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FFU と HEPA ろ過 : 安定したクリーンルーム空気流の構築

技術的な記事2026-08-18 13:15:250 ビュー
クリーンルームの知識

FFU と HEPA ろ過 : 安定したクリーンルーム空気流の構築

ファンフィルターユニットは、ファン、高効率フィルター、天井供給モジュールを1つのコンパクトなアセンブリにまとめたものです。クリーンルームの天井グリッドに設置されたFFUは、制御された空間の近くに分散されたろ過された空気を提供し、以下のプロセスの周りに気流容量を配置できるようにします。

分散ろ過が有用な理由

クリーンルームの性能は、フィルター効率以上に依存します。空気量、供給場所、戻り経路、熱負荷、機器のレイアウト、および室内の圧力が連携して機能する必要があります。分散FFUレイアウトにより、設計者は、より広い部屋の循環を維持しながら、重要な領域の上にきれいな空気を集中させる柔軟性を得ることができます。

Ceiling fan filter units supplying a cleanroom work area
FFUは、制御されたワークスペースの近くの天井にろ過された空気を分配します。

FFUが貢献するもの

ファンはフィルターとディフューザーを介した抵抗を克服し、フィルターは供給空気が部屋に入る前に浮遊粒子を捕捉します。個別またはグループ化されたコントロールは、気流調整と運用ゾーニングをサポートできます。最終的なレイアウトは、クリーンな供給空気が短絡したり、掃引が不十分な領域を残さないように、リターンエアパスを使用して設計する必要があります。

重要な調整の詳細

  • 天井モジュールの寸法と重量は、サポートグリッドと一致する必要があります。
  • 気流と外部静圧は、カタログの最大値から想定するのではなく、部屋の設計に合わせて選択する必要があります。
  • モータータイプ、制御方法、監視インターフェイス、配電には早期の調整が必要です。
  • フィルター交換の方向とアクセススペースは、メンテナンス戦略に適合する必要があります。
  • ディフューザースタイルは、プロセスの上に必要な気流パターンをサポートする必要があります。
Open fan filter unit showing fan and HEPA filter components
サービスへのアクセスにより、隣接するモジュールを中断することなく、ファン、フィルター、ディフューザーを維持できます。

調整されたFFUシステムが解決に役立つ問題

正しく選択されたシステムは、不均一な供給を減らし、局所的な気流調整を簡素化し、将来のモジュール交換をより管理しやすくすることができます。また、高清浄度の作業ゾーンの数や場所が変更される可能性のある段階的なクリーンルームのレイアウトもサポートできます。

選択前に準備する情報

部屋の寸法、ターゲット環境、天井グリッド、熱負荷、プロセスレイアウト、戻り空気の配置、利用可能な電力、制御の設定、およびメンテナンスのアクセス方向を提供します。最終的なフィルターグレード、気流および量は完全な部屋の設計の一部として確認されるべきです。

閲覧 FFUおよびターミナルの空気浄化装置、または クリーンルームの気流リストを提出する 調整された選択のために。

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