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Cleanroom Utility Systemen
Mass Flow Controller
Ein kompakter metall versiegelter digitaler Massen fluss regler, der einen thermischen Durchfluss sensor, eine Closed-Loop-Elektronik und ein normaler weise geschlossenes Steuerventil zur wiederholbaren Dosierung kompatibler hochreiner Gase kombiniert.
- Closed-Loop-Messung und Gas-Flow-Kontrolle
- Metall versiegelter hochreiner Strömungs weg 316L
- Kompaktes Gesichtsdichtungsformat für die Integration in Gassteuerungen
Produkteinführung
Der Mass Flow Controller ist ein kompaktes elektronisches Gas dosier instrument für saubere Prozess leitungen und Geräte gas boxen. Die ausgewählte Katalog konfiguration kombiniert einen elektro polierten 316L rostfreien Strömungs körper, einen thermischen Bypass-Sensor, ein normaler weise geschlossenes Proportional regelventil und ein dunkel eloxiertes Elektronik gehäuse. Gas tritt durch ein 1/4-Zoll-Rohr ein. Die Dichtung fläche dichtet, teilt sich zwischen dem Haupt durchgang und dem kalibrierten Sensor pfad und geht durch die gegenüber liegende Armatur nach dem Ventil. Eingebettete Elektronik vergleicht den gemessenen Massenstrom mit dem externen Sollwert und stellt das Ventil kontinuierlich ein. Das Gerät wird als ein Inline-Controller ohne lokales Display, Kabel, Strom versorgung, Absperr ventil, Druckregler, Filter, Spül krümmer oder Fernbediener terminal geliefert. Dies bleiben Funktionen des umgebenden Gas versorgungs systems.
Key Features
Metall versiegelte 316L benetzte Konstruktion begrenzt die Exposition von Elastomeren im kompatiblen hochreinen Service
Ein thermischer Bypass-Sensor misst den Gas massenstrom ohne sich bewegendes primäres Erfassungs element
Das normaler weise geschlossene Ventil unterstützt einen definierten sicheren Zustand, wenn die elektrische Leistung entfernt wird
Digitale Kompensation und gespeicherte Gasdaten können kon figur ierbare Gas-und Full-Scale-Auswahl unterstützen
Gegenüber liegende Gesichts dichtung öffnungen bieten einen kurzen Inline-Fluss weg für die Integration von Gasboxen und Werkzeugen
Niedriges Innen volumen unterstützt eine effiziente Spülung bei Gaswechsel und geplanter Wartung
Status indikatoren liefern lokale Strom-, Gesundheits-oder Netzwerk informationen ohne großes Display
Für Geräte-Steuerungs systeme stehen mehrere analoge und digitale Kommunikation formate zur Verfügung
Durch die kompakte Montage geometrie können mehrere Steuerungen in parallelen Gas-Stick-Baugruppen angeordnet werden
Lösungen für Ihre Anwendung
Die stabile Massenfluss steuerung hängt von der korrekten Gas kalibrierung, den Druck bedingungen, der Ventil größe und der sauberen Installation ab. Der Stecker und die Größe der Gesichts dichtung allein definieren keinen geeigneten Controller.
Ein für ein Gas kalibrierter Controller kann den falschen Durchfluss melden, wenn er mit einem Gas mit unterschied lichen thermischen Eigenschaften verwendet wirdWählen Sie das genaue Prozess gas oder eine validierte Mehrgas umwandlung aus und bestätigen Sie die Referenz temperatur und den Referenz druck, die für Standard-Durchfluss einheiten verwendet werden.
Ein unzureichender Druckabfall von Einlass zu Auslass kann verhindern, dass das Proportional ventil den befohlenen Durchfluss erreichtÜberprüfen Sie den minimalen Betriebs differenz druck bei maximaler Rezeptur durchfluss-und Größen vorgel agerung sowie die entsprechend nach gelagerte Einschränkung.
Ein übergroßer Full-Scale-Bereich reduziert die nützliche Befehls auflösung am normalen Betriebs punktWählen Sie den niedrigsten Full-Scale-Bereich, der die Spitzen nachfrage, den Purge-Flow und die beabsichtigte Kontroll marge sicher abdeckt.
Partikel oder beschädigte Dichtungen, die während der Installation eingeführt werden, können den Ventilsitz stören oder die Prozess leitung verunreinigenHalten Sie die Anschluss kappen bis zur Montage montiert, verwenden Sie neue kompatible Dichtung dichtungen und führen Sie vor dem Service eine kontrollierte Leck prüfung und-spülung durch.
Versorgungs druck transienten können als Strömungs störungen auftreten, selbst wenn der elektronische Sollwert stabil istStabilisieren Sie den vorgel agerten Druck, vermeiden Sie gleichzeitige Branchen ereignisse mit hoher Nachfrage und wählen Sie eine drucke mpfindliche Architektur aus, wenn der Prozess dies erfordert.
Eine Kommunikation nicht übereinstimmung kann das Gerät mit Strom versorgt, ist jedoch für den Geräte controller nicht verfügbarFrieren Sie den erforderlichen elektrischen Anschluss, die Leistung, die analoge Skalierung oder das digitale Protokoll, die Knoten einstellungen und das Fehler zustand verhalten vor der Bestellung ein.
Typische Anwendungen
Halbleiter-Prozess werkzeuge dosieren inerte, reaktive oder Trägergase innerhalb kompatibler Material grenzenDünnschicht abscheidung-, Ätz-und Plasmas ysteme, die einen kontrollierten Vorläufer-oder Prozess gas fluss erfordernPhotovoltaik-, LED-und Display-Fertigungs anlagen mit wiederholbarer Gas rezept lieferungLabor reaktoren und Pilots ysteme unter Verwendung einer elektronisch befohlenen hochreinen Gas dosierungAnalytische Instrumente, die Kalibrierung, Null, Träger-oder Stütz gase mischenOEM-Gas boxen und Ventil krümmer felder, die kompakte, vernetzte Durchfluss kontroll kanäle erfordern
Technische Parameter
Die ausgewählte Katalog basis folgt einem metall versiegelten thermischen Massen durchfluss regler der Brooks GF100 VX-Klasse mit einem hochreinen Durchfluss weg 316L VIM/VAR, normaler weise geschlossenem Ventil, 1/4 Zoll. Gesichts dichtung beschläge, kompakte digitale Elektronik und ein 38 mm großes Gehäuse von 124 mm von Angesicht zu Angesicht. Die folgenden Geometrie-und Material-Eigenschaften-Einträge beschreiben eine repräsent ative kompakte Konfiguration, die für die Site erforderlich ist. Das feste Zehn-Zeilen-Schema #039; Es handelt sich nicht um universelle Abmessungen oder Leistungs bewertungen für jeden MFC. Das End gas, der Durchfluss bereich, die Druck differenz, die Ventil öffnung, die Kalibrierung, die Kommunikation, die Dichtung materialien und das Reinigungs niveau müssen für die vorgesehene Aufgabe ausgewählt werden.
| Core Material | Elektro polierter 316L VIM/VAR Edelstahl-Strömungs körper und Sensor weg mit korrosions beständigen Metall dichtungen, Ventil einbauten und einem gas kompatiblen Sitz |
|---|---|
| Panel Dicke | 0,5mm nominal 316L Thermo-Sensor Bypass-Rohrwand aus Edelstahl für die ausgewählte kompakte Bauweise |
| Effektive Breite | 38 mm nominale Instrumenten körper breite für die ausgewählten 1/4 in. Gesichtsdichtungskonfiguration |
| Maximale Länge | 124 mm nominale Länge von Angesicht zu Angesicht über die ausgewählte Gegenseite 1/4 Zoll. Dichtung Armaturen |
| Stahl facing Dicke | 1,2mm nominal 316 Edelstahl-Flow-Body-Schild wand für die ausgewählte Konstruktion |
| Kerndichte | 8000 kg/m³ Nenn dichte des ausgewählten 316L Edelstahl benetzten Körpers |
| Thermische Leitfähigkeit | 15 W/(m · K) repräsent ative Wärme leitfähig keit von Edelstahl 316L in der Nähe von 20 °C |
| Oberfläche Finish | Natur-Silber elektro polierter hochreiner benetzt Pfad bei ca. 0,13-0,25 µm Ra mit einer dunkel eloxierten Aluminium-Elektronik abdeckung |
| Gemeinsamer Typ | Gegen 1/4 in. Einlass und Auslass der männlichen Dichtung fläche mit metall versiegeltem Sensor und Steuerventil-Schnitts tellen |
| Customisierung | Verfügbar je nach beabsichtigter Anwendung und Betriebsumgebung. |
Verfügbare Optionen
Gas bereiche in voller Größe, ausgewählt von der Low-Sccm-Dosierung bis zum Prozess service mit höherem SlmFabrik gas kalibrierung oder validierte Multi-Gas-und Multi-Range-KonfigurationNormaler weise geschlossene, normaler weise offene oder Nur-Meter-Ventil anordnungen, sofern verfügbar1/4 in. Flächen dichtung oder kompatible Downport-Oberflächen-Mount-Verbindungs formateAnalogue voltage or current command and output signalsRS-485, DeviceNet, EtherCAT or other supported equipment-network interfacesAlternative electrical connector orientation and low-profile adapter cablesPressure-insensitive or inlet-pressure-sensing variants for demanding gas deliveryElectronic-grade cleaning, protective capping and double-bagged packaging options
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