 컨트롤은 하나의 조정 된 공기 처리 시스템으로 선택해야합니다.

전형적인 기능 섹션

모듈식 유닛은 사전 여과, 냉각 또는 가열 코일, 수분 제어 부품, 팬 섹션, 최종 여과 및 소리 또는 진동 처리를 포함할 수 있다. 최종 배치는 실외 조건, 리턴 에어 전략, 프로세스 배기, 청결 목표 및 중복 요구 사항에 따라 다릅니다.

압력은 시스템 결과입니다.

실내 압력은 공급, 리턴, 배기 및 누출 사이의 균형에 의해 생성됩니다. 따라서 안정적인 압력은 적절한 팬 제어, 정확한 댐퍼, 깨끗한 실내 압력 캐스케이드 및 일관되게 밀봉되는 도어를 필요로합니다. 압력 디스플레이만으로는 불균형 공기 시스템을 수정할 수 없습니다.

Cleanroom corridor with air ducts and environmental pressure monitoring
AHU, 덕트, 센서, 문 및 실내 봉투는 공동으로 환경 안정성을 결정합니다.

일반적인 조정 문제

  • 공정 배기 또는 향후 장비 열 부하에 대한 불충분 한 허용.
  • 실용적인 서비스 허가없이 배치 된 코일 및 필터.
  • 합의 된 일련의 작업없이 별도로 구매 한 컨트롤.
  • 부적절한 표면 온도 또는 절연 세부 사항으로 인한 응축 위험.
  • 완전한 시스템 저항없이 선택된 팬 용량.

유용한 제안에 필요한 정보

공간 치수, 점유, 공정 열 및 수분 부하, 실외 설계 조건, 배기 부피, 원하는 환경 범위, 압력 캐스케이드, 여과 단계, 전원 공급 장치 및 서비스 가능한 공간을 공유하십시오. 최종 성능은 완전한 HVAC 설계에서 확인되어야합니다.

탐색 클린 룸 HVAC 및 공기 처리 장비또는 방을 보내고 데이터를 처리하십시오. 장비 조정을 위해.

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