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クリーンルームニュースと洞察

クリーンルーム AHU : 温度、湿度、室圧の管理

技術的な記事2026-08-18 13:13:250 ビュー
クリーンルームの知識

クリーンルーム AHU : 温度、湿度、室圧の管理

クリーンルームのエアハンドリングユニットは、ろ過された空気供給、温度制御、湿度制御、室内圧力、およびプロセスに十分な気流など、いくつかの条件を同時にサポートする必要があります。AHUを通常の快適なエアコンとして扱うと、機械システムとクリーンルームのパフォーマンスの間にギャップが残る可能性があります。

クリーンルームの空気処理が異なる理由

人、照明、生産設備は熱と湿気を追加します。排気システムは、コンディショニングされた空気を除去する。ドアの開口部と漏れ経路は圧力に影響します。フィルターは、ロードすると変化する抵抗を追加します。AHUとその制御は、室温の設定点を維持するだけでなく、これらの接続された負荷に応答する必要があります。

Modular cleanroom air handling unit with service sections open
フィルター、コイル、ファン、およびコントロールは、1つの調整された空気処理システムとして選択する必要があります。

典型的な機能セクション

モジュラーユニットには、前ろ過、冷却または加熱コイル、水分制御コンポーネント、ファンセクション、最終ろ過、および音または振動処理が含まれる場合があります。最終的な取り決めは、屋外条件、リターンエア戦略、プロセス排気、清潔さの目標、および冗長性の要件によって異なります。

圧力はシステム结果です

部屋の圧力は、供給、戻り、排気、漏れのバランスによって作成されます。したがって、安定した圧力には、適切なファン制御、正確なダンパー、クリアな室内圧力カスケード、および一貫して密閉されるドアが必要です。圧力ディスプレイだけでは、不均衡な空気システムを修正できません。

Cleanroom corridor with air ducts and environmental pressure monitoring
AHU、ダクト、センサー、ドア、部屋のエンベロープが共同で環境の安定性を決定します。

一般的な調整の問題

  • プロセス排気または将来の機器の熱負荷に対する十分な許容量がありません。
  • 実用的なサービスクリアランスなしで配置されたコイルとフィルター。
  • 合意された一連の操作なしに個別に購入されたコントロール。
  • 不適切な表面温度または断熱材の詳細による凝縮のリスク。
  • 完全なシステム抵抗なしで選ばれるファン容量。

有用な提案に必要な情報

部屋の寸法、占有率、プロセス熱と水分の負荷、屋外の設計条件、排気量、目的の環境範囲、圧力カスケード、ろ過ステージ、電源、およびサービスに利用できるスペースを共有します。最終的な性能は完全なHVAC設計から確認されるべきです。

探検する クリーンルームHVACおよび空気処理装置、または 部屋を送ってデータを処理する 装置の調整のため。

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