อุปกรณ์ห้องคลีนรูมเฉพาะอุตสาหกรรม

ห้องถ่ายโอน VHP

ระบบกั้น RABS

เครื่องแยกการทดสอบการฆ่าเชื้อ

เครื่องแยกปลอดเชื้อ

แสงห้องสะอาดสีเหลือง

ตารางการแยกการสั่นสะเทือนแบบออปติคอล

ตู้จัดหาเคมี

คลีนรูมเปียกม้านั่ง

ระบบ Ionizing Barรายละเอียดเพิ่มเติม:

ระบบการกรอง AMCรายละเอียดเพิ่มเติม:

ตัวกรองเคมี FFUรายละเอียดเพิ่มเติม:

รถเข็นโอนเวเฟอร์รายละเอียดเพิ่มเติม:

ระบบทําความสะอาด FOUPรายละเอียดเพิ่มเติม:

ตู้เก็บของ FOUPรายละเอียดเพิ่มเติม:

ตู้เก็บแห้งเวเฟอร์รายละเอียดเพิ่มเติม:

ตู้ไนโตรเจนแห้ง

ตู้เก็บเวเฟอร์

เซมิคอนดักเตอร์ Mini-Environment