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Sistemas de utilidad de Cleanroom
Regulador de gas de alta pureza
Un regulador compacto de reducción de presión de una sola etapa con un cuerpo VAR de 316L, diafragma de metal atado y conexiones de sellado de cara soldadas para un control limpio y de bajo volumen en puntos de uso de gas de alta pureza.
- Reducción de presión limpia del punto de uso de una sola etapa
- Diafragma de metal atado con bajo volumen interno
- Trayectoria de flujo 316L VAR con extremos de sellado de cara soldada
Introducción del producto
El regulador de gas de alta pureza es un componente compacto de reducción de presión de una sola etapa cargado a mano para su instalación en una línea de gas de alta pureza compatible. La Configuración del catálogo seleccionado tiene un cuerpo inoxidable 316L VAR electropulido, un diafragma metálico resistente a la corrosión atado, un asiento de polímero reemplazable, un capó de resorte cilíndrico con un botón de ajuste negro, Y dos 1/4 soldadas opuestas. Junta cara-sello conexiones. El gas entra en un lado del cuerpo, pasa el asiento de entrada y el poppet, y sale a la presión controlada aguas abajo mientras el diafragma equilibra la fuerza de presión de salida contra la configuración del operador. El regulador se suministra sin medidores, válvulas de cierre, conectores de cilindro, medios de purificador, controlador, cable o panel de montaje; aislamiento ascendente, alivio, purga e indicación de presión siguen siendo funciones del sistema de gas circundante.
Características clave
Un diafragma de metal atado acopla el elemento sensor al vástago de la válvula de cierre para una respuesta positiva durante los cambios de presión
El sellado del diafragma de metal a metal limita la exposición del elastómero en la junta del cuerpo y admite la integridad del gas de alta pureza
Las superficies del cuerpo electropulidas 316L VAR proporcionan una trayectoria de flujo limpia resistente a la corrosión para gases especiales compatibles
El bajo volumen interno admite una purga eficiente cuando cambia la identidad del gas o la condición del proceso
La arquitectura de una sola etapa proporciona una reducción de presión compacta en el punto de uso donde no se requiere una compensación por agotamiento del cilindro
Los puertos de sellado de cara soldada opuestos permiten la instalación directa en línea con una ruta de gas corta y simétrica
Un mecanismo de ajuste capturado mantiene el hardware de ajuste de presión separado del volumen mojado
Los materiales de asiento y diafragma se pueden seleccionar para el servicio de gas, temperatura y presión de entrada
Las disposiciones de ajuste de montaje en panel y resistente a la manipulación están disponibles para la integración controlada de equipos
Soluciones para su aplicación
La regulación confiable de alta pureza depende de hacer coincidir el regulador con la química del gas, el rango de presión y el flujo máximo mientras protege La ruta interna limpia durante la instalación y el servicio.
Un regulador seleccionado solo por el tamaño del puerto puede tener el asiento, el diafragma o el material del cuerpo incorrecto para el gas de procesoRevise la combinación completa de material humedecido contra el gas, el perfil de impurezas, la temperatura y la presión antes de realizar el pedido.
Un rango de presión de gran tamaño puede hacer que los Puntos de Ajuste bajos sean difíciles de ajustar de manera repetidaElija el rango de salida más estrecho que cubra el funcionamiento normal y la demanda de inicio con un margen de control apropiado.
La disminución de la presión de suministro puede cambiar el punto de ajuste aguas abajo en un diseño de una sola etapaCuantifique el efecto de presión de suministro permitido y use una presión ascendente estable o una disposición de dos etapas cuando el agotamiento del cilindro es crítico.
Las partículas o la humedad introducidas durante el ensamblaje pueden comprometer una ruta de gas limpiaMantenga las tapas protectoras colocadas hasta la conexión, use juntas metálicas compatibles y complete una purga controlada de alta pureza antes del servicio.
El flujo máximo de herramientas puede causar caída incluso cuando el consumo promedio parece bajoTamaño el coeficiente de flujo de la demanda instantánea máxima, la presión de entrada, la configuración de salida seleccionada y la pérdida de presión permitida.
Al bajar la perilla no se elimina automáticamente el gas atrapado aguas abajoProporcione una ruta separada de ventilación o consumo de proceso posterior aprobada y Nunca confíe en un regulador que no se autoventile para la despresurización.
Aplicaciones típicas
Cajas de gas de herramienta de proceso de semiconductores que requieren reducción de presión final compactaArmarios de gas de baja presión y cajas colectoras de válvulas que sirven gases especiales compatiblesInstrumentos analíticos suministrados con portador de alta pureza, calibración o gas ceroReactores de investigación, cajas de guantes y sistemas de deposición con control de gas limpio en el punto de usoEquipos de fabricación electrónica y fotovoltaica que utilizan gas inerte o de proceso controladoEnsamblajes de suministro de gas OEM donde se prefieren un volumen interno bajo y conexiones de sellado frontal
Parámetros técnicos
La base del catálogo seleccionado sigue un regulador UHP en miniatura de la clase TESCOM de la serie 12 con un cuerpo VAR 316L, diafragma de metal atado, trayectoria humedecida internamente sin resorte y sin rosca, 1/4 soldada. Extremos de sellado facial y opciones de superficie electropulida Ra de 5-10 µin. La geometría fija y las entradas de la propiedad del material a continuación son valores de diseño seleccionados conservadores que se utilizan para describir una configuración de catálogo compacto; no son dimensiones o clasificaciones universales para todos los reguladores de gas. La presión de entrada final, el rango de salida, el coeficiente de flujo, el asiento, el diafragma, el nivel de limpieza y la compatibilidad del gas deben seleccionarse para el servicio real.
| Materiales Core | Cuerpo inoxidable electropulido 316L VAR y trayectoria de flujo con un diafragma y vástago de metal Hastelloy más un asiento PCTFE compatible con gas |
|---|---|
| Panel de espesor | Espesor nominal del diafragma de detección de metal atado de 0,10mm para el diseño compacto seleccionado |
| Ancho efectivo | 38 mm diámetro máximo nominal del cuerpo para la configuración en línea en miniatura seleccionada |
| Longitud máxima | Altura total representativa de 96 mm desde el cuerpo del regulador hasta la corona de la perilla de ajuste |
| Acero frente a espesor | Capó cilíndrico inoxidable de 316 nominal de 1,2mm-espesor de pared para la construcción seleccionada |
| Densidad Core | 8000 kg/m³ densidad nominal del material seleccionado del cuerpo inoxidable 316L VAR |
| Conductividad térmica | 15 W/(m · K) conductividad térmica representativa de acero inoxidable 316L cerca de 20 °C |
| Superficie acabada | Superficies humedecidas de plata natural electropulidas 316L VAR, seleccionables a aproximadamente 0,13 o 0,25 µm Ra |
| Tipo conjunto | 1/4 soldada opuesta en. Junta de entrada y salida de sellado frontal con un sello de metal a metal de diafragma a cuerpo |
| Customization | Disponible según la aplicación prevista y el entorno operativo. |
Opciones disponibles
Rangos de presión de salida seleccionados para la herramienta aguas abajo o el instrumento analíticoConfiguraciones de asiento de válvula de flujo estándar o superiorSelección de diafragma de metal Hastelloy o 316L para servicio de gas compatiblePCTFE o materiales de asiento alternativos adaptados a la presión y la temperatura1/4 de pulgada Formatos de conexión de sellado de cara soldada, tubo-stub o montaje en superficie5 µin o 10 µin Ra acabado de superficie mojada electropulidaPerilla de Mano Negra, tapa antimanipulación o disposición de ajuste de montaje en panelCarga neumática normalmente cerrada para conjuntos automatizados compatiblesLimpieza de grado electrónico y opciones de embalaje de doble bolsa
¿Planificación de una especificación de regulador de gas de alta pureza?
Envíenos sus dimensiones, condiciones de instalación, objetivos de rendimiento y acabado superficial requerido.
