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Cleanroom Utility Systemen
Vakuum-Druck - Controller
Ein koordiniertes Closed-Loop-Paket, das den absoluten Druck von einem Kapazitäts sensor liest und ein motorisiertes rostfreies Drossel ventil zwischen Prozess und Pumpe mit lokalem HMI, Remote-E/A und wählbarer Kommunikation moduliert.
- Kapazität-Sensor-Feedback mit lokalem Sollwert HMI
- Motorisierte nach geschaltete Drossel klappe zwischen Prozess und Pumpe
- 0, 1-1000 Torr wählbare Anwendungs spanne mit Remote-I/O
Produkteinführung
Der Vakuum druckregler ist ein komplettes Druck regulierungs paket für eine evakuierte Kammer, ein Werkzeug oder einen sauberen Gebrauchs prozess. Die verriegelte Katalog konfiguration kombiniert einen Controller/HMI im Panels til, einen prozess seitigen Kapazitäts vakuum sensor, ein rostfreies Drossel klappen ventil und ein proportionales elektrisches Aktuator-/Steuer modul. zwei gegenüber liegende Vakuums chnitt stellen und organisierte Strom-, Sensor-, Ventil-und Kommunikation verkabelung auf einer niedrigen Montage basis. Der Sensor gibt ein Absolut drucks ignal an die Steuerung zurück. Der Controller vergleicht es mit dem lokalen oder entfernten Sollwert und ändert kontinuierlich die Ventil leitfähig keit zur Pumpe. Diese Architektur unterstützt eine stabile nach geschaltete Druck kontrolle, ohne die vor geschaltete Gas zufuhr zu ändern. Es ist kein schreib geschriebenes Vakuum messgerät, kein manuelles Absperr ventil oder ID 1926 & #039;s Druckluft qualitäts überwachungs schrank, und es misst kein Öl, Partikel. Taupunkt oder Reinheit.
Key Features
Ein lokal beleuchtetes HMI bietet direkten Druck, Sollwert, Ventils tatus und Alarms icht barkeit am Gerät
Der prozess seitige Kapazitäts sensor misst den absoluten Druck unabhängig von den meisten Änderungen der Gas arten innerhalb seines ausgewählten Bereichs
Ein motorisiertes Drossel klappen ventil variiert die Pump leitfähig keit, anstatt die Vakuumpumpe wiederholt ein-und aus zuschalten
Separate Prozess-und Pumpen flansche machen Durchfluss richtung und Installation grenzen für Inbetrieb nahme und Service explizit
Wählbare analoge, digitale oder Netzwerk kommunikation unterstützt Remote-Sollwerte, Status-Feedback, Verriegelungen und Rezepts teuerung
Die PI/PID-Abstimmung kann an Kammer volumen, Gaslast, Ventil leitfähig keit und Pumpen reaktion angepasst werden, um das Übers ch wingen und die Jagd zu verringern
Eine kompakte rostfreie Basis hält die Beziehung zwischen Controller, Ventil und Sensor fest und ermöglicht gleichzeitig ein sauberes Routing von Strom-und Signal kabeln
Lösungen für Ihre Anwendung
Ein Druck regelkreis kann einen gültigen Messwert anzeigen und dennoch instabil bleiben, wenn der Sensor bereich, die Ventil leitfähig keit, die Pumpen drehzahl, die Steuer richtung oder die Signal verdrahtung nicht übereinstimmen.
Ein Nur-Lese-Messgerät meldet das Vakuum niveau, kann jedoch die Druck drift nicht korrigieren, wenn sich die Gas last oder die Pumpen leitfähig keit ändertVerwenden Sie die komplette Rückkopplung schleife, damit der Controller den tatsächlichen Druck mit dem Sollwert vergleicht und kontinuierlich das Proportional drossel ventil beherrscht.
Ein Sensor mit einem übermäßig hohen Full-Scale-Bereich bietet eine schlechte nutzbare Auflösung um einen niedrigen Betriebs sollwertWählen Sie ein Kapazitäts manometer aus, das den normalen Rezept bereich einrasten kann, und reservieren Sie ausreichend Spielraum für Transienten und Entlüftung logik.
Ein übergroßes Ventil kann kleine Positions änderungen zu aggressiv machen, was zu Jagd und wiederholtem Übers ch wingen führtGröße des Ventils und jeder leitfähig keits begrenzen den Hardware gegen Gas last, Kammer volumen und effektive Pumpen drehzahl, bevor die PI/PID-Schleife eingestellt wird.
Die Montage des Sensors hinter dem Drossel ventil kann dazu führen, dass der Controller den pumpens eitigen Druck anstelle des kontrollierten Prozess volumens reguliertPlatzieren Sie den Sensor auf der Prozess seite mit einer kurzen sauberen Verbindung und ordnen Sie den Prozess und die Pumpen flansche während der Installation korrekt zu.
Elektrisches Rauschen oder eine falsche Skalierung von 0-10 V kann ein plausibles, aber falsches Drucks ignal erzeugenVerwenden Sie eine abgeschirmte Signal führung, eine gemeinsame Erdung, eine verifizierte vollständige Zuordnung und eine Null prüfung, bevor Sie eine automatische Ventil bewegung ermöglichen.
Stromausfall oder Kommunikation kann eine undefinierte Ventil position verlassen und einen empfindlichen Prozess störenGeben Sie die erforderliche Fehler position, die fest verdrahteten Verriegelungen und die Wiederherstellung sequenz an und testen Sie sie dann mit der tatsächlichen Pumpe und der Prozess ausrüstung.
Typische Anwendungen
Halbleiter abscheidung, Ätzen und Vakuum prozess Drucks tabilisierungPharmazeut ische Vakuum trocknung und kontrollierte Niederdruck verarbeitungLabor kammern, Glove boxen und Vakuum geräte im Pilot maßstabOptische Beschichtung, Plasma behandlung und Dünnschicht-Prozess werkzeugeBatterie material trocknung, Entgasung und kontrollierte Vakuum gehäuseReinraum ausrüstung, die eine rezept basierte nach geschaltete Absolut druck kontrolle erfordert
Technische Parameter
Die Katalog basis ist ein Closed-Loop-Panel-Paket der MKS 640A / Typ 250E-Klasse, das einen lokalen Controller/HMI, einen prozess seitigen Kapazitäts manometer eingang und ein motorisiertes rostfreies Absperr ventil verwendet. Die wählbare Anwendungs spanne beträgt 0, 1-1000 Torr über übereinstimmende Sensor-und Ventil konfigurationen; Es wird ein konservativer Controller-Beitrag von/-0,5% der konfigurierten vollständigen Skala verwendet. Während die Genauigkeit und Reaktion der installierten Schleife von dem bestellten Sensor, dem Ventil, der Gaslast, dem Kammer volumen und der Pumpe abhängen. Das Standards teuer signal ist 0-10 VDC, mit 24 VDC Aktuator/Controller-Leistung oder einer AC-gespeisten Panel-Versorgung und wählbaren analogen, digitalen oder industriellen Netzwerk-E/A.
| Core Material | Edelstahl benetzte Ventil-und Sensor durchgänge der AISI 316L-Klasse, eloxierte Elektronik gehäuse aus Aluminium und prozess ausgewählte Elastomer abdichtung |
|---|---|
| Panel Dicke | 2,0mm nominale Edelstahl montage platte oder Grundplatte für die verpackte Controller-Montage |
| Effektive Breite | 80 mm Nenn-DN80 nach geschaltete Drossel klappen bohrung in der dargestellten Konfiguration |
| Maximale Länge | Bis zu 500 mm repräsent ativer Prozess-zu-Pumpen-Paket umschlag vor externer Feld verkabelung |
| Stahl facing Dicke | 0 mm separate Stahl verblendung; Die Vakuum-Durchfluss-Hardware verwendet solide bearbeitete rostfreie Komponenten |
| Kerndichte | Ca. 8000 kg/m³ repräsent ative Dichte für AISI 316L Edelstahl Vakuum-Hardware |
| Thermische Leitfähigkeit | Etwa 15 W/(m · K) in der Nähe von 20 °C für repräsent ative rostfreie Bauteile AISI 316L |
| Oberfläche Finish | Natürliche neutral-silberne Edelstahl ventil-und Sensor flächen mit bearbeiteten Dichtung flächen; dunkelblau-grau beschichtete Controller-und Aktuator gehäuse |
| Gemeinsamer Typ | Zwei gegenüber liegende ISO-F DN80 Vakuum flansch schnitts tellen für Prozess-und Pumpen anschlüsse mit separatem versiegeltem Sensor und elektrischen Anschlüssen |
| Customisierung | Verfügbar je nach beabsichtigter Anwendung und Betriebsumgebung. |
Verfügbare Optionen
Kapazitäts-Manometer-Voll skalen um den normalen Steuer sollwert ausgewähltVorgel agerte Dosier ventil oder nach geschaltete Drossel klappen regelungs architekturDN40, DN63, DN80 oder anwendungs große Vakuum anschlüsse und Ventil leitfähig keitFKM, FFKM oder prozess qualifizierte alternative Dichtung verbindungenLokales Panel HMI, Rack-Fernbedienung oder integriertes Ventil-Controller-Format0-10 V analog, digital I/O, RS232, RS485, Ethernet oder ausgewählte industrielle Feldbus kommunikationNormaler weise offene, normaler weise geschlossene oder angetriebene Fail-Position-Strategie, wo unterstütztVor verdrahtete rostfreie Basis, Gehäuse oder Geräte rahmen integration mit gekennzeichneten Feld terminals
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