Valve manifold panel complete three-quarter view with open stainless backplate, four regulated gas sticks, common inlet header and upper controller

클린룸 유틸리티 시스템

밸브 manifold 패널

벽에 장착 된 4 스틱 UHP 가스 분배 패널은 하나의 호환 가능한 중앙 공급 장치를 소진 된 인클로저의 발자국없이 독립적으로 규제되고 고립 된 공정 공구 지점으로 나눕니다.

하나의 열린 백 플레이트에 4 개의 모듈 식 압력 제어 콘센트 스틱
일반적인 종료없이 서비스를위한 독립적 인 지점 격리
선택 가능한 퍼지 및 제어 회로가있는 전기 광택 316L 흐름 경로

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상품 소개

밸브 매니폴드 패널은 호환 가능한 불활성 또는 시설 승인 고순도 가스를위한 노출 된 2 차 분배 어셈블리입니다. 선택된 카탈로그 구성은 하나의 공통 입구 헤더와 4 개의 평행 가스 스틱을 단단한 스테인레스 장착 판에 놓습니다. 각 스틱에는 소형 압력 조절기, 국소 압력 게이지, 상류 및 하류 다이어프램 격리 밸브 및 하나의 전용 공구 배출구가 있습니다. 백플레이트 위의 소형 컨트롤러는 정상적으로 닫힌 공통 입구 밸브 및 4 개의 분기 종료 신호를 감독 할 수 있습니다. 개방형 아키텍처는 가스 위험 평가에 의해 소진 된 격리 상자가 필요하지 않은 경우 기술자에게 직접 시각적 및 서비스 액세스를 제공합니다. 실린더, 피그 테일, 캐비닛 또는 도어가 없으며 단일 소스 압력 패널, 밀폐 된 밸브 매니 폴드 박스 및 규제되지 않은 파이프 매니 폴드와 구별됩니다.

주요 기능

하나의 공통 소스는 소형 벽걸이 풋 프린트에 4 개의 반복 가능한 도구 가지로 나뉩니다.

각 스틱의 전용 조절기 및 게이지는 다양한 다운 스트림 전달 압력 설정을 지원합니다.

상류 및 하류 다이어프램 밸브는 한 지점을 격리하고 다른 자격을 갖춘 콘센트는 계속 사용할 수 있습니다.

개방형 구성 요소 액세스로 승인 된 서비스 영역에서 검사, 조정 및 계획된 교체 작업 단축

전기 연마 된 316L 튜브 및 저 데드 볼륨 다이어프램 구성 요소는 UHP 가스 청결을 보호합니다.

수평 입구 헤더 및 정렬 된 출구 인터페이스는 라우팅 및 영구 분기 식별을 단순화합니다.

선택적 퍼지 및 대피 회로를 사용하면 유지 보수 전에 갇힌 분기 볼륨을 대체 할 수 있습니다.

모듈 형 스틱 간격은 미래의 지점 인구, 구성 요소 변경 및 가스 별 재료 선택을 지원합니다.

선택적 공통 및 스틱 레벨 일반적으로 닫힌 밸브는 정의 된 자동 격리 지점을 제공합니다.

패널은 오픈 아이덴티티를 변경하지 않고 수동, 반자동 또는 모니터링 배포를 위해 구성 할 수 있습니다.

응용 프로그램 솔루션

개방형 밸브 매니폴드 패널은 가스 위험과 일치하고 분기 순도를 보존하며 공유 및 전용 격리 경계를 혼동하지 않고도 각 압력 제어 경로를 사용할 수 있도록해야합니다.

하나의 전달 압력 설정은 다른 입구 한계 또는 정상적인 흐름 요구가있는 공구를 만족시킬 수 없습니다각 스틱에 대한 레귤레이터 범위와 로컬 표시기를 지정한 다음 자체 다운 스트림 운영 봉투에 대해 모든 지점을 위임합니다.

하나의 콘센트에 밸브를 서비스하면 연결된 모든 장비를 불필요한 종료 할 수 있습니다.영향을받는 스틱을 독립적으로 고정 할 수 있도록 모든 지점에 긍정적 인 상류 및 하류 격리를 배치하십시오.

공구 연결이 열리면 잔류 가스 및 주변 습기가 공통 헤더로 들어갈 수 있습니다.출구 조인트를 방해하기 전에 두 격리 경계 사이의 분기 별 호환 퍼지 또는 대피 경로를 사용하십시오.

실제로 배출 된 격리가 필요한 가스에 대해 개방형 패널을 선택할 수 있습니다.VMP를 개방 분배를 위해 승인 된 가스 및 위치로 제한하십시오. 위험 검토에 격리 및 기류 모니터링이 필요한 경우 소진 된 매니 폴드 상자를 사용하십시오.

혼합 스틱 레이아웃은 밸브 시퀀스, 흐름 방향 및 출구 소유권을 확인하기 어렵게 만듭니다.네 개의 스틱에 걸쳐 균일 한 구성 요소 순서, 일관된 흐름 화살표, 영구 포트 태그 및 반복 가능한 간격을 사용합니다.

시설 알람은 소스를 닫을 수 있지만 개별 지점에 불확실한 갇힌 볼륨을 남길 수 있습니다.일반적으로 닫힌 공통 입구 및 선택된 스틱 셧다운 밸브를 압력 피드백 및 각 출구에 대한 문서화 된 퍼지 상태로 조정하십시오.

일반적인 응용 프로그램

여러 반도체 공정 도구에 UHP 가스 분배 불활성전자 청결한 제조에서 질소, 아르곤 및 헬륨 지점 전달별도로 조정 가능한 콘센트가있는 연구 팹 및 대학 실험실 가스 분배LED, 광전지 및 복합 반도체 공정-공구 연결 시스템호환되는 고순도 가스를 사용하는 생명 공학 및 제약 유틸리티 지점컴팩트 한 오픈 서비스 액세스가 허용되는 고급 재료 파일럿 라인

기술 매개변수

카탈로그 기반은 스테인레스 디자인 개념 FlexGas 4 스틱 VMP 클래스를 따릅니다. 약 470 mm 너비의 개방형 모듈 형 UHP 패널, 컨트롤러가없는 533 mm 높이와 선택한 제어 모듈로 686 mm 높음. 젖은 경로는 전기 광택 316L 스테인레스 튜브, 다이어프램 밸브, 조절기 및 서비스 피팅을 사용하며, 하나의 공통 입구와 4 개의 별도 제어 콘센트가 있습니다. 패널 깊이는 구성에 따라 다르며 대표적인 공개 봉투는 약 222 mm입니다. 가스 호환성, 압력 범위, 흐름, 밸브 작동, 퍼지 또는 배출 방법, 여과, 계측 및 자동 종료 논리가 실제 서비스를 위해 선택됩니다.

핵심 재료	젖은 흐름 경로에 전기 광택 AISI 316L 스테인레스 튜브, 조절기, 다이어프램 밸브 및 부속품이있는 오픈 스테인레스 장착 백 플레이트
패널 두께	선택한 4 스틱 레이아웃을위한 3.0mm 공칭 단단한 스테인레스 장착 패널 두께
유효 폭	선택된 소형 4 스틱 구성을 위한 470 mm 대표 외부 패널 폭
최대 길이	선택한 상단 제어 모듈이있는 686 mm 대표 전체 패널 높이
강철 면면 두께	3.0mm 공칭 노출 브러시-스테인레스 전면 장착면 두께
코어 밀도	AISI 316L 스테인레스 흐름 경로 구성 요소의 약 8000 kg/m³ 대표 밀도
열전도도 (Thermal Conductivity)	대표적인 AISI 316L 습윤 성분을 위한 대략 15 W/(m · K) 20 ℃ 근처
표면 마무리	지정된 경우 일반적으로 10 µin Ra (약 0.25 µm Ra) 의 전기 광택 UHP 젖은 표면이있는 브러시 드 천연 실버 장착 플레이트
접합 유형	궤도 용접 1/4. 또는 3/8. 금속 페이스 씰 서비스 조인트, 공통 입구 1 개 및 전용 지점 4 개가있는 UHP 튜브
사용자 정의	의도된 응용 프로그램 및 운영 환경에 따라 사용할 수 있습니다.

사용 가능한 옵션

4 스틱 또는 8 스틱 오픈 패널 배열수동, 반자동 또는 모니터링되는 지점 작동스틱 특정 레귤레이터 범위, 게이지, 압력 스위치 또는 변환기퍼지 전용, 피난 전용 또는 퍼지 및 피난 회로 결합Normally closed common-inlet and individual-stick pneumatic valvesInlet filtration, point-of-use filtration or gas-specific purificationExcess-flow switches and branch shutdown inputsCompact touchscreen controller with dry contacts or selected facility communicationsGas-specific seals, alloys, high-flow components and face-seal connection sizes

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