Cleanroom wet bench complete three-quarter view with two process baths and amber sash

業界特有のクリーンルーム機器

クリーンルームウェットベンチ

化学浴、すすぎユーティリティ、および制御された半導体および精密洗浄ワークフローのためのサービスアクセスを統合した換気ポリプロピレン湿式処理ステーション。

耐薬品性建設
制御されたリア排気
モジュラープロセス浴
サービス可能なユーティリティキャビネット

商品紹介

クリーンルームのウェットベンチは、ウェーハのクリーニング、エッチング、およびリンスのための密閉された、使い果たされたワークゾーンを提供します。溶接されたポリプロピレン表面は一般的なプロセス化学物質に抵抗し、リアバッフルはオペレーターから蒸気を引き離します。バス、カスケードすすぎモジュール、DI水継手、スプレーツール、およびコントロールは、必要なプロセスシーケンスの周りに配置でき、アクセスドアが低くなってユーティリティを作業デッキから分離します。

主要な特徴

溶接ポリプロピレンデッキとエンクロージャーは腐食に抵抗し、露出したジョイントを最小限に抑えます。

リアおよび上部の排気経路は、プロセスゾーン全体で蒸気を捕捉します。

モジュラーバスの開口部は、加熱されたプロセスタンク、オーバーフローリンス、シンクに対応します。

アクセス可能な下部コンパートメントは、排水管、バルブ、ユーティリティ接続の検査を簡素化します。

アプリケーションのソリューション

ウェットプロセスには、オペレーターのアクセスを損なうことなく、化学的互換性、信頼性の高い蒸気捕捉、クリーンなユーティリティルーティングが必要です。

酸およびアルカリ曝露は、不適切なベンチ材料を急速に分解します。化学適合性ポリプロピレンまたはオプションのPVDF接触面が、プロセス化学のために選択されます。

排気分布が不均一な場合、煙は逃げます。調整可能なリアバッフルと上部排気接続部は、作業ゾーン全体に均一に空気を引き込みます。

混合すすぎとプロセスステップは、非効率的なハンドリングパスを作成します。浴场、蛇口、スプレーツールは、実际の操作シーケンスで配置されます。

隠された漏れとブロックされた排水路は、サービスが困難です。フロントアクセスユーティリティコンパートメントは、バルブ、ユニオン、排水管への直接アクセスを提供します。

典型的な用途

半導体ウェーハ洗浄とエッチング太陽光発電と基板処理精密部品化学洗浄研究クリーンルームぬれた化学

技術的なパラメータ

モジュール式ポリプロピレンクリーンルームウェットベンチの典型的な構造値を以下に示します。

コア材料	溶接耐薬品性ポリプロピレン、オプションPVDFプロセス接触部品
パネルの厚さ	8-20 mmポリプロピレンパネル
有効幅	1200-3000mmのワークゾーンの幅
最大長さ	最大6000 mmのモジュラーベンチの長さ
鋼鉄の厚さを直面する	オプションのステンレス制强化のための1.0-1.5mm
コア密度	ポリプロピレンの構造シートのための900-920 kg/mの ³
熱伝導率	ポリプロピレンの構造のための0.20-0.24 W/(m・K)
表面仕上げ	透明なアンバー安全サッシ付き滑らかな天然白溶接ポリプロピレン
ジョイントタイプ	ガスケット付きアクセスパネル、ユニオンユーティリティフィッティング、フランジ付き排気接続を備えた高温ガス溶接エンクロージャーの継ぎ目
カスタマイズ	意図したアプリケーションと動作環境に基づいて利用できます。

利用可能なオプション

オープンまたは同封サッシ設定HEPA供給の層流気流フード石英、PPまたはPVDFプロセスバスPLC制御と自動化された化学処理

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寸法、設置条件、性能目標、必要な表面仕上げをお送りください。

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